一种容器气密试验气体循环利用装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于容器气密性试验装置领域,尤其涉及一种容器气密试验气体循环利用装置。包括：气体蓄能器、打压系统、配气装置、气体缓冲装置和热风机；所述打压系统通过总管与气体蓄能器连通。所述配气装置与所述总管连接，且两者的连通管路上设置有第四阀门；且第四阀门和打压系统之间的这部分总管上设置有第五阀门。所述气体蓄能器、气体缓冲装置、热风机的进气口依次相连，且气体缓冲装置与气体蓄能器的高、中、低压三个区域均连接，连接管路上均设置有阀门。本实用新型专利技术的循环利用装置，既能满足使用要求，又可以实现测试用气体的循环使用，达到节约气体的效果。另外，本实用新型专利技术利用氮气对气瓶内部进行加热，保证了高纯度容器内壁的洁净度。

A kind of gas recycling device for vessel airtight test

【技术实现步骤摘要】
一种容器气密试验气体循环利用装置
本技术属于容器气密性试验装置领域,尤其涉及一种容器气密试验气体循环利用装置。
技术介绍
本技术
技术介绍
公开的信息仅仅旨在增加对本技术总体背景的理解，而不必然被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已经成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值得高新技术产业。电子特种气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太阳能电池、液晶显示器件、光导纤维生产的四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20～30种。由此可以看出电子特种气体的发展直接带动高新技术产业发展。根据市场考察，气瓶内表面处理后主要充装气体纯度在99.9999％以上的电子气体，如六氟化硫(SF6)、三氟化氮(NF3)、氧化氮(N2O)、氦气(He)、氯化氢(HCl)、硅烷(SiH4)等介质。为保护高纯容器内表面、确保高纯度容器密封性能，需进行密封性能试验、检漏试验等。此时采用的气体为高纯氮气，用高纯氮气进行气密性试验；然而，本专利技术人发现：若保压一定时间后直接放空，造成资源浪费及增加生产成本。
技术实现思路
针对上述的现有技术中存在的问题，本技术旨在提供一种容器气密试验气体循环利用装置。本技术设计的循环利用装置，既能满足使用要求，又可以实现测试用气体的循环使用。为实现上述目的，本技术的技术方案具体如下：一种容器气密试验气体循环利用装置，包括：气体蓄能器、打压系统、配气装置、气体缓冲装置和热风机；其中：所述气体蓄能器分为高、中、低压三个区域，该三个区域分别设置有支路管道，所述打压系统通过总管分别与上述三个区域各自的支路管道连通，且每个支路管道上均设置有阀门，即：高压区支路管道、中压区支路管道、低压区支路管道上分别设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门。所述配气装置与所述总管连接，且两者的连通管路上设置有第四阀门；且第四阀门和打压系统之间的这部分总管上设置有第五阀门。所述气体蓄能器、气体缓冲装置、热风机的进气口依次相连，且气体缓冲装置与气体蓄能器的高、中、低压三个区域均连接，连接管路上均设置有阀门。与现有技术相比，本技术取得了以下有益效果：(1)本技术设计的循环利用装置，既能满足使用要求，又可以实现测试用气体的循环使用，达到节约气体的效果。(2)本技术利用氮气对气瓶内部进行加热，保证了高纯度容器内壁的洁净度。附图说明构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。图1为本技术实施例1中容器气密试验气体循环利用装置的结构示意图。图2为本技术实施例2中容器气密试验气体循环利用装置的结构示意图。图3为本技术实施例3中容器气密试验气体循环利用装置的结构示意图。附图中标记分别代表：1-气体蓄能器、2-打压系统、3-配气装置、4-气体缓冲装置、5-热风机、6-总管、7-第一阀门、8-第二阀门、9-第三阀门、10-第四阀门、11-第五阀门、12-低温槽车、13-增压泵撬、14-高压气化器、15-高压软管、16-气瓶。具体实施方式应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本技术提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本技术所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。正如
技术介绍
所述，为保护高纯容器内表面、确保高纯度容器密封性能，需进行密封性能试验、检漏试验等。此时采用的气体为高纯氮气，用高纯氮气进行气密性试验；然而，若保压一定时间后直接放空，造成资源浪费及增加生产成本。为此，本技术提出一种容器气密试验气体循环利用装置。在一些典型的实施例中，所述打压系统包括：依次相连的低温槽车、增压泵撬、高压气化器，且上述三者之间的连通管路上设置有阀门；所述高压气化器与第五阀门连接。在一些典型的实施例中，所述配气装置和待测气瓶之间通过高压软管实现连接。在一些典型的实施例中，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门和蓄能器之间均设置有气压表。在一些典型的实施例中，所述配气装置的出气口设置有多根支管，以便于同时为多个待测气瓶进行配气。在一些典型的实施例中，所述配气装置和第四阀门之间设置有气压表。在一些典型的实施例中，所述蓄能器中充入的是氮气，即整个气密性测试以及对气瓶的干燥采用氮气进行。现结合附图和具体实施方式对本技术进一步进行说明。参考图1，一种容器气密试验气体循环利用装置，包括：气体蓄能器1、打压系统2、配气装置3、气体缓冲装置4和热风机5；其中：所述气体蓄能器1分为高、中、低压三个区域，该三个区域分别设置有支路管道，所述打压系统2通过总管6分别与上述三个区域各自的支路管道连通，且每个支路管道上均设置有阀门，即：高压区支路管道、中压区支路管道、低压区支路管道上分别设置有第一阀门7、第二阀门8、第三阀门9。所述配气装置3与所述总管6连接，且两者的连通管路上设置有第四阀门10；且第四阀门10和打压系统2之间的这部分总管6上设置有第五阀门11。所述打压系统2的主要作用是为蓄能器提供高压气源，并在蓄能器中气压降低到设定值以下时补充充气，以提高蓄能器中气压。所述气体蓄能器1、气体缓冲装置4、热风机5的进气口依次相连，且气体缓冲装置4与气体蓄能器1的高、中、低压三个区域均连接，连接管路上均设置有阀门。所述气体缓冲装置4的主要作用是用于缓存来自蓄能器中的气体，这些气体被热风机5加热后，从热风机5的出气口输出对待测气瓶16的内部进行干燥。可以理解的是，蓄能器在工业领域已经广泛应用，技术人员可直接采用现有的蓄能器；例如弹簧式蓄能器，它依靠压缩弹簧把液压系统中的过剩压力能转化为弹簧势能存储起来，需要时释放出去。另外，所述热风机5即为具有加热功能的吹风机，所述加热功能可通过电热丝实现，热风机也已在工业领域广泛应用，可直接采用市售产品。参考图2，所述打压系统2包括：依次相连的低温槽车12、增压泵撬13、高压气化器14，且低温槽车12与增压泵撬13之间的连通管路上设置有阀门，增压泵撬13与高压气化器14的连通管路上设置有阀门；所述高压气化器14与第五阀门11连接。低温槽车将其中存储的高压液化气转入增本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种容器气密试验气体循环利用装置，其特征在于，包括：气体蓄能器、打压系统、配气装置、气体缓冲装置和热风机；其中：/n所述气体蓄能器分为高、中、低压三个区域，该三个区域分别设置有支路管道，所述打压系统通过总管分别与上述三个区域各自的支路管道连通，且每个支路管道上均设置有阀门，即：高压区支路管道、中压区支路管道、低压区支路管道上分别设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门；/n所述配气装置与所述总管连接，且两者的连通管路上设置有第四阀门；且第四阀门和打压系统之间的这部分总管上设置有第五阀门；/n所述气体蓄能器、气体缓冲装置、热风机的进气口依次相连，且气体缓冲装置与气体蓄能器的高、中、低压三个区域均连接，连接管路上均设置有阀门。/n

【技术特征摘要】
1.一种容器气密试验气体循环利用装置，其特征在于，包括：气体蓄能器、打压系统、配气装置、气体缓冲装置和热风机；其中：
所述气体蓄能器分为高、中、低压三个区域，该三个区域分别设置有支路管道，所述打压系统通过总管分别与上述三个区域各自的支路管道连通，且每个支路管道上均设置有阀门，即：高压区支路管道、中压区支路管道、低压区支路管道上分别设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门；
所述配气装置与所述总管连接，且两者的连通管路上设置有第四阀门；且第四阀门和打压系统之间的这部分总管上设置有第五阀门；
所述气体蓄能器、气体缓冲装置、热风机的进气口依次相连，且气体缓冲装置与气体蓄能器的高、中、低压三个区域均连接，连接管路上均设置有阀门。


2.如权利要求1所述的容器气密试验气体循环利用装置，其特征在于，所述打压系...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华，杨长涛，张建国，
申请(专利权)人：鲁西新能源装备集团有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37