一种新型刻蚀碱槽制造技术

本发明专利技术公开了一种新型刻蚀碱槽，包括：槽体，槽体包括主槽、副槽和连接管，主槽和副槽之间通过连接管连接且连通；主槽包括相对布置的第一主槽体和第二主槽体，且第一主槽体和第二主槽体之间形成有滤网；压水辊，压水辊为多组，多组压水辊平行布置，且多组压水辊沿与硅片移动方向垂直的方向布置在第一主槽体和第二主槽体内部，并与第一主槽体和第二主槽体转动连接；喷液管，喷液管固定于第二主槽体内部，且喷液管与压水辊平行布置，喷液管上连接有喷嘴。新型刻蚀碱槽，不仅设计合理，结构简单，而且便于操作，节省空间，功能丰富，集浸没式和喷淋式功能于一体，能够显著提高硅片的加工效率，降低硅片生产过程中的不良率。

A new etched alkaline bath

【技术实现步骤摘要】
一种新型刻蚀碱槽
本专利技术涉及光伏晶硅片加工设备
，更具体的说是涉及一种新型刻蚀碱槽。
技术介绍
随着光伏平价上网的迅速接近，2019年将成为全球太阳能行业的里程碑，广发成本持续下降，给我们创造了巨大机遇，同时对高转化效率的电池片需求旺盛，不断提升电池片的转换效率是光伏行业不断前进的方向和动力。行业内主流的PERC工艺，在改善各工序辅料提效的同时，主要改善电池正、背面的钝化效果，主流钝化工艺有退火、热氧、ALD、背镀；其中正面钝化对正面吸杂、正面接触性影响很大，需要前后工序的相互匹配，尤其在经过刻蚀碱槽时，碱槽的浓度对正面的钝化、接触性有重要影响。经过大量实验排查的数据显示，碱槽浓度超过一定值，会洗掉电池片正面的PN结，导致方阻偏高，造成雾状污染；尤其是扩散后经过退火工艺，在高浓度碱中较长时间(碱槽为浸没式)会出现雾状污染；同时，如果碱槽浓度过低，扩散、退火、激光等工序中产生的杂质不易被清洗，效率偏低，电性能主要表现为FF低，接触性变差。目前行业酸抛刻蚀的碱槽设计主流有两种：浸没式和喷淋式；浸没式的主要不足为，浓度太高，容易损伤硅片正面PN结，造成雾状污染；浓度太低，部分杂质(残留在多空硅中的杂质)去除不掉，效率偏低。喷淋式的主要不足为，碱浓度需要达到浸没浓度的6倍才能达到浸没式的要求导致碱耗量大；喷淋式将碱液直接喷淋在带酸硅片表面，瞬间产生结晶容易堵塞喷嘴，导致部分片子不经过碱液喷淋直接进入水洗2，造成工序缺失；同时，喷淋式容易在碱槽形成结晶，结晶附着在硅片表面会形成EL小黑点。因此，提供一种能够将喷淋式碱槽和浸没式碱槽合二为一用来提升光伏晶硅电池片品质的新型刻蚀碱槽是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，为了解决现有技术中喷淋式碱槽和浸没式碱槽单独使用时造成光伏晶硅电池片加工效率低且品质较差的技术缺陷，本专利技术提供了一种将喷淋式碱槽和浸没式碱槽合二为一用来提升光伏晶硅电池片品质的新型刻蚀碱槽。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种新型刻蚀碱槽，包括：槽体，所述槽体包括主槽、副槽和连接管，所述主槽和所述副槽之间通过所述连接管连接且连通；所述主槽包括相对布置的第一主槽体和第二主槽体，且所述第一主槽体和所述第二主槽体之间形成有滤网；压水辊，所述压水辊为多组，多组所述压水辊平行布置，且多组所述压水辊沿与硅片移动方向垂直的方向布置在所述第一主槽体和所述第二主槽体内部，并与所述第一主槽体和所述第二主槽体转动连接；喷液管，所述喷液管固定于所述第二主槽体内部，且所述喷液管与所述压水辊平行布置，所述喷液管上连接有喷嘴。经由上述的技术方案可知，与现有技术方案相比，本专利技术公开提供了一种新型刻蚀碱槽，通过设置第一主槽体能够对硅片进行浸没式碱液处理，并利用第二主槽体内的喷液管对硅片进行喷淋式碱液处理，从而实现先对硅片在第一主槽体内用低浓度碱液浸没，把硅片带的酸液优先中和掉，避免后期喷淋时硅片产生结晶，避免硅片上产生小黑点，再在第二主槽体内用高浓度碱液喷淋硅片，洗掉硅片扩散、退火、激光后产生的一些量少但必须去除的杂质，同时避免硅片长时间浸没在高浓度碱液中破坏PN结，从而提高硅片品质，减少硅片生产的不良率，利用第一主槽体和第二主槽体之间的滤网可将第一主槽体内的低浓度碱液经由连接管回收至第一副槽体内以备循环使用，利用压水辊能够实现硅片在第一主槽体和第二主槽体内的移动。本专利技术的一种新型刻蚀碱槽，不仅设计合理，结构简单，而且便于操作，节省空间，能够显著提高硅片的加工效率，降低硅片生产过程中的不良率，具有良好的市场应用前景。进一步的，所述副槽包括第一副槽体和第二副槽体，所述第一副槽体和所述第二副槽体分别与对应的所述第一主槽体和所述第二主槽体通过所述连接管连接。采用上述技术方案产生的有益效果是，能够实现对第一主槽体和第二主槽体内不同浓度的碱液进行分别回收再利用，提高碱液的利用率，节省硅片的加工成本。进一步的，所述连接管包括第一进液管、第一排液管、第二进液管和第二排液管，所述第一进液管的进液端与所述第一副槽体的出液口连接，所述第一进液管的出液端与所述第一主槽体的进液口连接；所述第一排液管的进液端与所述第一主槽体的出液口连接，所述第一排液管的出液端与所述第一副槽体的进液口连接；所述第二进液管的进液端与所述第二副槽体的出液口连接，所述第二进液管的出液端与所述喷液管的进液口连接；所述第二排液管的进液端与所述第二主槽体的出液口连接，所述第二排液管的出液端与所述第二副槽体的进液口连接。采用上述技术方案产生的有益效果是，使得第一主槽体和第一副槽体内的低浓度碱液以及第二主槽体和第二副槽体内的高浓度碱液均可以循环利用，从而节省硅片的加工成本。进一步的，所述第一排液管和所述第二排液管均为多个，多个所述第一排液管均匀布置在所述第一主槽体和所述第一副槽体之间，多个所述第二排液管均匀布置在所述第二主槽体和第二副槽体之间；所述第一进液管和所述第二进液管均设有多个进液管支管，且所述第一进液管的多个所述进液管支管的一端分别与所述第一主槽体的进液口和所述第一副槽体的出液口连接，所述喷液管为多组，且多组所述喷液管均匀布置在所述第二主槽体内部，所述第二进液管的多个所述进液管支管的一端分别与多组所述喷液管的进液口和所述第二副槽体的出液口连接。采用上述技术方案产生的有益效果是，能够使第一副槽体内的低浓度碱液快速均匀地进入第一主槽体内实现对经过第一主槽体的硅片进行低浓度碱液浸没式处理，同时使第二副槽体内的高浓度碱液快速均匀地进入喷液管内，实现对经过第二主槽体的硅片进行高浓度碱液喷淋式处理，提高硅片的加工效率，同时也便于将第一主槽体内的低浓度碱液快速回收至第一副槽体内，以及将第二主槽体的高浓度碱液快速回收至第二副槽体内。进一步的，所述第一进液管和所述第二进液管的多个所述进液管支管上还分别设有用于控制管内液体流量的循环泵和控制阀。采用上述技术方案产生的有益效果是，能够有效提高碱液的流入或排出速度，从而提高硅片的碱化处理效率，同时便于控制第一主槽体和第一副槽体内低浓度碱液的含量以及第二主槽体和第二副槽体内高浓度碱液的含量。进一步的，每组所述喷液管均包括上层喷液管和下层喷液管，所述上层喷液管与对应的所述下层喷液管相对布置，且所述上层喷液管与对应的所述下层喷液管分别位于所述硅片的上方和下方，且所述上层喷液管和所述下层喷液管上的所述喷嘴均朝向所述硅片布置，用于将所述上层喷液管和所述下层喷液管内的液体喷淋到所述硅片上。采用上述技术方案产生的有益效果是，能够实现对硅片进行全方位多角度的高浓度碱液喷淋处理，从而洗掉硅片扩散、退火、激光后产生的一些量少但必须去除的杂质，同时避免硅片长时间浸没在高浓度碱液中破坏PN结，提高硅片品质，减少硅片生产的不良率。进一步的，每个所述上层喷液管或每个所述下层喷液管上均设有多个喷嘴，且多个所述喷嘴均匀布置在所述上层喷液管上或所述下层喷液管上。采用上述技术方案产生的有益效果是，能够实现对经过喷液管的硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型刻蚀碱槽，其特征在于，包括：/n槽体(1)，所述槽体(1)包括主槽(11)、副槽(12)和连接管(13)，所述主槽(11)和所述副槽(12)之间通过所述连接管(13)连接且连通；所述主槽(11)包括相对布置的第一主槽体(111)和第二主槽体(112)，且所述第一主槽体(111)和所述第二主槽体(112)之间形成有滤网(113)；/n压水辊(2)，所述压水辊(2)为多组，多组所述压水辊(2)平行布置，且多组所述压水辊(2)沿与硅片(4)移动方向垂直的方向布置在所述第一主槽体(111)和所述第二主槽体(112)内部，并与所述第一主槽体(111)和所述第二主槽体(112)转动连接；/n喷液管(3)，所述喷液管(3)固定于所述第二主槽体(112)内部，且所述喷液管(3)与所述压水辊(2)平行布置，所述喷液管(3)上连接有喷嘴(31)。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型刻蚀碱槽，其特征在于，包括：
槽体(1)，所述槽体(1)包括主槽(11)、副槽(12)和连接管(13)，所述主槽(11)和所述副槽(12)之间通过所述连接管(13)连接且连通；所述主槽(11)包括相对布置的第一主槽体(111)和第二主槽体(112)，且所述第一主槽体(111)和所述第二主槽体(112)之间形成有滤网(113)；
压水辊(2)，所述压水辊(2)为多组，多组所述压水辊(2)平行布置，且多组所述压水辊(2)沿与硅片(4)移动方向垂直的方向布置在所述第一主槽体(111)和所述第二主槽体(112)内部，并与所述第一主槽体(111)和所述第二主槽体(112)转动连接；
喷液管(3)，所述喷液管(3)固定于所述第二主槽体(112)内部，且所述喷液管(3)与所述压水辊(2)平行布置，所述喷液管(3)上连接有喷嘴(31)。


2.根据权利要求1所述的一种新型刻蚀碱槽，其特征在于，所述副槽(12)包括第一副槽体(121)和第二副槽体(122)，所述第一副槽体(121)和所述第二副槽体(122)分别与对应的所述第一主槽体(111)和所述第二主槽体(112)通过所述连接管(13)连接。


3.根据权利要求2所述的一种新型刻蚀碱槽，其特征在于，所述连接管(13)包括第一进液管(131)、第一排液管(132)、第二进液管(133)和第二排液管(134)，所述第一进液管(131)的进液端与所述第一副槽体(121)的出液口连接，所述第一进液管(131)的出液端与所述第一主槽体(111)的进液口连接；所述第一排液管(132)的进液端与所述第一主槽体(111)的出液口连接，所述第一排液管(132)的出液端与所述第一副槽体(121)的进液口连接；所述第二进液管(133)的进液端与所述第二副槽体(122)的出液口连接，所述第二进液管(133)的出液端与所述喷液管(3)的进液口连接；所述第二排液管(134)的进液端与所述第二主槽体(112)的出液口连接，所述第二排液管(134)的出液端与所述第二副槽体(122)的进液口连接。


4.根据权利要求3所述的一种新型刻蚀碱槽，其特征在于，所述第一排液管(132)和所述第二排液管(134)均为多个，多个所述第一排液管(132)均匀布置在所述第一主槽体(111)和所述第一副槽体(121)之间，多个所述第二排液管(134)均匀布置在所述第二主槽体(112)和第二副槽体(122)之间；所述第一进液管(131)和所述第二进液管(133...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冬冬，王苗，袁团，李浩，宋小刚，韩勇，王旭东，贾慧君，
申请(专利权)人：晋能光伏技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：山西;14