【技术实现步骤摘要】
回流高效率有机废气处理系统
本技术涉及一种回流高效率有机废气处理系统,尤指一种用来将燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用,且不用经过该烟囱进行排放,使有机废气的处理效率提升,而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。
技术介绍
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC),因此,在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备,以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前经过该处理设备脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉进行燃烧,再将燃烧后的气体输送到烟囱进行排放。但是近年来,不管是中央政府或是各地方政府都对空气污染非常重视,也因此在烟囱的排放标准上制定了有关悬浮微粒(PM10)及细悬浮微粒(PM2.5)空气质量标准,并依据其国内健康影响研究结果,以健康影响为优先考量,将“细悬浮微粒(PM2.5)”24小时值定为35μg/m3、年平均值定为15μg/m3。且环保部门初步定于2020年达成全国细悬浮微粒浓度年平均值15μg/m3的目标,同时将依国际管制趋势发展,逐期检讨其细悬浮微粒(PM2.5)空气质量标准,并朝达成WHO提出的空气质量标准值(24小时值定为25μg/m3、年平均值定为10μg/m3)为空气质量改善目标。因此,本技术有鉴于上述缺失,期望能提出一种具有提升有机废气处理效率的回流高效率有机废气处理系统,使使用者可轻易操作组装,乃潜心研思、设计组制,以提供使用者便利性,为本专利技术人的专利技术动机。 ...
【技术保护点】
1.一种回流高效率有机废气处理系统,其特征在于,包括:/n一焚烧装置,该焚烧装置设有至少一进气口及至少一出气口;/n一吸附转轮,该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该第一脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接,该第一脱附浓缩气体管路的另一端与该焚烧装置的进气口连接;/n一第一加热装置,该第一加热装置与该冷却气输送管路的另一端连接,该第一加热装置的另一端与该第一热气输送管路的另一端连接;以及/n一回流热交换器,该回流热交换器设有回流冷侧管路及回流热侧管路,该回流热交换器连接有一回流热气回收管路及一回流回收管路,该回流冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接,该回流热气回收管 ...
【技术特征摘要】
20190412 TW 1082044761.一种回流高效率有机废气处理系统,其特征在于,包括:
一焚烧装置,该焚烧装置设有至少一进气口及至少一出气口;
一吸附转轮,该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该第一脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接,该第一脱附浓缩气体管路的另一端与该焚烧装置的进气口连接;
一第一加热装置,该第一加热装置与该冷却气输送管路的另一端连接,该第一加热装置的另一端与该第一热气输送管路的另一端连接;以及
一回流热交换器,该回流热交换器设有回流冷侧管路及回流热侧管路,该回流热交换器连接有一回流热气回收管路及一回流回收管路,该回流冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接,该回流热气回收管路的一端与该回流热侧管路的一端连接,该回流热气回收管路的另一端与该焚烧装置的出气口连接,该回流回收管路的一端与该回流热侧管路的另一端连接,该回流回收管路的另一端与该废气进气管路连接。
2.一种回流高效率有机废气处理系统,其特征在于,包括:
一焚烧装置,该焚烧装置设有至少一进气口及至少一出气口;
一吸附转轮,该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该第一脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接;
一第一加热装置,该第一加热装置与该冷却气输送管路的另一端连接,该第一加热装置的另一端与该第一热气输送管路的另一端连接;
一第二热交换器,该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路,该第二热交换器连接有一第二焚烧热气回收管路及一第二脱附浓缩气体输送管路,该第二焚烧热气回收管路的一端与该第二热侧管路的一端连接,该第二焚烧热气回收管路的另一端与该焚烧装置的出气口连接,该第一脱附浓缩气体管路的一端与该第二冷侧管路的另一端连接,该第二脱附浓缩气体输送管路的一端与该第二冷侧管路的一端连接,该第二脱附浓缩气体输送管路的另一端与该焚烧装置的进气口连接;以及
一回流热交换器,该回流热交换器设有回流冷侧管路及回流热侧管路,该回流热交换器连接有一回流热气回收管路及一回流回收管路,该回流冷侧管路的一端与该净气排放管路的另一端连接,该回流热气回收管路的一端与该回流热侧管路的一端连接,该回流热气回收管路的另一端与该第二热交换器的第二热侧管路的另一端连接,该回流回收管路的一端与该回流热侧管路的另一端连接,该回流回收管路的另一端与该废气进气管路连接。
3.根据权利要求1或2所述的回流高效率有机废气处理系统,其特征在于,该第一加热装置为加热器或管道加热器的其中一种,该加热器采用电热丝、电热管或电热片的其中一种,该管道加热器采用气体燃料或液体燃料的其中一种。
4.一种回流高效率有机废气处理系统,其特征在于,包括:
一焚烧装置,该焚烧装置设有至少一进气口及至少一出气口;
一吸附转轮,该吸附转轮设有吸附区、冷却区及脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路及一第一脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的另一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该第一脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接;
一第一热交换器,该第一热交换器设有第一冷侧管路及第一热侧管路,该第一冷侧管路的一端与该冷却气输送管路的另一端连接,该第一冷侧管路的另一端与该第一热气输送管路的另一端连接;
一第二热交换器,该第二热交换器设有第二冷侧管路及第二热侧管路,该第二热交换器连接有一第二热气回收管路、一第二焚烧热气回收管路及一第二脱附浓缩气体输送管路,该第二焚烧热气回收管路的一端与该第二热侧管路的一端连接,该第二焚烧热气回收管路的另一端与该焚烧装置的出气口连接,该第二热气回收管路的一端与该第二热侧管路的另一端连接,该第二热气回收管路的另一端与该第一热交换器的第一热侧管路的一端连接,该第一脱附浓缩气体管路的一端与该第二冷侧管路的另一端连接,该第二脱附浓缩气体输送管路的一端与该第二冷侧管路的一端连接,该第二脱附浓缩气体输送管路的另一端与该焚烧装置的进气口连接;以及
一回流热交换器,该回流热交换器设有回流冷侧管路及回流热侧管路,该回流热交换器连接有一回...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑石治,扶亚民,陈伦庆,
申请(专利权)人:华懋科技股份有限公司,上海华懋环保节能设备有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾;71
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