化学气相沉积炉尾气处理装置制造方法及图纸

一种化学气相沉积炉尾气处理装置，尾气管道的上端与化学气相沉积炉炉体连通；夹层结构的尾气管道的下端与焦油收集罐的入口连通。该焦油收集罐的出口与洗气罐的入口之间通过循环管道连通。在该尾气管道内圆周表面分布有多个螺旋排布的挡板，以层层拦截阻挡由化学气相沉积炉出来的高温反应尾气，使大部分尾气中的焦油、粉尘和碳黑等会由气态变为固态凝结在挡板或尾气管道壁上，防止大量焦油等副产物被快速吸入真空系统中，保持真空系统能够长时间连续运行。

Tail gas treatment device of chemical vapor deposition furnace

【技术实现步骤摘要】
化学气相沉积炉尾气处理装置
本专利技术涉及化学气相沉积炉，具体是一种用于化学气相沉积炉尾气的处理装置。
技术介绍
碳基复合材料是一种具有特殊性能的复合材料，其主要制备方法是化学气相沉积工艺，该工艺是将碳纤维预制体放在化学气相沉积炉的工作区内，加热到900-1100℃，通入碳烃化合物如甲烷、丙烯等，碳烃化合物在高温下发生一系列裂解和聚合反应，形成一系列分子量大小不等，分子量分布范围很大的烃类产物体系等，这些产物中分子量大的部分附着在碳纤维预制体上，经脱氢反应后转变为沉积碳；其余部分则以气态的形式从化学气相沉积炉的工作区中排出，成为尾气进入排气系统。化学气相沉积炉排气系统一般由排气管道、焦油罐、伺服阀、截止阀、真空泵等组成。最初始的排气系统带有循环冷却水，所以尾气经过排气系统时温度会逐渐降低；随着尾气温度快速降低，除过尾气中难以液化分子量很小的部分烃类以气体形式排出外，其余分子量较大的烃类尾气部分液化成粘度很大的焦油，甚至是固体焦油颗粒，附着在排气系统的管道、阀门和真空泵等器件内壁上，经过上百小时的积累，很容易导致尾气管道堵塞，阀门卡滞，以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征在于，包括尾气管道、焦油收集罐、挡板和洗气罐；其中：/n所述尾气管道的上端与化学气相沉积炉炉体的上部的孔口连通；该尾气管道的下端与所述焦油收集罐的入口连通；该焦油收集罐的出口与洗气罐的入口之间通过循环管道连通；所述洗气罐的出口与真空泵连通；所述的尾气管道的壳体为夹层结构；/n在该夹层的下端开有循环加热油进口，在该夹层的上端开有循环加热油出口；所述尾气管道壳体夹层两个内表面之间的间距为10～20mm；在该尾气管道内圆周表面分布有多个螺旋排布的挡板。/n

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征在于，包括尾气管道、焦油收集罐、挡板和洗气罐；其中：
所述尾气管道的上端与化学气相沉积炉炉体的上部的孔口连通；该尾气管道的下端与所述焦油收集罐的入口连通；该焦油收集罐的出口与洗气罐的入口之间通过循环管道连通；所述洗气罐的出口与真空泵连通；所述的尾气管道的壳体为夹层结构；
在该夹层的下端开有循环加热油进口，在该夹层的上端开有循环加热油出口；所述尾气管道壳体夹层两个内表面之间的间距为10～20mm；在该尾气管道内圆周表面分布有多个螺旋排布的挡板。


2.如权利要求1所述化学气相沉积炉尾气处理装置，其特征在于，所述多个挡板均为平板，该挡板的一端为固支端，另一端为悬臂端；所述固支端端面为圆弧状，该圆弧的半径与所述尾气管道的内半径相同，将该挡板的固支端焊接固定在尾气管道内圆周表面，并使该挡板的悬臂端与所述固支端之间有...

【专利技术属性】
技术研发人员：李培元，薛亮，杨睿欣，崔鹏，周蕊，王岩，
申请(专利权)人：西安航空制动科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61