光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中，具备用于以高精度、短时间且低成本识别成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品的判定用电路的光源装置。光源装置(100)利用成为光源的放电灯(110)、判定用电路(200)、和安装有放电灯(110)以及判定用电路(200)的反射器容器(151)而构成。并且，判定用电路(200)利用用于检测放电灯(110)是否为正品的RC并联电路(210)、和为了判别放电灯(110)是否为新品而相对于RC并联电路(210)串联连接的熔断器(220)而构成。

Determination method of light source device, exposure device and light source device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法
本专利技术涉及在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中，具备用于对成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品进行检测的判定用电路的光源装置、使用该光源装置的曝光装置、以及光源装置的判定方法。
技术介绍
以往，为了将部件安装于电子设备而使用了在树脂或玻璃环氧材料的基板上用铜等金属形成了布线图案而成的印刷布线基板。为了向这些印刷布线基板上形成布线图案而使用了光刻技术。光刻通过如下方式来进行，即：在整面形成有成为布线的金属层的基板整面上，涂敷作为感光性的药剂的光致抗蚀剂，通过与布线图案相同的光掩模对其照射来自曝光装置的照射光。在光致抗蚀剂中，存在光致抗蚀剂的溶解性由于照射光而降低的负型光致抗蚀剂、以及反之光致抗蚀剂的溶解性由于照射光而增大的正型光致抗蚀剂。若对溶解性由于照射光而相对增大的光致抗蚀剂部分进行化学处理而将其除掉，并利用蚀刻将露出的金属层除去，则会仅残留位于光致抗蚀剂保留的部分之下的金属层，通过除去光致抗蚀剂从而在基板上形成布线图案。在将照射光向正型、负型中的任意一种光致抗蚀剂进行照射的情本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光源装置，具备：/n成为光源的放电灯；/n判定用电路；以及/n反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，/n所述判定用电路具有：/nRC并联电路，用于检测所述放电灯是否为正品；以及/n熔断器，为了判别所述放电灯是否为新品，所述熔断器相对于所述RC并联电路串联连接。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170916 JP 2017-1784251.一种光源装置，具备：
成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：
RC并联电路，用于检测所述放电灯是否为正品；以及
熔断器，为了判别所述放电灯是否为新品，所述熔断器相对于所述RC并联电路串联连接。


2.一种光源装置，具备：
成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：
RC并联电路，用于检测所述放电灯是否为正品；以及
熔断器，为了判别所述放电灯是否为新品，所述熔断器相对于所述RC并联电路并联连接。


3.一种光源装置，具备：
成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：
RC并联电路，用于检测所述放电灯是否为正品；以及
二极管，为了判别所述放电灯是否为新品，所述二极管相对于所述RC并联电路串联连接。


4.一种光源装置，具备：
成为光源的放电灯；
判定用电路；以及
反射器容器，安装有所述放电灯以及所述判定用电路，
所述判定用电路具有：
RC并联电路，用于检测所述放电灯是否为正品；以及
二极管，为了判别所述放电灯是否为新品，所述二极管相对于所述RC并联电路并联连接。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的光源装置，其特征在于，
所述判定用电路容纳在所述反射器容器内。


6.根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，
所述熔断器为温度熔断器。


7.一种曝光装置，具备：
权利要求1所述的光源装置；
框架，将所述光源装置朝向被照射物安装；
恒流电源，向所述判定用电路供给电流；

【专利技术属性】
技术研发人员：池田富彦，乡田哲也，小谷弘一，
申请(专利权)人：凤凰电机公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP