下载光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法的技术资料

文档序号:23941696

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本发明提供一种在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中,具备用于以高精度、短时间且低成本识别成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品的判定用电路的光源装置。光源装置(100)利用成为光源的放电灯(110)、判定用电路(200)、和安装有...
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