一种光斑形状调节装置及设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及激光加工领域，尤其涉及一种光斑形状调节装置及设备，所述光斑形状调节装置包括包括用于改变光斑形状的透镜，用于调整透镜垂直平面位置的调整架机构，以及分别连接调整架机构和透镜用于驱动透镜相对于调整架机构转动的转动机构。通过调整架机构可调整透镜的在垂直平面上的位置，使光束可以从透镜的中心位置射出，提高光斑形状调节装置的调节效果；再通过转动机构驱动透镜转动，即可实现椭圆光斑的长短轴方向的切换，实现对光斑形状的调整，本光斑形状调节装置具有结构简单，适用性好，调节效果好，调节效率高等特点。

A light spot shape adjusting device and equipment

【技术实现步骤摘要】
一种光斑形状调节装置及设备
本技术涉及激光加工领域，尤其涉及一种光斑形状调节装置及设备。
技术介绍
LED晶元激光划片过程中激光光束从光纤激光器中平行射出后，一般形成的圆形光斑直径在5mm左右，光束经过反射、调制、扩束、分束、合束后聚焦成um级的小光斑。在上游工段晶圆来料比较单一、来料质量较好的情况下，普通圆形光斑经过上述过程后即能满足切割要求。但随着市场需求变化，行业产品随之发生改变，切割材料厚度、衬底、密度、切割道宽度会有差异，需要经常调节光路光斑的形状变成椭圆以及调整椭圆光斑的长短轴的方向与晶圆切割道的方向平行或垂直，以改善切割工艺效果，提高产品良率。因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种光斑形状调节装置及设备，用于调节光斑形状，从而切割工艺效果，提高产品良率。本技术的技术方案如下：本技术提供一种光斑形状调节装置，包括用于改变光斑形状的透镜，用于调整透镜垂直平面位置的调整架机构，以及分别连接调整架机构和透镜且用于驱动透镜相对于调整架机构转动的转动机构。本技术的更进一步优选方案是：所述转动机构包括设置有内圈和外圈的轴承，与内圈固定连接的镜片座，与内圈连接的用于驱动内圈转动的驱动组件；所述外圈与调整架机构固定连接。本技术的更进一步优选方案是：所述驱动组件包括与内圈固定连接的驱动块，与调整架机构螺纹连接用于驱使驱动块运动的第一调节螺丝，以及驱使驱动块顶靠在第一调节螺丝上的弹性顶靠组件。本技术的更进一步优选方案是：所述调整架机构包括固定架，可沿固定架上下滑动的第一活动架，可沿第一活动架左右滑动的第二活动架，以及用于驱使固定架、第一活动架、第二活动架紧靠在一起的弹性压紧组件；所述第二活动架与外圈连接。本技术的更进一步优选方案是：所述弹性压紧组件包括分别设置在固定架、第二活动架上的第一压紧件和第二压紧件，依次穿过固定架、第一活动架、第二活动架且两端连接第一压紧件和第二压紧件的拉伸弹簧。本技术的更进一步优选方案是：所述调整架机构还包括设置在固定架和第一活动架一侧的用于调整第一活动架位置的第一位置调整组件，以及设置在第一活动架和第二活动架一侧的第二位置调整组件。本技术的更进一步优选方案是：所述第一位置调整组件包括安装在固定架上的调整板，滑动穿设在调节板上的一端与第一活动架连接的拉杆，设置在拉杆杆和调整板之间为拉杆提供拉力的第一压缩弹簧，以及与调整板螺纹连接一端顶靠在第一活动架上的第二调节螺丝。本技术的更进一步优选方案是：所述调整架机构还包括对应设置在固定架和第一活动架上的第一导向槽和第二导向槽，以及设置在第一导向槽和第二导向槽上的第一导向杆。本技术还提供一种光斑形状调节设备，包括滑轨，滑动设置在滑轨上的如以上任一项所述的两个光斑形状调节装置。本技术的更进一步优选方案是：所述光斑形状调节设备还包括与滑轨平行设置的第二导向杆，以及连接第二导向杆和光斑形状调节装置用于固定或松开光斑形状调节装置的锁紧组件。本技术的有益效果是：通过调整架机构可调整透镜在垂直平面上的位置，使光束可以从透镜的中心位置射出，提高光斑形状调节装置的调节效果；再通过转动机构驱动透镜转动，即可实现椭圆光斑的长短轴方向的切换，实现对光斑形状的调整，本光斑形状调节装置具有结构简单，适用性好，调节效果好，调节效率高等特点。附图说明图1是本技术实施例的光斑形状调节设备的结构示意图；图2是本技术实施例的光斑形状调节装置的结构示意图一；图3是本技术实施例的光斑形状调节装置的结构示意图二；图4是本技术实施例的光斑形状调节装置的结构示意图三(省略第二活动架)；图5是本技术实施例的第一位置调整组件的结构示意图；图6是本技术实施例的光斑形状调节装置的爆炸示意图一图7是本技术实施例的光斑形状调节装置的爆炸示意图二。具体实施方式本技术提供一种光斑形状调节装置，为使本技术的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。本技术实施例提供的一种光斑形状调节装置100及光斑形状调节设备，一并参见图1至图7，其包括用于改变光斑形状的透镜1，用于调整透镜1垂直平面位置的调整架机构2，以及分别连接调整架机构2和透镜1且用于驱动透镜1相对于调整架机构2转动的转动机构3。通过调整架机构2可调整透镜1在垂直平面上的位置，使光束可以从透镜1的中心位置射出，提高光斑形状调节装置100的调节效果；再通过转动机构3驱动透镜1转动，即可实现椭圆光斑的长短轴方向的切换，实现对光斑形状的调整，本光斑形状调节装置具有结构简单，适用性好，调节效果好，调节效率高等特点。本实施例中，所述光束通过透镜1后形成的光斑为椭圆形，通过转动机构3转动透镜1后，即可调整椭圆光斑长轴和短轴的方向，以满足现实生产的切割要求。需要注意的是，所述垂直平面为垂直于入射光的平面，通过调整透镜1在垂直平面上的位置，即可使入射光在经过透镜1中心射出，提高传播效率。进一步的，如图2、图3、图6、图7所示，所述转动机构3包括设置有内圈311和外圈312的轴承31，与内圈311固定连接的镜片座32，与内圈311连接的用于驱动内圈311转动的驱动组件33；所述外圈312与调整架机构2固定连接。通过驱动组件33驱动内圈311转动，即可带动镜片座32上的透镜1转动，实现对光斑的调整。本实施例中，所述转动机构3还包括用于将外圈312压紧固定在调整架机构上的轴承压板34，通过增加一个轴承压板34可以提高轴承31工作时的稳定性。更进一步的，如图2、图3、图6、图7所示，所述镜片座上32开设有用于安装透镜1的安装槽321以及用于固定透镜1的固定块322。通过安装槽321可以有效的提高透镜1安装和拆卸的便捷性；再增加一个固定块322，可以提高透镜1稳定性，防止调节过程中透镜1松动脱落。更进一步的，如图2、图3、图4、图6、图7所示，所述驱动组件33包括与内圈311固定连接的驱动块331，与调整架机构2螺纹连接用于驱使驱动块331运动的第一调节螺丝332，以及驱使驱动块331顶靠在第一调节螺丝332上的弹性顶靠组件333。通过正转或反转第一调节螺丝332，即可使第一调节螺丝332在调整架机构2上做直线运动，从而带动驱动块331运动；当第一调节螺丝332往下运动时，驱动块331向下运动，内圈311正转；当第一调节螺丝332往上运动时，驱动块331在弹性顶靠组件333作用下顶靠在第一调节螺丝332下部随第一调节螺丝332往上运动，内圈311反向转动。更近一步的，所述弹性顶靠组件333包括顶靠在驱动块331上的顶杆3331，以及为顶杆3331提供弹性压紧力的第二压缩弹簧3332。在另外的实施例中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光斑形状调节装置，其特征在于，包括用于改变光斑形状的透镜，用于调整透镜垂直平面位置的调整架机构，以及分别连接调整架机构和透镜且用于驱动透镜相对于调整架机构转动的转动机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种光斑形状调节装置，其特征在于，包括用于改变光斑形状的透镜，用于调整透镜垂直平面位置的调整架机构，以及分别连接调整架机构和透镜且用于驱动透镜相对于调整架机构转动的转动机构。


2.根据权利要求1所述的光斑形状调节装置，其特征在于，所述转动机构包括设置有内圈和外圈的轴承，与内圈固定连接的镜片座，与内圈连接的用于驱动内圈转动的驱动组件；所述外圈与调整架机构固定连接。


3.根据权利要求2所述的光斑形状调节装置，其特征在于，所述驱动组件包括与内圈固定连接的驱动块，与调整架机构螺纹连接用于驱使驱动块运动的第一调节螺丝，以及驱使驱动块顶靠在第一调节螺丝上的弹性顶靠组件。


4.根据权利要求2所述的光斑形状调节装置，其特征在于，所述调整架机构包括固定架，可沿固定架上下滑动的第一活动架，可沿第一活动架左右滑动的第二活动架，以及用于驱使固定架、第一活动架、第二活动架紧靠在一起的弹性压紧组件；所述第二活动架与外圈连接。


5.根据权利要求4所述的光斑形状调节装置，其特征在于，所述弹性压紧组件包括分别设置在固定架、第二活动架上的第一压紧件和第二压紧件，依次穿过固定架、第一活动架、第二活动架且两端连接第一压紧...

【专利技术属性】
技术研发人员：周黎明，李忠乾，辛焕寅，黄浩，盛存国，张红江，李海峰，陈红，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44