一种超纯砷烷的分析装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种超纯砷烷的分析装置，包括定量筒，定量筒顶端的中部固定设有螺纹连接头，第一气体管道的一端螺纹连接有预分析柱，预分析柱的一端螺纹连接有第三气体管道，第三气体管道的一端螺纹连接有DID检测仪，DID检测仪的一侧螺纹连接有第四气体管道，第四气体管道和第二气体管道之间螺纹连接有第一分析柱和第二分析柱，本实用新型专利技术的有益效果是通过设有的DID检测仪，利用DID检测仪内部的氦离子化检测器分析杂质气体，结果稳定，能在很短的时间内给出平衡的分析值、定量准确、检测限低及分析周期短，通过设有的分子泵机组、法兰件、防逆管道和隔膜阀，便于采用负压进气的方式，提高了操作的安全性。

An analysis device of ultrapure Arsene

【技术实现步骤摘要】
一种超纯砷烷的分析装置
本技术涉及一种分析装置，特别涉及一种超纯砷烷的分析装置。
技术介绍
砷烷用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂、硅中“N”型扩散、离子注入、生长砷化镓、磷砷化镓以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。另外，砷烷还用作标准气、校正气及标准混合气，因此，积极进行超纯砷烷气体的开发研究对促进电子工业及其它有关技术的发展有着十分重要的意义。与此同时，对超纯砷烷检测技术的发展也带来了更高的要求。在超纯砷烷分析中，难点主要体现在安全性上，因为砷烷的剧毒性质，所以在分析方法的设定上除了考虑分析的准确性外还要考虑安全性，因此提供一种超纯砷烷的分析装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种超纯砷烷的分析装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种超纯砷烷的分析装置，包括定量筒，所述定量筒顶端的中部固定设有螺纹连接头，所述定量筒的一端分别螺纹连接有第一气体管道和第二气体管道，所述第一气体管道的一端螺纹连接有预分析柱，所述预分析柱的一端螺纹连接有第三气体管道，所述第三气体管道的一端螺纹连接有DID检测仪，所述DID检测仪的一侧螺纹连接有第四气体管道，所述第四气体管道和第二气体管道之间螺纹连接有第一分析柱和第二分析柱。作为本技术的一种优选技术方案，所述预分析柱的内部活动设有CST填充柱，所述第一分析柱的内部活动设有5A分子筛填充柱，所述第二分析柱的内部活动设有HaysepQ填充柱。作为本技术的一种优选技术方案，所述定量筒的另一端螺纹连接有隔膜阀，所述隔膜阀的一端螺纹连接有防逆管道，所述防逆管道的一端通过安装有的法兰件螺纹连接有分子泵机组。作为本技术的一种优选技术方案，所述第一分析柱的长度和直径、第二分析柱的长度和直径和预分析柱的长度和直径均相等。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术一种超纯砷烷的分析装置，通过设有的DID检测仪，利用DID检测仪内部的氦离子化检测器分析杂质气体，结果稳定，能在很短的时间内给出平衡的分析值、定量准确、检测限低及分析周期短，通过设有的分子泵机组、法兰件、防逆管道和隔膜阀，便于采用负压进气的方式，提高了操作的安全性。附图说明图1为本技术正面结构示意图。图中：1、分子泵机组；2、法兰件；3、防逆管道；4、隔膜阀；5、螺纹连接头；6、定量筒；7、第一气体管道；8、第二气体管道；9、预分析柱；10、第一分析柱；11、第二分析柱；12、第三气体管道；13、第四气体管道；14、DID检测仪。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1，本技术提供了一种超纯砷烷的分析装置，包括定量筒6，定量筒6顶端的中部固定设有螺纹连接头5，定量筒6的一端分别螺纹连接有第一气体管道7和第二气体管道8，第一气体管道7的一端螺纹连接有预分析柱9，预分析柱9的一端螺纹连接有第三气体管道12，第三气体管道12的一端螺纹连接有DID检测仪14，DID检测仪14的一侧螺纹连接有第四气体管道13，第四气体管道13和第二气体管道8之间螺纹连接有第一分析柱10和第二分析柱11。优选的，预分析柱9的内部活动设有CST填充柱，第一分析柱10的内部活动设有5A分子筛填充柱，第二分析柱11的内部活动设有HaysepQ填充柱，便于更好的进行分析，提高准确性。优选的，定量筒6的另一端螺纹连接有隔膜阀4，隔膜阀4的一端螺纹连接有防逆管道3，防逆管道3的一端通过安装有的法兰件2螺纹连接有分子泵机组1，便于抽空内部的气体，便于负压进气，提高安全性。优选的，第一分析柱10的长度和直径、第二分析柱11的长度和直径和预分析柱9的长度和直径均相等，使用方便，更换快捷。具体使用时，本技术一种超纯砷烷的分析装置，分子泵机组1通电后开始工作，使得后续装置管道内部的气体被抽出，产生负压，紧接着将超纯砷烷的管道与螺纹连接头5相接通，使得超纯砷烷慢慢的进入到定量筒6的内部，当外接的压力测量系统检测到定量筒6内部的压强变为零时，关闭超纯砷烷的管道，停止供气，依次打开第一气体管道7和第二气体管道8自带的阀门，使得气体沿着第一气体管道7和第二气体管道8依次进入到预分析柱9的内部、第一分析柱10的内部和第二分析柱11的内部，最后气体经过DID检测仪14内部的氦离子化检测器的检测，得出谱图显示在DID检测仪14表面的显示屏处，分析得出结果，DID检测仪14能够使得检测稳定，能在很短的时间内给出平衡的分析值、安全性高、检测限低及分析周期短。在本技术的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超纯砷烷的分析装置，包括定量筒(6)，其特征在于，所述定量筒(6)顶端的中部固定设有螺纹连接头(5)，所述定量筒(6)的一端分别螺纹连接有第一气体管道(7)和第二气体管道(8)，所述第一气体管道(7)的一端螺纹连接有预分析柱(9)，所述预分析柱(9)的一端螺纹连接有第三气体管道(12)，所述第三气体管道(12)的一端螺纹连接有DID检测仪(14)，所述DID检测仪(14)的一侧螺纹连接有第四气体管道(13)，所述第四气体管道(13)和第二气体管道(8)之间螺纹连接有第一分析柱(10)和第二分析柱(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种超纯砷烷的分析装置，包括定量筒(6)，其特征在于，所述定量筒(6)顶端的中部固定设有螺纹连接头(5)，所述定量筒(6)的一端分别螺纹连接有第一气体管道(7)和第二气体管道(8)，所述第一气体管道(7)的一端螺纹连接有预分析柱(9)，所述预分析柱(9)的一端螺纹连接有第三气体管道(12)，所述第三气体管道(12)的一端螺纹连接有DID检测仪(14)，所述DID检测仪(14)的一侧螺纹连接有第四气体管道(13)，所述第四气体管道(13)和第二气体管道(8)之间螺纹连接有第一分析柱(10)和第二分析柱(11)。


2.根据权利要求1所述的一种超纯砷烷的分析装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兴，
申请(专利权)人：海口美丽海洋化工有限公司，
类型：新型
国别省市：海南;46