一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备，包括箱体，所述箱体下端的外表面上固定设置有若干根支撑柱，所述支撑柱的下端固定设置有固定板，所述固定板上端面的一侧安装有电源箱，所述电源箱的输出端电性连接有真空泵，所述真空泵安装在固定板的上端面上，所述真空泵的进气端通过导管与箱体的下端面连接，所述箱体内部下端的两侧均通过开设滑槽滑动连接有连接杆，所述连接杆在滑槽内部一端的下端面上设置有第一弹簧，所述第一弹簧的下端设置在箱体上，所述连接杆的另一端设置有蒸发皿。本实用新型专利技术结构简单，设计合理，能够对被镀膜设备进行均匀喷涂，提高镀膜效果，同时能够快速的对多个面进行镀膜，提高镀膜速率。

A vacuum coating equipment with uniform spraying function

【技术实现步骤摘要】
一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备
本技术涉及真空镀膜设备
，具体为一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备。
技术介绍
在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜，虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜，真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。传统装置有如下不足：1、镀膜材料是通过自然的挥发作用力或者相应的压力镀在被镀装置上，难以保证镀膜材料均匀的喷涂，在压力较大的地方镀膜层较厚，降低了镀膜效果；2、同时对于需要多面进行镀膜的装置而言，需要工作人员多次操作，增加了工作人员的负担，同时降低了镀膜效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备，以解决上述
技术介绍
中提出的镀膜材料是通过自然的挥发作用力或者相应的压力镀在被镀装置上，难以保证镀膜材料均匀的喷涂，在压力较大的地方镀膜层较厚，降低了镀膜效果的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备，包括箱体，所述箱体下端的外表面上固定设置有若干根支撑柱，所述支撑柱的下端固定设置有固定板，所述固定板上端面的一侧安装有电源箱，所述电源箱的输出端电性连接有真空泵，所述真空泵安装在固定板的上端面上，所述真空泵的进气端通过导管与箱体的下端面连接，所述箱体内部下端的两侧均通过开设滑槽滑动连接有连接杆，所述连接杆在滑槽内部一端的下端面上设置有第一弹簧，所述第一弹簧的下端设置在箱体上，所述连接杆的另一端设置有蒸发皿，所述蒸发皿的下端设置有安装框，所述安装框的上端面上安装有电热片，所述安装框的下端面上安装有振动电机，所述电源箱的输出端分别与电热片和振动电机电性连接，所述箱体内部的上端固定设置有支撑板，所述支撑板上开设有开口设置有固定框，所述固定框的两侧均设置有转轴，所述转轴的另一端活动设置在支撑板上，所述箱体内部上端面的一侧安装有电机，所述电源箱的输出端与电机的输入端电性连接，所述电机的输出端与转轴连接，所述固定框的两侧均通过开设螺纹孔螺纹连接有调节杆，所述调节杆的另一端活动设置有夹板，所述箱体的一侧活动设置有箱门。优选的，所述箱体内部下端的两侧均设置有倾斜块。优选的，所述固定板下端的两侧均设置有固定杆，所述固定杆的另一端设置在支撑柱上。优选的，所述安装框的下端面上在振动电机的两侧均设置有第二弹簧。优选的，所述夹板靠近调节杆一侧侧面的两侧均设置有第三弹簧，所述第三弹簧的另一端设置在固定框上。优选的，所述箱门与箱体相邻的一侧均设置有塑料磁条，所述箱门上通过开设窗口设置有玻璃。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术通过在箱体内部下端的两侧均通过开设滑槽滑动连接有连接杆，连接杆的另一端设置有蒸发皿，蒸发皿的下端设置有安装框，安装框的上端面上安装有电热片，安装框的下端面上安装有振动电机，通过振动电机产生高度的振动作用力，加快挥发粒子的运动速率，使镀膜材料的粒子能够在有足够动力的情况下均匀扩散，保证镀膜粒子均匀的喷涂，提高喷涂效果；2、本技术通过在支撑板上开设有开口设置有安装框，安装框的两侧均设置有转轴，转轴的另一端活动设置在支撑板上，安装框的两侧均通过开设螺纹孔螺纹连接有调节杆，调节杆的另一端活动设置有夹板，能够快速的对被镀膜装置进行固定，同时能够同时对多个面进行喷涂镀膜，提高镀膜效率，减轻工作人员的工作负担。附图说明图1为本技术一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备整体结构示意图；图2为本技术一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备整体主视图；图3为本技术一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备支撑板俯视图；图4为本技术一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备图1中A处放大示意图。图中：1、箱体；101、支撑柱；102、滑槽；103、倾斜块；2、固定板；3、电源箱；4、真空泵；5、连接杆；6、第一弹簧；7、蒸发皿；8、安装框；9、电热片；10、振动电机；11、支撑板；12、固定框；121、转轴；122、调节杆；13、电机；14、夹板；15、箱门；151、玻璃；16、固定杆；17、第二弹簧；18、第三弹簧。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备，包括箱体1，箱体1下端的外表面上焊接有若干根支撑柱101，支撑柱101的下端焊接有固定板2，固定板2上端面的一侧通过螺栓安装有电源箱3，电源箱3的输出端通过导线电性连接有真空泵4，真空泵4通过螺栓安装在固定板2的上端面上，真空泵4的进气端通过导管与箱体1的下端面连接，箱体1内部下端的两侧均通过开设滑槽102滑动连接有连接杆5，连接杆5在滑槽102内部一端的下端面上通过胶水粘连有第一弹簧6，第一弹簧6的下端通过胶水粘连在箱体1上，连接杆5的另一端焊接有蒸发皿7，蒸发皿7的下端焊接有安装框8，安装框8的上端面上通过螺栓安装有电热片9，安装框8的下端面上通过螺栓安装有振动电机10，电源箱3的输出端分别通过导线与电热片9和振动电机10电性连接，箱体1内部的上端焊接有支撑板11，支撑板11上开设有开口安装有固定框12，固定框12的两侧均焊接有转轴121，转轴121的另一端通过轴承安装在支撑板11上，箱体1内部上端面的一侧通过螺栓安装有电机13，电源箱3的输出端与电机13的输入端通过导线电性连接，电机13的输出端通过皮带轮和皮带与转轴121连接，固定框12的两侧均通过开设螺纹孔螺纹连接有调节杆122，调节杆122的另一端通过轴承安装有夹板14，箱体1的一侧通过铰链安装有箱门15。箱体1内部下端的两侧均通过螺栓安装有倾斜块103，有利于更快速的将气体排出；固定板2下端的两侧均焊接有固定杆16，固定杆16的另一端焊接在支撑柱101上,有利于增加固定板2的稳定性；安装框8的下端面上在振动电机10的两侧均安装有第二弹簧17，有利于进一步提供弹力，同时避免振动电机10与箱体1的下端面刚性接触；夹板14靠近调节杆122一侧侧面的两侧均安装有第三弹簧18，第三弹簧18的另一端设置在固定框12上，有利于增加夹板14的稳定性；箱门15与箱体1相邻的一侧均通过胶水粘连有塑料磁条，箱门15上通过开设窗口用胶水粘连有玻璃151，有利于增加箱门15与箱体1之间的密封性，同时有利于观察镀膜情况。工作原理：在使用装置时，首先将镀膜用材料放在蒸发皿7中，然后将被镀装置放在固定框12之间，通过转动调节杆122推动夹板14运动将被镀装置固定住，然后关闭箱门15，先启动真空泵4，当真空泵4将箱体1内部空气抽完后启动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)下端的外表面上固定设置有若干根支撑柱(101)，所述支撑柱(101)的下端固定设置有固定板(2)，所述固定板(2)上端面的一侧安装有电源箱(3)，所述电源箱(3)的输出端电性连接有真空泵(4)，所述真空泵(4)安装在固定板(2)的上端面上，所述真空泵(4)的进气端通过导管与箱体(1)的下端面连接，所述箱体(1)内部下端的两侧均通过开设滑槽(102)滑动连接有连接杆(5)，所述连接杆(5)在滑槽(102)内部一端的下端面上设置有第一弹簧(6)，所述第一弹簧(6)的下端设置在箱体(1)上，所述连接杆(5)的另一端设置有蒸发皿(7)，所述蒸发皿(7)的下端设置有安装框(8)，所述安装框(8)的上端面上安装有电热片(9)，所述安装框(8)的下端面上安装有振动电机(10)，所述电源箱(3)的输出端分别与电热片(9)和振动电机(10)电性连接，所述箱体(1)内部的上端固定设置有支撑板(11)，所述支撑板(11)上开设有开口设置有固定框(12)，所述固定框(12)的两侧均设置有转轴(121)，所述转轴(121)的另一端活动设置在支撑板(11)上，所述箱体(1)内部上端面的一侧安装有电机(13)，所述电源箱(3)的输出端与电机(13)的输入端电性连接，所述电机(13)的输出端与转轴(121)连接，所述固定框(12)的两侧均通过开设螺纹孔螺纹连接有调节杆(122)，所述调节杆(122)的另一端活动设置有夹板(14)，所述箱体(1)的一侧活动设置有箱门(15)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种具有均匀喷涂功能的真空镀膜设备，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)下端的外表面上固定设置有若干根支撑柱(101)，所述支撑柱(101)的下端固定设置有固定板(2)，所述固定板(2)上端面的一侧安装有电源箱(3)，所述电源箱(3)的输出端电性连接有真空泵(4)，所述真空泵(4)安装在固定板(2)的上端面上，所述真空泵(4)的进气端通过导管与箱体(1)的下端面连接，所述箱体(1)内部下端的两侧均通过开设滑槽(102)滑动连接有连接杆(5)，所述连接杆(5)在滑槽(102)内部一端的下端面上设置有第一弹簧(6)，所述第一弹簧(6)的下端设置在箱体(1)上，所述连接杆(5)的另一端设置有蒸发皿(7)，所述蒸发皿(7)的下端设置有安装框(8)，所述安装框(8)的上端面上安装有电热片(9)，所述安装框(8)的下端面上安装有振动电机(10)，所述电源箱(3)的输出端分别与电热片(9)和振动电机(10)电性连接，所述箱体(1)内部的上端固定设置有支撑板(11)，所述支撑板(11)上开设有开口设置有固定框(12)，所述固定框(12)的两侧均设置有转轴(121)，所述转轴(121)的另一端活动设置在支撑板(11)上，所述箱体(1)内部上端面的一侧安装有电机(13)，所述电源箱(3)的输出端与电机(13)的输入端电性连接，所述电机(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢得军，
申请(专利权)人：道和信实业天津有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12