体声波谐振器制造技术

本发明专利技术提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；腔，形成在所述基板中；第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；谐振部，通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；附加层，设置在布置于位于所述谐振部的外侧的布线区域中的所述第一电极的一个表面上；以及布线电极，连接至布置在所述布线区域中的所述第一电极。所述第一电极与所述附加层和所述布线电极形成接触界面表面。

Bulk acoustic resonator

【技术实现步骤摘要】
体声波谐振器本申请要求于2018年10月12日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0121707号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。
本申请涉及一种体声波谐振器。
技术介绍
近来，随着移动通信装置、化学装置和生物装置等的迅速发展，对这样的装置中使用的小型轻量化的滤波器、振荡器、谐振元件、声波谐振质量传感器等的需求已经增加。通常，薄膜体声波谐振器(FBAR)已经用作实现小型轻量化的滤波器、振荡器、谐振元件、声波谐振质量传感器等的装置。可以以非常低的成本批量生产薄膜体声波谐振器，并且薄膜体声波谐振器可被实现为微型谐振器。此外，薄膜体声波谐振器可实现高的品质因子(Q)(滤波器的主要性质之一)，并且可在微频带中使用，并且可部分地实现个人通信系统(PCS)频带和数字无绳系统(DCS)频带。通常，薄膜体声波谐振器可包括通过在基板上按顺序堆叠第一电极、压电层、第二电极实现的谐振部。关于薄膜体声波谐振器的工作原理，通过施加到第一电极和第二电极的电能，在压电层中感应出电场，并且由于感应出的电场在压电层中发生压电效应，使得谐振器可在特定方向上振动。结果，可在与振动方向相同的方向上产生体声波，并且可发生谐振。提供以上信息作为背景信息仅为帮助理解本公开。关于以上任何内容是否可作为相对于本公开的现有技术适用，没有做出任何决定，并且没有做出任何断言。
技术实现思路
提供本
技术实现思路
以按照简化形式介绍所选择的构思，在以下具体实施方式中进一步描述所述构思。本
技术实现思路
既不意在确定所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。在一个总体方面，一种体声波谐振器包括：基板；腔，形成在所述基板中或形成在所述基板上；第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；谐振部，通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；附加层，设置在布置在位于所述谐振部的外侧的布线区域中的所述第一电极的一个表面上；以及布线电极，连接至布置在所述布线区域中的所述第一电极。所述第一电极与所述附加层和所述布线电极形成接触界面表面。所述附加层可设置在布置在所述布线区域中的所述第一电极的上表面上，并且可包括使布置在所述布线区域中的所述第一电极暴露的图案，并且布置在所述布线区域中的所述第一电极可通过所述图案连接至所述布线电极。所述附加层可覆盖布置在所述布线区域中的所述第一电极的边缘。布置在所述谐振部中的所述第一电极和布置在所述布线区域中的所述第一电极可彼此分开，并且覆盖布置在所述布线区域中的所述第一电极的边缘的所述附加层可延伸至所述谐振部并连接至所述谐振部的所述第一电极。所述附加层可设置在布置在所述布线区域中的所述第一电极的上表面的内部区域中。所述附加层可包括：第一附加层和第二附加层，按顺序设置在所述第一电极的上表面上。所述附加层可布置在所述第一电极的下表面上。所述附加层可利用绝缘材料和金属中的一种形成。所述附加层的蚀刻率可高于所述第一电极的蚀刻率。所述压电层可设置在所述附加层的上部，并且所述压电层的图案可与所述附加层的图案相同。在另一个总体方面，一种体声波谐振器包括：基板；多个腔，形成在所述基板中或形成在所述基板上；第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；多个谐振部，通过在所述多个腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；布线区域，包括将所述多个谐振部的部分连接的布线电极；附加层，设置在布置在所述布线区域中的所述第一电极的上表面上，其中，所述附加层被分成具有不同厚度的多个区域，并且所述多个区域连接至所述布线电极。所述附加层可包括具有第一厚度的第一区域和具有第二厚度的第二区域。所述第一厚度可大于所述第二厚度。所述第一区域可围绕所述第二区域。设置在布置在所述布线区域中的所述第一电极的上表面上的所述附加层可与布置在所述多个谐振部中的所述第一电极分开。所述附加层可利用金属形成。在另一个总体方面，一种体声波谐振器包括：谐振部，包括按顺序堆叠在基板上的腔、第一电极、压电层和第二电极；附加层，设置在位于所述谐振部的外侧的布线区域中的第一电极上；以及布线电极，连接至设置在所述布线区域中的所述第一电极，其中，所述布线电极与所述第一电极上的所述附加层形成接触界面表面。所述第一电极可与所述布线电极形成接触界面表面。所述附加层可包括具有第一厚度的第一区域和具有小于所述第一厚度的第二厚度的第二区域，并且所述第一电极可与所述布线电极分开至少所述第二厚度。所述腔可以以台地形状或圆顶形状形成在所述基板上方。通过以下具体实施方式、附图以及权利要求，其他特征和方面将显而易见。附图说明图1是示出根据本公开的一个或更多个示例实施例的体声波谐振器的截面图。图2A、图2B和图2C是示出根据本公开的示例实施例的体声波谐振器的谐振器之间的连接关系的截面图。图3A、图3B、图3C、图3D、图3E、图3F、图3G、图3H、图3I和图3J是示出制造根据图1中示出的一个或更多个示例实施例的体声波谐振器的示例工艺的示图。图4、图5、图6、图7、图8和图9是示出根据本公开的一个或更多个其他示例实施例的体声波谐振器的截面图。图10、图11、图12和图13是示出根据本公开的一个或更多个示例实施例的体声波谐振器的结构的示图。在整个附图和具体实施方式中，相同的标号指的是相同的元件。附图可不按照比例绘制，并且为了清楚、说明和方便起见，可夸大附图中的元件的相对尺寸、比例和描绘。具体实施方式提供以下具体实施方式以帮助读者获得在此描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在理解本申请的公开内容后，在此描述的方法、设备和/或系统的各种改变、变形及等同物将是显而易见的。例如，在此描述的操作顺序仅仅是示例，且不限于在此阐述的示例，而是除了必须按照特定顺序发生的操作外，可做出在理解本申请的公开内容后将是显而易见的改变。此外，为了提高清楚性和简洁性，可省略本领域中已知的特征的描述。在此描述的特征可按照不同的形式实施，并且将不被解释为局限于在此描述的示例。更确切的说，提供在此描述的示例，仅仅为了示出在理解了本申请的公开内容之后将是显而易见的实现在此描述的方法、设备和/或系统的很多可行方式中的一些可行方式。在下文中，虽然将参照附图详细描述本公开的实施例，但是应注意的是，示例不限于这些实施例。在整个说明书中，当诸如层、区域或基板的元件被描述为“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件时，该元件可直接“在”另一元件“上”、直接“连接到”另一元件或直接“结合到”另一元件，或者可存在介于它们之间的一个或更多个其他元件。相比之下，当元件被描述为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件或“直接结合到”另一元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：/n基板；/n腔，形成在所述基板中或形成在所述基板上；/n第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；/n谐振部，通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；/n附加层，设置在设置于位于所述谐振部的外侧的布线区域中的所述第一电极的一个表面上；以及/n布线电极，连接至设置在所述布线区域中的所述第一电极，/n其中，所述第一电极与所述附加层和所述布线电极形成接触界面表面。/n

【技术特征摘要】
20181012 KR 10-2018-01217071.一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：
基板；
腔，形成在所述基板中或形成在所述基板上；
第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；
谐振部，通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；
附加层，设置在设置于位于所述谐振部的外侧的布线区域中的所述第一电极的一个表面上；以及
布线电极，连接至设置在所述布线区域中的所述第一电极，
其中，所述第一电极与所述附加层和所述布线电极形成接触界面表面。


2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述附加层设置在设置于所述布线区域中的所述第一电极的上表面上，并且包括使设置在所述布线区域中的所述第一电极暴露的图案，并且
其中，设置在所述布线区域中的所述第一电极通过所述图案连接至所述布线电极。


3.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述附加层覆盖设置在所述布线区域中的所述第一电极的边缘。


4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，
其中，设置在所述谐振部中的所述第一电极和设置在所述布线区域中的所述第一电极彼此分开，并且
其中，覆盖设置在所述布线区域中的所述第一电极的边缘的所述附加层延伸至所述谐振部并连接至所述谐振部的所述第一电极。


5.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述附加层设置在设置于所述布线区域中的所述第一电极的上表面的内部区域中。


6.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述附加层包括：第一附加层和第二附加层，按顺序设置在所述第一电极的上表面上。


7.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述附加层设置在所述第一电极的下表面上。


8.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述附加层利用绝缘材料和金属中的一种形成。


9.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述附加层的蚀刻率高于所述第一电极的蚀刻率。


10.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述压电层设置在所述附加层的上...

【专利技术属性】
技术研发人员：金泰润，林昶贤，尹湘基，李泰京，李文喆，李泰勳，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR