下载体声波谐振器的技术资料

文档序号:23897524

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本发明提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;腔,形成在所述基板中;第一电极、压电层和第二电极,按顺序堆叠在所述基板上;谐振部,通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义;附加层,设置在布置于位...
该专利属于三星电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电机株式会社授权不得商用。

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