薄膜水汽透过率的测试装置及测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种薄膜水汽透过率的测试装置及测试方法，其中的方法包括：S1、将被测样品放置在测试光路中，光源发出的光经准直光学系统准直成准直光后入射到第一分光棱镜上，通过第一分光棱镜将准直光分成测量光和参考光；S2、测量光和参考光通过遮光板的开合控制分别进入图像采集相机，得到样品图像和参考图像；其中，测量光穿过被测样品进入到图像采集相机，参考光不穿过被测样品进入图像采集相机；S3、根据样品图像和参考图像计算被测样品的透过率变化系数；S4、根据该透过率变化系数计算水汽透过率。本发明专利技术通过利用钙单质与水汽反应过程中透过率的变换情况计算得到薄膜的水汽透过性能，有效提高薄膜水汽透过率的测试精度，测试精度可达10

Testing device and method of water vapor transmittance of thin film

【技术实现步骤摘要】
薄膜水汽透过率的测试装置及测试方法
本专利技术涉及光电测量
，特别涉及一种薄膜水汽透过率的测试装置及测试方法。
技术介绍
近年来，薄膜封装技术得到了进一步发展，在有机电致发光器件、薄膜太阳能电池等领域得到了广泛的应用，尤其是柔性显示器件的专利技术，使薄膜封装成为器件制备过程中不可或缺的一个环节。柔性显示器件通常采用有机电致材料作为发光单元，然后有机电致材料对水氧特别敏感，为了确保柔性显示器件的使用寿命，需要封装材料具有极高的水氧阻隔性能，其水汽透过率能够达到10-6g/m2/day。目前，薄膜的水汽透过率通常采用压差法进行测量，即将薄膜放置在测试腔中，利用薄膜将测试腔分割成两个部分，在其中一部分腔体中通高湿气体，在另一部分腔体中放置高灵敏度水汽测量传感器，在单位时间内，利用水汽测量传感器测量透过薄膜的水汽含量，进而计算出薄膜的水汽透过率。该方法测试原理简易，实现方便，能够对食品包装、医药包装材料进行测量，但该方法的测试精度只能达到10-4g/m2/day，无法满足电子器件的封装性能测试要求，因此急需研制一种高精度的薄膜的水本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜水汽透过率的测试装置，其特征在于，包括光源、准直光学系统、第一分光棱镜、第二分光棱镜和图像采集相机；其中，所述光源发出的光经所述准直光学系统准直成准直光后入射到所述第一分光棱镜上，所述第一分光棱镜将所述准直光分成测量光和参考光；所述测量光穿过被测样品，再通过第二分光棱镜汇聚到图像采集相机，所述参考光不穿过被测样品，再通过第二分光棱镜汇聚到图像采集相机。/n

【技术特征摘要】
1.一种薄膜水汽透过率的测试装置，其特征在于，包括光源、准直光学系统、第一分光棱镜、第二分光棱镜和图像采集相机；其中，所述光源发出的光经所述准直光学系统准直成准直光后入射到所述第一分光棱镜上，所述第一分光棱镜将所述准直光分成测量光和参考光；所述测量光穿过被测样品，再通过第二分光棱镜汇聚到图像采集相机，所述参考光不穿过被测样品，再通过第二分光棱镜汇聚到图像采集相机。


2.根据权利要求1所述的薄膜水汽透过率的测试装置，其特征在于，还包括第一反射棱镜、第二反射棱镜、第一电动遮光板、第二电动遮光板；所述测量光依次穿过所述第一电动遮光、所述被测样品后经所述第二分光棱镜的透射进入所述图像采集相机，所述参考光经所述第一反射棱镜的反射后穿过所述第二电动遮光板，再经所述第二反射棱镜反射至所述第二分光棱镜，经所述第二分光棱镜的反射进入所述图像采集相机。


3.根据权利要求2所述的薄膜水汽透过率的测试装置，其特征在于，还包括设置在所述第一电动遮光板与所述第二分光棱镜之间的样品架，所述被测样品固定在所述样品架上。


4.根据权利要求1-3中任意一项所述的薄膜水汽透过率的测试装置，其特征在于，所述光源为均匀面光源。


5.根据权利要求4所述的薄膜水汽透过率的测试装置，其特征在于，所述光源为白炽灯或LED灯。


6.根据权利要求1所述的薄膜水汽透过率的测试装置，其特征在于，所述光学系统为透射式光学系统、反射式光学系统或透射反射式组合光学系统。


7.一种薄膜水汽透过率的测试方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、将被测样品放置在测试光路中，所述光源发出的光经所述准直光学系统准直成准直光后入射到第一分光棱镜上，通过所述第一分光棱镜将所述准直光分成测量光和参考光；
S2、所述测量光和所述参考光通过遮光板的开合控制分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨永强，段羽，赵宇，李俊霖，唐延甫，李忠明，李洪雨，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22