【技术实现步骤摘要】
柔性压力传感及其制备方法
本专利技术涉及可穿戴传感器
，尤其是一种柔性压力传感及其制备方法。
技术介绍
可穿戴传感器可实现人体多种指标的连续、无创检测，在现代医疗检测中正扮演越来越重要的角色。例如可在衣物中引入柔性压力传感器以监测心率、脉搏等生理信号，或在鞋中加入压力传感器以监测使用者的足底压力、步态并评估运动状态和损伤。压力传感器可分为电阻式、电容式和压电式压力传感器，不同种类的传感器传感原理不同，但评价一个传感器性能好坏的指标都是一样的，主要包括灵敏度、稳定性、线性度、精度、分辨率、量程和迟滞等。目前，压电式、电容式和电阻式柔性传感器的最高灵敏度分别为0.02kPa-1、0.55kPa-1、1.8kPa-1，压电式压力传感器的最大量程可达几十到几百MPa，而电容式和电阻式压力传感器的最大量程小于1MPa,因此，若要获得更高灵敏度大量程的压力传感器，往往选用电容式和压电式复合压力传感器进行研究，但压电式压力传感器主要是用来测动态压力，无法对静态压力进行检测，而电容式压力传感器即可测动态压力，也可测静态压力。<...
【技术保护点】
1.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括介电层、第一电极层、第二电极层、第一过渡层及第二过渡层，从所述柔性压力传感器的一侧至另一侧，所述第一电极层、所述第一过渡层、所述介电层、所述第二过渡层及所述第二电极层依次层叠设置，所述第一过渡层由所述第一电极层的材料及所述介电层的材料混合制成，所述第二过渡层由所述第二电极层的材料及所述介电层的材料混合制成。/n
【技术特征摘要】
1.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括介电层、第一电极层、第二电极层、第一过渡层及第二过渡层，从所述柔性压力传感器的一侧至另一侧，所述第一电极层、所述第一过渡层、所述介电层、所述第二过渡层及所述第二电极层依次层叠设置，所述第一过渡层由所述第一电极层的材料及所述介电层的材料混合制成，所述第二过渡层由所述第二电极层的材料及所述介电层的材料混合制成。
2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述第一过渡层及所述第二过渡层的厚度为20-100nm，所述第一电极层及所述第二电极层的厚度为20-100nm。
3.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述第一过渡层及所述第二过渡层内还混合有多巴胺或硅烷偶联剂。
4.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述介电层包括模量及弹性不同的第一介电层及第二介电层，以及设置于所述第一介电层与所述第二介电层之间的介电过渡层，所述介电过渡层由第一介电层的材料及所述第二介电层的材料混合而成，所述第一过渡层设置于所述第一介电层与所述第一电极层之间，所述第一过渡层由所述第一介电层的材料及所述第一电极层的材料混合而成，所述第二过渡层设置于所述第二介电层与所述第二电极层之间，所述第二过渡层由所述第二介电层的材料及所述第二电极层的材料混合而成。
5.根据权利要求4所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述第一介电层为弹性形变高于100％、弹性模量低于2MPa的高弹性形变、低弹性模量材料，所述第二介电层为弹性形变低于100％、弹性模量高于2MPa的低弹性、高模量材料。
6.根据权利要求5所述的柔性压力传感器，其特征在于：所述第一介电层相比于所述第二介电层更靠近所述柔性压力...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯雪，王志建，刘兰兰，陈颖，
申请(专利权)人：浙江清华柔性电子技术研究院，清华大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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