一种压阻式触觉传感制造技术

本发明专利技术公开了一种压阻式触觉传感器，包括底衬，底衬中部设有空腔，底衬上端端面上固定有感应膜，感应膜为含有惠斯通电桥的硅基薄膜，感应膜中部通过光刻和溅射工艺生成触点的金属层，在金属层上通过电镀工艺长出设定高度的触点，触点的垂直投影落在底衬空腔的范围内。当触点未接触到物体时，感应膜未产生形变，惠斯通电桥处于平衡状态称为零位，当触点接触物体时，感应膜受压同时电阻发生变化，惠斯通电桥将失去平衡。若给惠斯通电桥加一个恒定电流或电压电源，惠斯通电桥将输出与压力对应的电压信号，这样感应膜的电阻变化通过惠斯通电桥转换成压力信号输出，即压力信号输出跟随触点受到的压力变化而变化。

A piezoresistive tactile sensor

【技术实现步骤摘要】
一种压阻式触觉传感
本专利技术属于传感器
，具体涉及一种触觉传感器。
技术介绍
近年跟随智能物联网及智能穿戴行业的兴起，大力的推动了智能机器人的技术发展，触觉传感器是机器手获取触觉信息核心组成部件，根据触觉传感器测量反馈的信息，机器人可对目标物体进行可靠抓取实时动态调整，并通过多组态的传感器元件配合，可进一步感知它的形状、重点、软硬等物理特性。通过多个相同器件的组合扩展应用，能粘贴在表面为非平面的物体上并准确检测三个方向接触力的柔性三维力触觉传感器阵列设计，是机器手获取全方位握力、力矩等信息的重要工具。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种压阻式触觉传感器。为了解决以上技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：一种压阻式触觉传感，包括底衬，底衬中部设有空腔，底衬上端端面上固定有感应膜，感应膜为含有惠斯通电桥的硅基薄膜，感应膜中部通过光刻和溅射工艺生成触点的金属层，在金属层上通过电镀工艺长出设定高度的触点，触点的垂直投影落在底衬空腔的范围内。进一步的，在感应膜与底衬连接部位的上方通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压阻式触觉传感，其特征在于：包括底衬，底衬中部设有空腔，底衬上端端面上固定有感应膜，感应膜为含有惠斯通电桥的硅基薄膜，感应膜中部通过光刻和溅射工艺生成触点的金属层，在金属层上通过电镀工艺长出设定高度的触点，触点的垂直投影落在底衬空腔的范围内。/n

【技术特征摘要】
1.一种压阻式触觉传感，其特征在于：包括底衬，底衬中部设有空腔，底衬上端端面上固定有感应膜，感应膜为含有惠斯通电桥的硅基薄膜，感应膜中部通过光刻和溅射工艺生成触点的金属层，在金属层上通过电镀工艺长出设定高度的触点，触点的垂直投影落在底衬空腔的范围内。


2.根据权利要求1所述的压阻式触觉传感，其特征在于：在感应膜与底衬连接部位的上方通过光刻和溅射工艺生成过载保护支点的金属层，在金属层上通过电镀工艺长出设定高度的过载保护支点，过载保护支点的设定高度低于触点的设定高度。


3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王跃林，李正，王东平，
申请(专利权)人：苏州感芯微系统技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32