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本发明公开了一种压阻式触觉传感器，包括底衬，底衬中部设有空腔，底衬上端端面上固定有感应膜，感应膜为含有惠斯通电桥的硅基薄膜，感应膜中部通过光刻和溅射工艺生成触点的金属层，在金属层上通过电镀工艺长出设定高度的触点，触点的垂直投影落在底衬空腔的...
该专利属于苏州感芯微系统技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州感芯微系统技术有限公司授权不得商用。

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