【技术实现步骤摘要】
一种硅片生产用脱胶机内转运装置
本技术涉及转运装置
，具体为一种硅片生产用脱胶机内转运装置。
技术介绍
硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。随着硅片在航空航天、国防和工业自动化等领域的广泛应用，硅片的生产工艺不断改进，为了保证硅片的正常使用，硅片需要在脱胶机内进行多道工序的脱胶操作，因此脱胶机内的转运装置必不可少，但是现有的转运装置存在运动平稳性低，操作不方便，硅片在装置内抖动性较大的缺点。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片生产用脱胶机内转运装置，以解决上述
技术介绍
中提出运动平稳性低，操作不方便，硅片在装置内抖动性较大的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片生产用脱胶机内转运装置，包括固定板，所述固定板和另一固定板内侧固定连接有上下对称设置的滑轨，所述滑轨和另一滑轨间滑动连接有等距分布的滑轮，所述滑轮和另一滑轮间活动连接有连接板，所述连接板内侧固定连接有对称...
【技术保护点】
1.一种硅片生产用脱胶机内转运装置，包括固定板，其特征在于：所述固定板和另一固定板内侧固定连接有上下对称设置的滑轨，所述滑轨和另一滑轨间滑动连接有等距分布的滑轮，所述滑轮和另一滑轮间活动连接有连接板，所述连接板内侧固定连接有对称设置的连接块，所述连接块和另一连接块内侧固定连接有底板，所述固定板内活动连接有第一电机，所述底板上端固定连接有左右对称的支架，所述支架和另一支架间转动连接有转动轴，所述转动轴外侧固定连接有对称设置的第一链轮。/n
【技术特征摘要】
1.一种硅片生产用脱胶机内转运装置，包括固定板，其特征在于：所述固定板和另一固定板内侧固定连接有上下对称设置的滑轨，所述滑轨和另一滑轨间滑动连接有等距分布的滑轮，所述滑轮和另一滑轮间活动连接有连接板，所述连接板内侧固定连接有对称设置的连接块，所述连接块和另一连接块内侧固定连接有底板，所述固定板内活动连接有第一电机，所述底板上端固定连接有左右对称的支架，所述支架和另一支架间转动连接有转动轴，所述转动轴外侧固定连接有对称设置的第一链轮。
2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用脱胶机内转运装置，其特征在于：所述底板下端固定连接有第二电机，所述第二电机和转动轴右端外侧均固定连接有第二链轮，所述第二链轮和另一第二链轮间啮合连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘君，余江湖，郑松，
申请(专利权)人：安徽晶天新能源科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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