应用于真空室的片架传送机构制造技术

本实用新型专利技术为真空镀膜领域，公开了一种应用于真空室的片架传送机构，包括滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B，所述传动杆A和传动杆B纵向平行放置，并分别穿过滑块A和滑块B，形成井字形；所述滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B位于工作腔体内，所述传动杆A与电机A连接，所述传动杆B与电机B连接。所述滑块A和滑块B上设置有传动杆螺孔和传动杆过度通孔。本实用新型专利技术通过控制传动杆A和B的转动，可以自由控制片架的传送速度和传送方向，由于其结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。

The transfer mechanism of chip rack used in vacuum chamber

【技术实现步骤摘要】
应用于真空室的片架传送机构
本技术为真空镀膜领域，具体涉及真空镀膜设备的片架传送机构。
技术介绍
传统的真空镀膜设备的真空室片架传送机构基本上都是导轮带动片架进行传动，其结构复杂，传动可靠性差。如发生静摩擦力不够的情况，则会导致片架行进滞后和跳动，从而影响溅射过程。各个导轮间存在间距，限制了片架的长度；如果导轮间距过小，则需要的导轮个数较多，不利于传动系统稳定、持久地匀速运行。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提出了一种应用于真空室片架传送机构，结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术通过以下技术方案实现：一种应用于真空室的片架传送机构，包括滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)，所述传动杆A(3)和传动杆B(4)纵向平行放置，并分别穿过滑块A(1)和滑块B(2)，形成井字形；所述滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)位于工作腔体(5)内，所述传动杆A(3)与电机A(6)连接，所述传动杆B(4)与电机B(7)连接。所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有传动杆螺孔(8)和传动杆过度通孔(9)。进一步的，所述滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)供传动杆B(4)通过；所述滑块A(1)上的传动杆过度通孔(9)供传动杆A(3)通过；所述传动杆螺孔(8)内部设置有螺纹内丝，对应的传动杆A(3)在外表面设置有与传动杆螺孔(8)内表面螺纹内丝匹配的螺纹外丝。进一步的，所述滑块B(2)上的传动杆螺孔(8)供传动杆A(3)通过；所述滑块B(2)上的传动杆过度通孔(9)供传动杆B(4)通过；所述传动杆螺孔(8)内部设置有螺纹内丝，对应的传动杆B(4)在外表面设置有与传动杆螺孔(8)内表面螺纹内丝匹配的螺纹外丝。进一步的，所述滑块A(1)上的传动杆过度通孔(9)大于滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)；所述滑块B(2)上的传动杆过度通孔(9)大于滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)。进一步的，所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有凹槽(10)，所述凹槽(10)可容纳工作承载片架(11)通过。进一步的，所述滑块A(1)和滑块B(2)的凹槽(10)两侧设置有碰珠导向槽(12)。进一步的，所述滑块A(1)和滑块B(2)的凹槽(10)两侧每侧设置有3个碰珠导向槽(12)。进一步的，所述碰珠导向槽(12)内安装有碰珠(13)和弹簧(14)。本技术的有益效果：本技术提出了一种应用于真空室片架传送机构，通过控制传动杆A和B的转动，可以自由控制片架的传送速度和传送方向，其结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。有益效果：本技术提出了一种应用于真空室片架传送机构，通过控制传动杆A和B的转动，可以自由控制片架的传送速度和传送方向，其结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。附图说明图1是滑块剖示图；图2是滑块与传动杆装配俯视图；图3是本技术的一种实施例的滑块俯视图；图4是本技术的滑块主视图；图5是本技术的滑块左视图。1、滑块A；2、滑块B；3、传动杆A；4、传动杆B；5、工作腔体；6、电机A；7、电机B；8、传动杆螺孔；9、传动杆过度通孔；10、凹槽；11、工作承载片架；12、碰珠导向槽；13、碰珠；14、弹簧。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。下面结合附图对本技术的应用原理作详细的描述。如图1-5所示，本技术提供一种应用于真空室片架传送机构，包括滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)，所述传动杆A(3)和传动杆B(4)纵向平行放置，并分别穿过滑块A(1)和滑块B(2)，形成井字形。所述滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)位于工作腔体(5)内，所述传动杆A(3)与电机A(6)连接，所述传动杆B(4)与电机B(7)连接。所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有传动杆螺孔(8)和传动杆过度通孔(9)，所述滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)供传动杆A(3)通过；所述滑块A(1)上的传动杆过度通孔(9)供传动杆B(4)通过；所述传动杆螺孔(8)内部设置有螺纹内丝，对应的传动杆A(3)在外表面设置有与传动杆螺孔(8)内表面螺纹内丝匹配的螺纹外丝；所述滑块B(2)上的传动杆螺孔(8)供传动杆B(4)通过；所述滑块B(2)上的传动杆过度通孔(9)供传动杆A(3)通过；所述传动杆螺孔(8)内部设置有螺纹内丝，对应的传动杆B(4)在外表面设置有与传动杆螺孔(8)内表面螺纹内丝匹配的螺纹外丝；所述滑块A(1)上的传动杆过度通孔(9)大于滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)；所述滑块B(2)上的传动杆过度通孔(9)大于滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)；所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有凹槽(10)，所述凹槽(10)可容纳工作承载片架(11)通过；所述滑块A(1)和滑块B(2)的凹槽(10)两侧每侧设置有3个碰珠导向槽(12)，所述碰珠导向槽(12)内安装有碰珠(13)和弹簧(14)，当工作承载片架(11)嵌入到凹槽(10)内时，碰珠受到压力弹簧(14)收缩，碰珠(13)缩进碰珠导向槽(12)内部。进片动作：片架从准备腔体进入工作腔体，当片架前端到达滑块B所在位置时，传感器接收到信号，B电机启动并带动传动杆B，此时片架与滑块B一起行动。滑块A由于与传动杆B是通孔配合，所以滑块A不动。当片架末端到达滑块A的位置时，电机A启动并带动滑块A一起随着片架行动，电机A的转动频率与电机B的转动频率一致。此时，传动杆B也一并同向转动，A、B两滑块承载片架在工作室中运行。反向，A、B电机反转即可。出片动作：滑块A到达工作腔体左端时，电机A停止并使滑块A停止，滑块B继续运行。等滑块B到达传感器所设位置时(即滑块B的启动位置)，电机B停止转动，滑块B停止，完成出片动作。A、B电机在同时工作时，其转动频率一致，即凡A、B传动杆同时转动，转动频率一致；即滑块A、B的同时运行时，其运行速度一致。以上显示和描述了本专利技术的基本原理和主要特征和本专利技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本专利技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本专利技术的原理，在不脱离本专利技术精神和范围的前提下，本专利技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本专利技术范围内。本专利技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于真空室的片架传送机构，包括滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)，其特征在于，所述传动杆A(3)和传动杆B(4)纵向平行放置，并分别穿过滑块A(1)和滑块B(2)，形成井字形；所述滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)位于工作腔体(5)内，所述传动杆A(3)与电机A(6)连接，所述传动杆B(4)与电机B(7)连接；所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有传动杆螺孔(8)和传动杆过度通孔(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种应用于真空室的片架传送机构，包括滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)，其特征在于，所述传动杆A(3)和传动杆B(4)纵向平行放置，并分别穿过滑块A(1)和滑块B(2)，形成井字形；所述滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)位于工作腔体(5)内，所述传动杆A(3)与电机A(6)连接，所述传动杆B(4)与电机B(7)连接；所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有传动杆螺孔(8)和传动杆过度通孔(9)。


2.根据权利要求1所述的一种应用于真空室的片架传送机构，其特征在于，所述滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)供传动杆A(3)通过；所述滑块A(1)上的传动杆过度通孔(9)供传动杆B(4)通过；所述传动杆螺孔(8)内部设置有螺纹内丝，对应的传动杆A(3)在外表面设置有与传动杆螺孔(8)内表面螺纹内丝匹配的螺纹外丝。


3.根据权利要求1所述的一种应用于真空室的片架传送机构，其特征在于，所述滑块B(2)上的传动杆螺孔(8)供传动杆B(4)通过；所述滑块B(2)上的传动杆过度通孔(9)供传动杆A(3)通过；所述传动杆螺孔(8)内部设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷义伟，冯斌，李东滨，金浩，王德苗，
申请(专利权)人：浙江大学昆山创新中心，
类型：新型
国别省市：江苏;32