【技术实现步骤摘要】
一种单片晶圆盒
本技术涉及晶圆盒领域,特别是涉及一种单片晶圆盒。
技术介绍
晶圆片作为半导体领域相关产品制作的原材料,在实际生产过程中,晶圆片盒起到承载保护的作用。但在晶圆片盒的运输过程中,往往会应震动使放置在晶圆片盒内的晶圆片发生一定程度的损坏。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种单片晶圆盒,方便保存和运输。为解决上述技术问题,本技术采用的一个技术方案是:提供一种单片晶圆盒,包括:盒体和盒盖,所述盒体和盒盖之间活动连接,所述盒体和盒盖均呈拱形结构,所述盒体内设置有晶圆放置区,所述晶圆放置区周边设置有限位弧边,所述限位弧边上均匀分布有多个开口,所述盒体内部4个角处设置有取件区,所述盒盖内表面设置有多个与所述开口对应的减震定位片,所述盒盖外表面设置有多个限位槽,所述盒体外表面设置有多个与所述限位槽对应的限位条。在本技术一个较佳实施例中,所述盒盖内表面环形设置有多个安装块。在本技术一个较佳实施例中,所述减震定位片包括:安装套和定位片,所述定位片倾斜设置,所述定位片与安装套的一端固定连接。在本技术一个较佳实施例中,所述安装块外围套设有安装套。在本技术一个较佳实施例中,所述盒体的一端设置有第一搭扣,所述盒盖的一端设置有与第一搭扣对应的第二搭扣。在本技术一个较佳实施例中,所述第一搭扣两侧设置有翻边。本技术的有益效果是:本技术指出的一种单片晶圆盒,通过设置减震定位片,在盒体和盒盖合上时,减震定位片与晶圆片接触,对其进行减震定位,方便保存和运输。 ...
【技术保护点】
1.一种单片晶圆盒,包括:盒体和盒盖,所述盒体和盒盖之间活动连接,其特征在于,所述盒体和盒盖均呈拱形结构,所述盒体内设置有晶圆放置区,所述晶圆放置区周边设置有限位弧边,所述限位弧边上均匀分布有多个开口,所述盒体内部4个角处设置有取件区,所述盒盖内表面设置有多个与所述开口对应的减震定位片,所述盒盖外表面设置有多个限位槽,所述盒体外表面设置有多个与所述限位槽对应的限位条。/n
【技术特征摘要】
1.一种单片晶圆盒,包括:盒体和盒盖,所述盒体和盒盖之间活动连接,其特征在于,所述盒体和盒盖均呈拱形结构,所述盒体内设置有晶圆放置区,所述晶圆放置区周边设置有限位弧边,所述限位弧边上均匀分布有多个开口,所述盒体内部4个角处设置有取件区,所述盒盖内表面设置有多个与所述开口对应的减震定位片,所述盒盖外表面设置有多个限位槽,所述盒体外表面设置有多个与所述限位槽对应的限位条。
2.根据权利要求1所述的单片晶圆盒,其特征在于,所述盒盖内表面环形设置有多个安装块。
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【专利技术属性】
技术研发人员:何施亮,
申请(专利权)人:常熟市荣达电子有限责任公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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