【技术实现步骤摘要】
环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器
本专利技术涉及传感器电极
，尤其涉及一种环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器。
技术介绍
电容式压力传感器常用结构是利用金属导电膜片作为电容其中一个电极，与陶瓷基底上的导电镀层形成电容。当金属膜片两侧压力发生变化，产生压力差，导致金属膜片发生形变，从而改变金属膜片与陶瓷基底上导电层的距离，改变电容值。通过对电容值的测量来实现被测空间内压力的测量。常用结构中，金属膜片与陶瓷电极的间距由一个或多个垫片厚度来决定。间距的控制取决于一个或多个垫片的加工精度。并且，随着时间的推移或温度的变化，几何结构可能会发生微小的变化。金属外壳的热膨胀系数通常大于陶瓷电极的热膨胀系数。因此，加热或冷却电容式传感器组件可以在组件内产生内应力，从而影响几何形状尤其是金属膜片与陶瓷定电极之间的距离。机械应力在加热或冷却过程中会在一定范围内累积，当应力足够大时，电极和壳体会相对运动以释放应力。这种运动被称为“粘滑”或“机械滞后”。这些粘滑运动影响几何结构，并可能对电容传感器总成的精度产生不利影...
【技术保护点】
1.一种环形支撑结构，其特征在于，包括：/n壳体；/n环形凸部，沿所述壳体内周壁凸设置；/n支撑部，沿所述环形凸部外边缘向上延伸，所述支撑部上设置多个导气槽口。/n
【技术特征摘要】
1.一种环形支撑结构，其特征在于，包括：
壳体；
环形凸部，沿所述壳体内周壁凸设置；
支撑部，沿所述环形凸部外边缘向上延伸，所述支撑部上设置多个导气槽口。
2.如权利要求1所述的环形支撑结构，其特征在于，所述支撑部的壁厚为1mm～2mm。
3.如权利要求1所述的环形支撑结构，其特征在于，所述导气槽口沿支撑部的圆周等间隔设置多个；
所述导气槽口的开口由支撑部的端部向所述环形凸部延伸。
4.如权利要求1所述的环形支撑结构，其特征在于，所述壳体、环形凸部和支撑部一体成型；其中，所述壳体、环形凸部和支撑部的材质为合金。
5.一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于，包括：
如权利要求1至4任一项所述的环形支撑结构；
陶瓷基体，设置于所述环形支撑结构的支撑部上，用于形成固定电极基体。
6.如权利要求5所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于，所述陶瓷基体设置为纵截面为T形的柱型结构；所述陶瓷基体径向上凸出的环形连接部设置于所述环形支撑结构的支撑部...
【专利技术属性】
技术研发人员：林琳，李超波，郑旭，张心强，郜晨希，王迪，刘瑞琪，靳毅，陈林，远雁，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，川北真空科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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