一种检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器制造技术

一种检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器，属于薄膜传感器技术领域。所述薄膜温度传感器包括设置于涡轮叶片和热障涂层之间的薄膜热电偶敏感层，所述薄膜热电偶敏感层由N个薄膜热电偶正负极依次串联得到，所述热障涂层覆盖薄膜热电偶的冷端，其中，N≥1的正整数。本发明专利技术检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器，在涡轮叶片与热障涂层之间设置薄膜热电偶，薄膜热电偶的热端位于无热障涂层保护的区域，冷端位于有热障涂层保护的区域，根据热电偶的工作原理，能够直接获得热障涂层的隔热效果，排除了多次或多样品测量隔热效果时所带来的误差。同时提高了器件的信号强度以及分辨率，在不破坏热障涂层的前提下实现了薄膜热电偶信号的引出。

A thin film temperature sensor for testing the thermal insulation effect of thermal barrier coating

【技术实现步骤摘要】
一种检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器
本专利技术属于薄膜传感器
，具体涉及航空涡轮发动机涡轮叶片表面热障涂层隔热效果的检测，提供了一种更简便、更精确的薄膜温度传感器。
技术介绍
随着航空发动机性能的迅速提升，其热端部件温度也不断提高，所处的服役环境越来越恶劣，尤其在涡轮叶片表面及其工作的燃烧室内会长期处于高温、高压的状态下。如今的航空发动机中涡轮叶片的服役温度已经达到1200℃以上，但目前最先进的单晶合金的抗高温能力仅为1150℃，为了实现更高的服役温度，于是先进的航空发动机高压涡轮叶片均采取热障涂层(TBCs-Thermalbarriercoatings)技术降低合金叶片表面温度。热障涂层技术是将能够耐高温、耐腐蚀且有明显隔热效果的陶瓷材料涂覆在合金基片的表面，强化基片表面抗氧化腐蚀能力，降低涡轮叶片表面温度的一种热防护技术。热障涂层的隔热效果决定着涡轮叶片工作温度的高低，也会间接影响到热循环过程中涂层及叶片内部的热应力。因此，准确评定热障涂层的隔热效果不仅对涡轮叶片的材料体系和结构设计有着十分重要的意义，而且对热障涂层的工程应用、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器，包括设置于涡轮叶片和热障涂层之间的薄膜热电偶敏感层，所述薄膜热电偶敏感层由N个薄膜热电偶正负极依次串联得到，所述热障涂层覆盖薄膜热电偶的冷端，其中，N≥1。/n

【技术特征摘要】
1.一种检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器，包括设置于涡轮叶片和热障涂层之间的薄膜热电偶敏感层，所述薄膜热电偶敏感层由N个薄膜热电偶正负极依次串联得到，所述热障涂层覆盖薄膜热电偶的冷端，其中，N≥1。


2.一种检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器，包括依次形成于涡轮叶片之上的粘结层、绝缘层、薄膜热电偶敏感层和防护层，所述防护层之上设置热障涂层；所述薄膜热电偶敏感层由N个薄膜热电偶正负极依次串联得到，所述热障涂层覆盖薄膜热电偶的冷端，其中，N≥1。


3.根据权利要求1或2所述的检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器，其特征在于，所述薄膜热电偶的电极材料为铱铑和铱、PtRh/Pt、NiCr/NiSi、LaSrCrO3/ITO、或者ITO/In2O3。


4.根据权利要求1或2所述的检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓辉，谢锦华，刘洋，邵磊，蒋洪川，张万里，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川;51