【技术实现步骤摘要】
用于线锯切割硬脆材料的测温装置及使用方法
本专利技术涉及一种线锯切割测温装置，尤其是一种用于线锯切割硬脆材料的测温装置。
技术介绍
在硬脆材料如单晶硅、蓝宝石、玻璃、陶瓷等的加工过程中，金刚石线锯切割是第一道工序。线锯按照磨粒形式分为固结磨料线锯和游离磨料线锯。在工业上多采用固结磨料线锯切割技术。线锯加工按照工件的线锯和工件的相对运动方式可以分为平推切割和旋转点切割。在固结磨料线锯切割硬脆材料时会产生热量，如果温度过高会，会产生较大的热应力，热应力会导致工件翘曲度增大以及亚表面损伤加重等诸多结果，这对于之后晶片的后续加工极为不利，所以测量线锯切割时切片的温度变化是很有必要。在线锯切割过程中，热量主要来源于锯丝与工件接触的这段区域，在这段区域内，锯丝与工件相对运动，摩擦产生了大量的热量，同时在去除材料时，工件内部化学键断裂也产生了大量的能量，这些能量扩散到工件整体就是宏观上的温度的升高，因此更需要测量的是锯丝切割处的温度。目前测温的方法主要有热成像仪测温法和热电偶丝测温法，热成像仪测温法采用热成像仪测量工件表面...
【技术保护点】
1.一种用于线锯切割硬脆材料的测温装置，具有一个工件切半加工机构、一个工件切片加工及测温机构，其特征在于：所述工件切半加工机构中的附加轴后端卡在与电机相连接的三爪卡盘中，附加轴前端固定连接载料盘，并使载料盘与附加轴的轴线相互垂直，所述载料盘上端固定连接垫块，所述垫块上面用AB胶水粘结工件；所述工件切片加工及测温机构中将由工件切半加工机构切割下来的两个半圆柱工件之间埋上热电偶丝，并用AB胶水将埋有热电偶丝的工件粘结在两个垫块上，两个所述垫块通过载料盘固定连接在附加轴前端，且载料盘与附加轴同轴连接，附加轴后端卡在与电机相连接的三爪卡盘中，位于载料盘与三爪卡盘之间的附加轴上套接有...
【技术特征摘要】
1.一种用于线锯切割硬脆材料的测温装置，具有一个工件切半加工机构、一个工件切片加工及测温机构，其特征在于：所述工件切半加工机构中的附加轴后端卡在与电机相连接的三爪卡盘中，附加轴前端固定连接载料盘，并使载料盘与附加轴的轴线相互垂直，所述载料盘上端固定连接垫块，所述垫块上面用AB胶水粘结工件；所述工件切片加工及测温机构中将由工件切半加工机构切割下来的两个半圆柱工件之间埋上热电偶丝，并用AB胶水将埋有热电偶丝的工件粘结在两个垫块上，两个所述垫块通过载料盘固定连接在附加轴前端，且载料盘与附加轴同轴连接，附加轴后端卡在与电机相连接的三爪卡盘中，位于载料盘与三爪卡盘之间的附加轴上套接有热电偶滑环转子，并使热电偶滑环转子可随附加轴一起转动，热电偶滑环转子外面配合连接有热电偶滑环定子，热电偶滑环定子通过止动片和止动杆与底座固定连接；所述热电偶丝通过两个垫块之间的缝隙引与热电偶滑环转子的导线连接，热电偶滑环转子的导线通过热电偶滑环定子的导线与热电偶采集仪以及电脑连接，用于测出锯切过程中温度的变化。
2.根据权利要求1所述的用于线锯切割硬脆材料的测温装置，其特征在于：用于工件切半加工机构时，所述附加轴前端在轴心的位置设有一个螺纹孔，所述载料盘通过螺栓与附加轴的螺纹孔连接，所述附加轴的侧面铣有平面，平面上打有一个螺纹孔，所述载料盘上端面通过螺栓与附加轴侧平面上的螺纹孔连接，可防止载料盘绕着附加轴轴心转动。
3.根据权利要求1所述的用于线锯切割硬脆材料的测温装置，其特征在于：用于工件切片加工及测温机构时，所述附加轴前端套在载料盘的内孔中，并用螺栓拧紧固定；所述热电偶滑环转子与附加轴之间通过螺栓拧紧固定，可保证热电偶滑环转子和附加轴之间一起转动，所述止动片通过螺栓与热电偶滑环定子固定连接，所述止动杆卡在止动片中，所述止动杆和底座之间通过螺栓连接，可保证热电...
【专利技术属性】
技术研发人员：王艳，赵博成，宋李兴，刘建国，李曙生，汪锐，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：上海;31
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