背面套刻误差测量方法技术

本发明专利技术涉及误差测量技术领域，公开了一种背面套刻误差测量方法。其中，该方法包括：通过光刻图形化得到正面对准标记和背面对准标记；对正面对准标记和背面对准标记进行图像采集，得到正面对准标记图像和背面对准标记图像；对正面对准标记图像和背面对准标记图像进行图像处理，得到正面对准标记突出显示的第一图像和背面对准标记突出显示的第二图像；对第一图像和第二图像进行合并处理，得到正面对准标记和背面对准标记合并的新图像；基于新图像中的正面水平测量游标和背面水平测量游标确定背面套刻的水平误差，基于新图像中的正面竖直测量游标和背面竖直测量游标确定背面套刻的竖直误差。由此无需使用额外标尺就可准确测量出背面套刻的实际误差。

Measurement method of the error of the back cover engraving

【技术实现步骤摘要】
背面套刻误差测量方法
本专利技术涉及误差测量
，尤其涉及一种背面套刻误差测量方法。
技术介绍
由石英晶体或其他压电材料制作的惯性产品广泛应用于平面光波导器件、高精度陀螺仪等。如以石英音叉作为谐振子的MEMS陀螺具有精度高、体积小、启动快、可靠性高等优点，并且具有抗辐射能力，广泛应用于航空航天惯导系统、兵器惯导系统、空间惯导系统等领域。石英音叉谐振子作为石英音叉陀螺的核心和敏感部件，其结构加工的对称性直接影响石英音叉陀螺的性能，背面套刻误差是影响结构对称的主要来源。目前，背面套刻的误差测量主要采用高精度同轴红外图像测量设备，将正面图形和背面图形同时用双向同轴的图像采集装置抓取，再经过图像处理后进行测量，其不足之处主要有以下两点：一是测量设备价格昂贵，且在使用过程中需定期进行同轴度校正，步骤繁琐使用复杂；二是正面和背面图像仅经简单叠加处理，边界分辨不清，且无法直接读取误差数值，只能通过标尺进行测量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术不足，提供了一种背面套刻误差测量方法，能够解决现有技术中的问题。...

【技术保护点】
1.一种背面套刻误差测量方法，其特征在于，该方法包括：/n通过光刻图形化得到正面对准标记和背面对准标记，所述正面对准标记包括正面标识、正面水平测量游标和正面竖直测量游标，所述背面对准标记包括背面标识、背面水平测量游标和背面竖直测量游标；/n对所述正面对准标记和所述背面对准标记进行图像采集，得到正面对准标记图像和背面对准标记图像；/n对正面对准标记图像和背面对准标记图像进行图像处理，得到正面对准标记突出显示的第一图像和背面对准标记突出显示的第二图像；/n对第一图像和第二图像进行合并处理，得到正面对准标记和背面对准标记合并的新图像；/n基于新图像中的正面水平测量游标和背面水平测量游标确定背面套刻的...

【技术特征摘要】
1.一种背面套刻误差测量方法，其特征在于，该方法包括：
通过光刻图形化得到正面对准标记和背面对准标记，所述正面对准标记包括正面标识、正面水平测量游标和正面竖直测量游标，所述背面对准标记包括背面标识、背面水平测量游标和背面竖直测量游标；
对所述正面对准标记和所述背面对准标记进行图像采集，得到正面对准标记图像和背面对准标记图像；
对正面对准标记图像和背面对准标记图像进行图像处理，得到正面对准标记突出显示的第一图像和背面对准标记突出显示的第二图像；
对第一图像和第二图像进行合并处理，得到正面对准标记和背面对准标记合并的新图像；
基于新图像中的正面水平测量游标和背面水平测量游标确定背面套刻的水平误差，基于新图像中的正面竖直测量游标和背面竖直测量游标确定背面套刻的竖直误差。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，正面标识为实心十字标记，背面标识为空心十字标记。


3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，正面标识和背面标识的尺寸大小为200微米×200微米。


4.根据权利要求1所述的方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：车一卓，王永胜，苏翼，唐琼，盛洁，刘韧，
申请(专利权)人：北京自动化控制设备研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11