【技术实现步骤摘要】
高纯氧化亚氮的精馏方法
本阀门属于化工
,涉及一种高纯氧化亚氮的精馏方法。
技术介绍
氧化亚氮经制备后得到普气的氧化亚氮,当氧化亚氮作为半导体工业电子气体使用时,对其纯度要求更高。现有的普气氧化亚氮通常需要经过过滤后才能作为电子气体使用。现有的氧化亚氮通常直接通过精馏塔对其进行纯化过滤。氧化亚氮在精馏塔内逐渐汽化,直到氧化亚氮达到液化温度,转变为液态。但是,现有的精馏塔中液态氧化亚氮输出过程中还是含有少量气体,这样会影响氧化亚氮的纯度。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术存在的上述问题,提供一种稳定性高的高纯氧化亚氮的精馏方法。本专利技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种高纯氧化亚氮的精馏方法,该方法包括以下步骤:A、储料:将含有杂质的液态氧化亚氮存放在储罐内;B、精馏准备:精馏塔上具有与其内腔相连通的进口、排气口和出口,进口处连接有能开闭的阀门一,排气口处连接有能开闭的阀门二,初始状态时阀门一开启且阀门二关闭,上述出口与高纯储罐相连通;< ...
【技术保护点】
1.一种高纯氧化亚氮的精馏方法,该方法包括以下步骤:/nA、储料:将含有杂质的氧化亚氮存放在储罐内;/nB、精馏准备:精馏塔上具有与其内腔相连通的进口、排气口和出口,进口处连接有能开闭的阀门一,排气口处连接有能开闭的阀门二,初始状态时阀门一开启且阀门二关闭,上述出口与高纯储罐相连通;/nC、精馏:将上述氧化亚氮由进口输入精馏塔中,通过精馏塔去除氧化亚氮中含有的少量氮气、氧气和氢气,精馏塔作业过程中定期开启阀门二;/nD、储罐:经精馏后的高纯氧化亚氮输入高纯储罐内保存。/n
【技术特征摘要】
1.一种高纯氧化亚氮的精馏方法,该方法包括以下步骤:
A、储料:将含有杂质的氧化亚氮存放在储罐内;
B、精馏准备:精馏塔上具有与其内腔相连通的进口、排气口和出口,进口处连接有能开闭的阀门一,排气口处连接有能开闭的阀门二,初始状态时阀门一开启且阀门二关闭,上述出口与高纯储罐相连通;
C、精馏:将上述氧化亚氮由进口输入精馏塔中,通过精馏塔去除氧化亚氮中含有的少量氮气、氧气和氢气,精馏塔作业过程中定期开启阀门二;
D、储罐:经精馏后的高纯氧化亚氮输入高纯储罐内保存。
2.根据权利要求1所述的高纯氧化亚氮的精馏方法,其特征在于,所述步骤B中精馏塔首次启动时,开启阀门二且关闭阀门一,待精馏塔内部压力稳定后关...
【专利技术属性】
技术研发人员:甘华平,秦远望,丁维刚,马问,
申请(专利权)人:宿州伊维特新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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