一种等离子设备的电极装置及等离子设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种等离子设备的电极装置及等离子设备，所述等离子设备的电极装置包括从下到上依次设置的下基板、冷却管道和上基板，所述冷却管道的降温能力由中间向四周递增，使电极装置的中间区域的温度高于四周区域的温度，增大中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

Electrode device and plasma device of plasma equipment

【技术实现步骤摘要】
一种等离子设备的电极装置及等离子设备
本技术涉及等离子设备领域，尤其涉及一种等离子设备的电极装置及等离子设备。
技术介绍
等离子设备广泛应用于等离子清洗、蚀刻、镀膜等场合，等离子设备在放电的过程，由于电流都是从电极的表面通过，所以普遍存在电极板正中间放电强度要弱于四周边界区域的情况，在等离子蚀刻电路板的过程中，存在电极中间蚀刻量低于四周的情况。现有的等离子设备的电极采用深钻孔的方式，冷却管道采用了蛇形的结构，冷却水是匀速的流经电极内部，整片电极温度也相对均匀。因此放电过程中，中间区域放电弱于四周，设备蚀刻不均匀。按理论的计算，如果要改变电极中间区域放电弱的现象，可以采取提高电极中间区域的温度的方式，提高中间区域放电的强度，从而提高中间区域的蚀刻量。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足，本技术提供了一种等离子设备的电极装置及等离子设备，解决了等离子设备的电极装置中间区域蚀刻量低的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案为：一种等离子设备的电极装置，包括从下到上依次设置的下基板、冷却管道和上基板，交替间隔设置，中间布置紧密，四周布置稀疏。作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道包括相互连通的进水管和出水管，所述进水管和出水管交替间隔设置，所述进水管为从外围向中心延伸的矩形螺旋管道，所述出水管为从中心向四周延伸的矩形螺旋管道。作为上述方案的进一步改进，所述进水管和出水管的交替间隔的距离由中心向外围逐渐减小。作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道的形状与费马螺线的形状一致。作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道包括相互对称设置且形状一致的第一蛇形管道和第二蛇形管道，所述第一蛇形管道和第二蛇形管道的分布密度由中间向两端逐渐增加。作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道为SUS304不锈钢冷却管道或SUS316不锈钢冷却管道。作为上述方案的进一步改进，所述上基板和下基板的相同位置设有若干通孔。作为上述方案的进一步改进，所述上基板和/或下基板为铝合金板。本技术还提供了一种等离子设备，包括如上所述的电极装置。本技术的有益效果有：本技术提供的一种等离子设备的电极装置，包括呈三明治结构的下基板、冷却管道和上基板，所述冷却管道的降温能力由中间向四周递增，使电极装置的中间区域的温度高于四周区域的温度，增大中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。本技术还提供了一种等离子设备，包括如上所述的电极装置，能有效改善电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。附图说明下面结合附图及具体实施例对本技术作进一步说明，其中：图1是本技术较优实施例中的电极装置的爆炸示意图；图2是本技术较优实施例中的电极装置的结构示意图；图3是本技术较优实施例中的冷却管道的结构示意图；图4是本技术实施例2中的冷却管道的结构示意图；图5是本技术实施例3中的冷却管道的结构示意图。具体实施方式下面对本技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。实施例1参见图1和图2，一种等离子设备的电极装置，包括从下到上依次设置的下基板3、冷却管道2和上基板1，所述下基板3、冷却管道2和上基板1呈三明治结构，冷却管道2设在电极装置内部使冷却效果更充分。其中所述上基板1和/或下基板3为铝合金板，不但具有良好的导电能力，还具有很强的耐腐蚀性，所述冷却管道2为SUS304不锈钢冷却管道2或SUS316不锈钢冷却管道2，具有高的耐蚀性，在低温、室温及高温下均有较高的塑性和韧性。进一步，所述冷却管道2的降温能力由中间向四周递增，使电极装置中间温度高于四周温度，增大中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。参见图3，所述冷却管道2为将费马螺线变形拉直后得到的管道，包括相互连通的进水管21和出水管22，所述进水管21和出水管22交替间隔设置，所述进水管21为从外围向中心延伸的矩形螺旋管道，所述出水管22为从中心向四周延伸的矩形螺旋管道。冷却介质如冷凝水从进水管21流入，经出水管22流出，由于进水管21和出水管22均为矩形螺旋管道，因此越接近中间区域，冷却管道2的转弯越多，使得中间区域水流流速逐渐降低，降温能力逐渐降低，从而使中间区域的温度高于四周温度，而温度越高等离子电极放电能力越强，因此也就提高了中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。进一步，两两相邻的进水管21和出水管22的间距由中心向外围逐渐减小，一方面，进水管21和出水管22里面的冷凝水随着移动距离增大温度逐渐增加，所以从四周向中心都是一根温度较高的管道与一根温度较低的管道交叉分布并且越靠近外围的冷却管道2间的温差越大，因此由中心向外围逐渐减小进水管21和出水管22的间距使进水管21和出水管22更容易进行热交换，平衡所在区域的温度；另一方面，还可以进一步提高中间区域和外围区域的温差，增强中间区域的放电强度。进一步，所述上基板1和下基板3的相同位置设有若干通孔12，作为电极的空心阴极参与辉光放电。本技术还提供了一种等离子设备，包括实施例1所述的电极装置，能有效改善电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。实施例2参见图1和图4，一种等离子设备的电极装置，包括从下到上依次设置的下基板3、冷却管道2和上基板1，所述冷却管道2的形状与费马螺线的形状一致，其外圈间距较近，中心间距最大，逐圈增大间距，即中间区域每单位面积所包含的冷却管道2长度要少于外围区域，降低中间区域的散热能力，因此中间区域的温度高于外围区域，从而提高中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。本技术还提供了一种等离子设备，包括实施例2所述的电极装置，能有效改善电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。实施例3参见图1和图5，一种等离子设备的电极装置，包括从下到上依次设置的下基板3、冷却管道2和上基板1，所述冷却管道2包括相互对称设置且形状一致的第一蛇形管道23和第二蛇形管道24，所述第一蛇形管道23和第二蛇形管道24的分布密度由中间向两端逐渐增加，降低中间区域的散热能力，因此中间区域的温度高于外围区域，从而提高中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。本技术还提供了一种等离子设备，包括实施例3所述的电极装置，能有效改善电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。以上所述，只是本技术的较佳实施方式而已，但本技术并不限于上述实施例，只要其以任何相同或相似手段达到本技术的技术效果，都应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子设备的电极装置，其特征在于：包括从下到上依次设置的下基板(3)、冷却管道(2)和上基板(1)，所述冷却管道(2)交替间隔设置，中间布置紧密，四周布置稀疏。/n

【技术特征摘要】
1.一种等离子设备的电极装置，其特征在于：包括从下到上依次设置的下基板(3)、冷却管道(2)和上基板(1)，所述冷却管道(2)交替间隔设置，中间布置紧密，四周布置稀疏。


2.根据权利要求1所述的一种等离子设备的电极装置，其特征在于：所述冷却管道(2)包括相互连通的进水管(21)和出水管(22)，所述进水管(21)和出水管(22)交替间隔设置，所述进水管(21)为从外围向中心延伸的矩形螺旋管道，所述出水管(22)为从中心向四周延伸的矩形螺旋管道。


3.根据权利要求2所述的一种等离子设备的电极装置，其特征在于：所述进水管(21)和出水管(22)的交替间隔的距离由中心向外围逐渐减小。


4.根据权利要求1所述的一种等离子设备的电极装置，其特征在于：所述冷却管道(2)的形状与费马螺线的形状一致。

【专利技术属性】
技术研发人员：丁雪苗，赵芝强，赵公魄，
申请(专利权)人：珠海宝丰堂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44