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本实用新型公开了一种等离子设备的电极装置及等离子设备，所述等离子设备的电极装置包括从下到上依次设置的下基板、冷却管道和上基板，所述冷却管道的降温能力由中间向四周递增，使电极装置的中间区域的温度高于四周区域的温度，增大中间区域的放电强度，改善...
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