一种探针卡、自动光学检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种探针卡、自动光学检测装置及方法。其中，探针卡，用于一基底，基底包括基材和位于基材上的多行显示屏，每行显示屏包括至少一个显示屏，每个显示屏包括至少一个电源电极，该探针卡包括：基板，基板上开设有多个列向平行排列的检测窗口，每个检测窗口容纳至少一行显示屏；多个针脚，每个检测窗口均露出针脚，且每个检测窗口中的针脚的位置对应于一行显示屏的电源电极的位置，针脚用于在探针卡与基底对准后，与位于检测窗口中的一行显示屏对应位置处的电源电极电接触，以为显示屏提供检测电源。本发明专利技术提高了对显示屏的检测效率。

A probe card, automatic optical detection device and method

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡、自动光学检测装置及方法
本专利技术实施例涉及显示屏检测
，尤其涉及一种探针卡、自动光学检测装置及方法。
技术介绍
有机发光OLED显示屏以其轻、薄、色彩鲜艳、宽视角、高对比度等优点逐渐成为发展最为迅速的平板显示器之一，并广泛应用于例如手机等电子设备中。与普通OLED显示屏相比，MicroOLED显示屏单个像素的尺寸缩小至2微米，甚至更小。像素尺寸的大幅缩小，使得显示屏具有更低的功耗，更快的反应速度，以及更高的分辨率。MicroOLED显示屏分辨率不断提高，相对尺寸不断减小，使得其在VR/AR等领域越来越受青睐。然而，MicroOLED的制备和检测过程难度也大大增加。就MicroOLED显示屏的检测而言，一般在对MicroOLED显示屏封装前进行，发现有不良品存在硅片当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。而在对MicroOLED显示屏进行检测之前，需要点亮MicroOLED显示屏。目前，采用探针卡对整个硅片上的MicroOLED显示屏进行逐个点亮，对每个MicroOLED显示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡，用于一基底检测，所述基底包括基材和位于所述基材上的多行显示屏，每行显示屏包括至少一个显示屏，每个所述显示屏包括电源电极，其特征在于，所述探针卡包括：/n基板，所述基板上开设有多个平行排列的检测窗口，每个所述检测窗口容纳至少一行显示屏；/n多个针脚，每个所述检测窗口均设置有所述针脚，每个所述检测窗口中的所述针脚的位置对应于一行显示屏的所述电源电极的位置，所述针脚用于在所述探针卡与所述基底对准后，与位于所述检测窗口中的一行显示屏对应位置处的所述电源电极电接触，以为所述显示屏提供检测电源。/n

【技术特征摘要】
1.一种探针卡，用于一基底检测，所述基底包括基材和位于所述基材上的多行显示屏，每行显示屏包括至少一个显示屏，每个所述显示屏包括电源电极，其特征在于，所述探针卡包括：
基板，所述基板上开设有多个平行排列的检测窗口，每个所述检测窗口容纳至少一行显示屏；
多个针脚，每个所述检测窗口均设置有所述针脚，每个所述检测窗口中的所述针脚的位置对应于一行显示屏的所述电源电极的位置，所述针脚用于在所述探针卡与所述基底对准后，与位于所述检测窗口中的一行显示屏对应位置处的所述电源电极电接触，以为所述显示屏提供检测电源。


2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还包括点亮开关，每个所述检测窗口的一端对应设置有一个所述点亮开关，所述点亮开关包括控制端、输入端和输出端，所述控制端接一控制信号，用于控制所述点亮开关通断，所述输入端与所述电源电连接，所述输出端与所述针脚电连接，所述点亮开关用于控制位于所述检测窗口中且与所述针脚电连接的所述显示屏逐行点亮。


3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，相邻两个检测窗口至少间隔一行显示屏。


4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还包括零位对准标记，用于为自动光学检测时的初始扫描提供参考位置。


5.根据权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述零位对准标记设置于最两侧的一个检测窗口中。


6.一种自动光学检测装置，其特征在于，所述自动光学检测装置包括：显示屏检测系统、工件台系统、对准系统、控制系统和电源；
所述工件台系统包括基底承载台、基底承载台运动传感器和探针卡，其中，所述基底承载台用于承载基底，所述基底承载台运动传感器用于控制所述基底承载台沿X向和Y向移动，所述探针卡覆盖于所述基底上，所述探针卡为权利要求1-5任一项所述的探针卡；
所述对准系统用于将所述探针卡与所述基底进行对准；
所述电源与针脚电连接，用于提供检测电源，以点亮显示屏；
所述显示屏检测系统用于对位于检测窗口中点亮的所述显示屏进行检测；
所述控制系统分别与所述显示屏检测系统、所述基底承载台运动传感器、所述对准系统和所述电源电连接，用于控制所述显示屏检测系统、所述基底承载台运动传感器、所述对准系统和所述电源工作。


7.根据权利要求6所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述显示屏检测系统包括：时间延时积分TDI线扫相机、检测镜头、检测镜头承载台和检测镜头承载台运动传感器，所述控制系统分别与所述TDI线扫相机和所述检测镜头承载台运动传感器电连接。


8.根据权利要求7所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述基底上设置有至少两个基底对准标记，所述对准系统包括至少一个对准镜头和针卡运动模块，所述控制系统分别与所述对准镜头和所述针卡运动模块电连接；
基底承载台运动传感器用于通过控制所述基底承载台将所述基底上的所有所述基底对准标记与所述对准镜头对准，所述对准镜头位于预设对准点处；
所述针卡运动模块用于将所述探针卡传送至预设对准位置，以使与所述对准镜头对准后的所述基底与所述探针卡对准。


9.根据权利要求8所述的自动光学检测装置，其特征在于，所述探针卡上设置有零位对准标记，所述对准镜头还用于检测到所述零位对准标记，并将所述零位对准标记相对于所述检测镜头的位置关系反馈至所述控制系统，以使所述控制系统以所述零位对...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵新，潘炼东，潘文强，于大维，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31