一种硅单晶棒外圆滚磨机液压缸用活塞装置制造方法及图纸

一种硅单晶棒外圆滚磨机液压缸用活塞装置，包括活塞杆，活塞杆的中心开设有顶端通向末端的进出油口，活塞杆顶端套设有与活塞杆一体成型的活塞，且活塞顶端与活塞杆顶端平齐，活塞外周上对称设有密封槽，密封槽内设有O型环；与原活塞装置相比，活塞的厚度由30mm增加为50mm，增大了力矩，O型环5的直径由3.0mm增加为5.7mm，线径更大，在活塞运动过程中，与筒壁的磨损时长大大增加，从而增加稳定性，活塞和活塞杆由一整块钢材加工而成，不需要使用螺母对活塞和活塞杆固定，从而避免了在活塞与进出油口处产生窝气区，彻底摆脱了参考面台阶问题的困扰，减少了亮点、台阶、划痕等缺陷的产生，非常稳定可靠，大大提高了单晶硅棒产品质量。

A piston device for the hydraulic cylinder of the cylindrical grinding machine

【技术实现步骤摘要】
一种硅单晶棒外圆滚磨机液压缸用活塞装置
本技术涉及电子材料加工
，更具体地说，涉及一种硅单晶棒外圆滚磨机液压缸用活塞装置。
技术介绍
单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。硅单晶棒外圆滚磨机，是半导体单晶加工行业使用比较广泛的设备，其设计简单可靠，操作方便，深受本行业使用者的欢迎，滚磨的目的是利用砂轮将截面为不规整的单晶硅棒打磨成截面为圆形的单晶硅棒，但是在设备的使用中发现，其有一个致命的设计缺陷，滚磨机的生产过程可分为外圆滚磨和参考面滚磨，外圆滚磨的对外表面平整度要求不是非常的高，但是参考面的滚磨对参考面的平整度要求很高，不能有亮点、台阶、划痕等缺陷。在实际使用中，发现在使用超过一定年限的此型滚磨机，就会频繁出现台阶缺陷，时有时无，非常的不稳定，在使用过程中发现原有的硅棒夹紧液压缸的设计有重大缺陷，液压缸在生产时，对硅棒加持，以25BAR的压力保持硅棒在加工中相对于磨头的静止，同时以金刚砂磨头以4500的转速对硅棒外表进行研磨，但是由于原液压缸活塞设计不合理，液压缸的稳定性不好，使硅棒产生形变，从而产生台阶，如图1所示，原活塞有三大不足之处，一是原活塞的密封0型环线径只有3.0mm，磨损后易导致活塞间隙大，导致不稳定，二是原活塞的厚度只有30mm，力矩过小，易导致不稳定，三是原活塞的设计有先天的缺陷，有较大的窝气区，易导致不稳定；因此，在原活塞装置的基础上提出了新的改进，可改善上述问题。
技术实现思路
有鉴于此，为解决上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种硅单晶棒外圆滚磨机液压缸用活塞装置，可减小磨损和活塞间隙，避免活塞处出现窝气区，提高使用稳定性。为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种硅单晶棒外圆滚磨机液压缸用活塞装置，包括活塞杆，所述活塞杆的中心开设有顶端通向末端的进出油口，所述活塞杆顶端套设有与活塞杆一体成型的活塞，且所述活塞顶端与所述活塞杆顶端平齐，所述活塞外周上对称设有密封槽，所述密封槽内设有O型环。进一步的，所述活塞的厚度为50mm。进一步的，所述O型环的直径为5.7mm。进一步的，所述活塞杆末端连接有对硅单晶棒进行夹持的夹持机构。进一步的，所述活塞和活塞杆由一整块钢材加工而成。本技术的有益效果是：与原活塞装置相比，一是增加了活塞的厚度，由原来的30mm增加至50mm，增大了力矩，二是采用线径更大的O型环，线径达到了5.7mm，在活塞运动过程中，与筒壁的磨损时长大大增加，从而增加稳定性，三是采用整体加工，与原活塞装置相比，整个活塞装置由一块钢材加工而成，不需要使用螺母对活塞和活塞杆固定，从而避免了在活塞与进出油口处产生窝气区，增加了稳定性；使用本技术的活塞装置的滚磨机，彻底摆脱了参考面台阶问题的困扰，减少了亮点、台阶、划痕等缺陷的产生，非常稳定可靠，大大提高了单晶硅棒产品质量，创造了很大的效益。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有活塞装置的结构示意图；图2为本技术的活塞装置的主视图；图3为本技术的活塞装置的侧视图；附图标记：1、活塞杆，2、进出油口，3、活塞，4、密封槽，5、O型环。具体实施方式下面给出具体实施例，对本技术的技术方案作进一步清楚、完整、详细地说明。本实施例是以本技术技术方案为前提的最佳实施例，但本技术的保护范围不限于下述的实施例。一种硅单晶棒外圆滚磨机液压缸用活塞装置，如图2、3所示，包括活塞杆1，所述活塞杆1的中心开设有顶端通向末端的进出油口2，所述活塞杆1顶端套设有与活塞杆1一体成型的活塞3，与原活塞装置相比，所述活塞3和活塞杆1由一整块钢材加工而成，不需要使用螺母对活塞3和活塞杆1固定，从而避免了在活塞3与进出油口2处产生窝气区，增加了稳定性；与图1中的原活塞装置相比，所述活塞3的厚度由原来的30mm增加为50mm，增大了力矩，且所述活塞3顶端与所述活塞杆1顶端平齐，所述活塞杆1末端连接有对硅单晶棒进行夹持的夹持机构，所述活塞3外周上对称设有密封槽4，所述密封槽4内设有O型环5，所述O型环5的直径为5.7mm，与图1中的原活塞装置相比，线径更大，在活塞运动过程中，与筒壁的磨损时长大大增加，从而增加稳定性；使用本技术的活塞装置的滚磨机，彻底摆脱了参考面台阶问题的困扰，减少了亮点、台阶、划痕等缺陷的产生，非常稳定可靠，大大提高了单晶硅棒产品质量，创造了很大的效益。以上显示和描述了本技术的主要特征、基本原理以及本技术的优点。本行业技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会根据实际情况有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅单晶棒外圆滚磨机液压缸用活塞装置，其特征在于，包括活塞杆（1），所述活塞杆（1）的中心开设有顶端通向末端的进出油口（2），所述活塞杆（1）顶端套设有与活塞杆（1）一体成型的活塞（3），且所述活塞（3）顶端与所述活塞杆（1）顶端平齐，所述活塞（3）外周上对称设有密封槽（4），所述密封槽（4）内设有O型环（5）。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅单晶棒外圆滚磨机液压缸用活塞装置，其特征在于，包括活塞杆（1），所述活塞杆（1）的中心开设有顶端通向末端的进出油口（2），所述活塞杆（1）顶端套设有与活塞杆（1）一体成型的活塞（3），且所述活塞（3）顶端与所述活塞杆（1）顶端平齐，所述活塞（3）外周上对称设有密封槽（4），所述密封槽（4）内设有O型环（5）。


2.根据权利要求1所述的一种硅单晶棒外圆滚磨机液压缸用活塞装置，其特征在于，所述活塞（3）的厚度为50...

【专利技术属性】
技术研发人员：王峥，吴继伟，张珂锌，冯冰冰，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41