【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片封装的无尘车间
本技术涉及无尘净化设备
，更具体的是涉及一种用于芯片封装的无尘车间。
技术介绍
芯片的生产过程中对环境的要求极高，特别是环境的清洁度，所以目前芯片的生产主要是在无尘车间中进行的。人员在进入无尘车间时，必须先经过风淋室除尘，而后身着无尘服在无尘车间中活动。并且无尘车间是一个相对封闭的空间，无尘车间中的空气不会直接与外界进行对流交换，空气的交换都是通过气体循环净化系统进行的。利用风机将无尘车间中的空气通过管道抽出至净化系统，空气经过净化系统的净化后再通过管道重新通入至无尘车间中，净化系统主要是对空气中的灰尘、有害细菌等进行净化。现有的无尘车间在空气通入口处通常会加装过滤层，用来过滤掉净化系统未能完全消除的灰尘等杂质；同时在长时间使用过程中，通风管道中也会残留一些灰尘，过滤层可以一并将这些杂质进行二次过滤，提高通入无尘车间中的空气的清洁度。但是长时间使用会导致灰尘等杂质在过滤层上积聚，使过滤层的通风量大大减小，进而会减小无尘车间的空气通入量，使空气循环中的通入流量小于排出流量，进而...
【技术保护点】
1.一种用于芯片封装的无尘车间，包括无尘车间的墙体(5)，墙体(5)上嵌设有方形的进风管(1)，进风管(1)中设置有过滤层(2)，其特征在于：过滤层(2)两侧均设置有密封百叶窗，两个密封百叶窗以及过滤层(2)将进风管(1)内部从左至右依次分别回风室(3)、除尘室(7)以及进风室(13)，回风室(3)左侧为无尘车间内部，进风管(1)顶部设置有连通回风室(3)与进风室(13)的弯管(4)，进风管(1)底部设置有与除尘室(7)对应的排尘管(16)，进风管(1)内设置有用于弯管(4)两端管口以及排尘管(16)管口启闭的开关机构。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于芯片封装的无尘车间，包括无尘车间的墙体(5)，墙体(5)上嵌设有方形的进风管(1)，进风管(1)中设置有过滤层(2)，其特征在于：过滤层(2)两侧均设置有密封百叶窗，两个密封百叶窗以及过滤层(2)将进风管(1)内部从左至右依次分别回风室(3)、除尘室(7)以及进风室(13)，回风室(3)左侧为无尘车间内部，进风管(1)顶部设置有连通回风室(3)与进风室(13)的弯管(4)，进风管(1)底部设置有与除尘室(7)对应的排尘管(16)，进风管(1)内设置有用于弯管(4)两端管口以及排尘管(16)管口启闭的开关机构。
2.根据权利要求1所述的用于芯片封装的无尘车间，其特征在于：回风室(3)内部空间的体积大于除尘室(7)内部空间的体积。
3.根据权利要求1所述的用于芯片封装的无尘车间，其特征在于：开关机构包括分设置在进风管(1)顶部与底部的可水平移动的顶板(6)与底板(14)，顶板(6)与底板(14)分别与过滤层(2)顶部与底部紧密接...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩力，
申请(专利权)人：成都汉芯国科集成技术有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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