一种腔室检漏系统技术方案

本公开提供一种腔室检漏系统，其包括：与待检漏腔室连接的结构件、检漏设备和抽真空设备；待检漏腔室与结构件围成封闭空间；抽真空设备用于对所述封闭空间进行抽真空处理；检漏设备用于在所述封闭空间达到第一预设压力值后，通过向所述封闭空间的至少一处疑似泄漏点注入检测气体，并检测所述封闭空间是否溢出检测气体来判断实际泄漏点的位置。本公开所述腔室检漏系统由于设置了与镀膜设备的待检漏腔室相匹配的结构件，从而能够匹配多种尺寸的腔室，既经济又方便使用；而且，检漏设备与抽真空设备相结合，既能够实现对不同体积腔室进行检漏，尤其适用于大体积腔室的检漏，且检漏时间短，又能够准确判断出实际泄漏点的数量和具体位置，检漏精度高。

A kind of cavity leak detection system

【技术实现步骤摘要】
一种腔室检漏系统
本公开涉及检测
，具体涉及一种腔室检漏系统。
技术介绍
腔室是镀膜设备的核心部件，因此腔室检漏尤为重要。检漏的目的是确定腔室是否漏气，也就是漏率是否满足技术要求(即漏率小于10-9torr@1atm)。目前，常规检漏方法包括喷吹法、吸入法、钟罩法和背压法。喷吹法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接后与质谱管连通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气就会通过漏孔进入质谱管而被检测到。喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不易受污染，但是无法对大容积被检件进行检漏。吸入法又称吸枪检漏法，是将专用吸枪连接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气(纯氦气或一定比例含氦的混合气)。检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气就会自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测到。钟罩法是将被检件与仪器检漏口连接后内部抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，最终达到质谱管中被检测到。钟罩法所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。背压法是用专用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压入的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。其中，吸入法、钟罩法和背压法在对大容积被检件进行检漏时，为了配合被检件的体积，相应检漏装置的体积也就更大，对检漏装置提出了更高要求，既不经济，也不方便使用；而且，检漏精度较低。
技术实现思路
为了至少部分解决现有技术中存在的技术问题而完成了本公开。解决本公开技术问题所采用的技术方案是：本公开提供一种腔室检漏系统，其包括：与待检漏腔室连接的结构件、检漏设备和抽真空设备；所述待检漏腔室与所述结构件围成封闭空间；所述抽真空设备用于对所述封闭空间进行抽真空处理；所述检漏设备用于在所述封闭空间达到第一预设压力值后，通过向所述封闭空间的至少一处疑似泄漏点注入检测气体，并检测所述封闭空间是否溢出检测气体来判断实际泄漏点的位置。本公开中，由于设置了与镀膜设备的待检漏腔室相匹配的结构件，从而能够匹配多种尺寸的腔室，即使应用于大容积的腔室也不会过大地增加检漏系统的体积，既经济又方便使用；而且，检漏设备与抽真空设备相结合，既能够实现对不同体积腔室进行检漏，尤其适用于大体积腔室的检漏，且检漏时间短，又能够准确判断出实际泄漏点的数量和具体位置，检漏精度高。可选地，所述结构件包括：一端与所述待检漏腔室连接的中空的连接架，以及与所述连接架的另一端连接的盲板；所述待检漏腔室、所述连接架与所述盲板围成封闭空间。可选地，所述待检漏腔室与所述连接架的一端相接触的位置处设置有内外两圈环形凹槽，且内圈环形凹槽中设置有内侧密封圈，外圈环形凹槽中设置有外侧密封圈。可选地，所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽相通；所述检漏设备包括检漏仪、气瓶，以及嵌入在所述连接架内的气管，所述盲板与所述连接架相接触的位置处设置有通孔，所述气管的一端与所述内圈环形凹槽和所述外圈环形凹槽之间的区域相通、另一端与所述盲板上的通孔相通；所述气瓶内盛装有检测气体，其通过所述盲板上的通孔与所述气管连通，用于向所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽之间的区域注入检测气体；所述检漏仪与所述封闭空间连通，用于通过检测所述封闭空间是否溢出检测气体来判断所述内侧密封圈处是否存在实际泄漏点。可选地，所述抽真空设备还用于将所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽之间的区域内的检测气体抽走，并使所述封闭空间恢复第一预设压力值；所述检漏设备还包括喷枪，所述气瓶与所述气管之间的通路断开并与所述喷枪连通，所述喷枪用于在所述待检漏腔室外沿所述待检漏腔室与所述连接架之间的区域移动并喷吹检测气体；所述检漏仪与所述封闭空间之间的通路断开并与所述气管连通，用于通过检测所述气管是否溢出检测气体来判断所述外侧密封圈处是否存在实际泄漏点。可选地，所述抽真空设备还用于将所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽之间的区域内的检测气体抽走，并使所述封闭空间恢复第一预设压力值；所述检漏设备还包括吸枪，所述检漏仪与所述封闭空间之间的通路断开并与所述吸枪连通，所述吸枪用于在所述待检漏腔室外沿所述待检漏腔室和所述连接架之间的区域移动并吸收检测气体；所述检漏仪用于通过检测所述待检漏腔室和所述连接架之间的区域是否溢出检测气体来判断所述外侧密封圈处是否存在实际泄漏点。可选地，所述抽真空设备包括分别通过管线接入所述封闭空间的干泵和分子泵；所述干泵用于对所述封闭空间进行初步抽真空处理，直至所述封闭空间达到第二预设压力值；所述分子泵用于在所述封闭空间达到预设压力值后，与所述干泵一起对所述封闭空间进行进一步抽真空处理，直至所述封闭空间达到第一预设压力值。可选地，所述第二预设压力值的范围为10Pa～50Pa。可选地，所述第一预设压力值的范围为10-5Pa～10-4Pa。可选地，所述检测气体为氦气。附图说明图1为本公开实施例1提供的腔室检漏系统的结构示意图；图2a为图1所示腔室检漏系统初次抽真空时仅干泵工作的原理示意图；图2b为图1所示腔室检漏系统初次抽真空时分子泵与干泵一起工作的原理示意图；图3为图1所示腔室检漏系统中内侧密封圈的检漏原理示意图；图4为图1所示腔室检漏系统再次抽真空的原理示意图；图5为图1所示腔室检漏系统中外侧密封圈的检漏原理示意图；图6为本公开实施例2提供的腔室检漏系统的结构示意图；图7a为图6所示腔室检漏系统初次抽真空时仅干泵工作的原理示意图；图7b为图6所示腔室检漏系统初次抽真空时分子泵与干泵一起工作的原理示意图；图8为图6所示腔室检漏系统中内侧密封圈的检漏原理示意图；图9为图6所示腔室检漏系统再次抽真空的原理示意图；图10为图6所示腔室检漏系统中外侧密封圈的检漏原理示意图。图中：1－待检漏腔室；2－连接架；3－盲板；4－分子泵；5－干泵；6－检漏仪；7－气瓶；8－气管；9－喷枪；10、11、12、13、16、18－阀门；14－内侧密封圈；15－外侧密封圈；17－吸枪。具体实施方式为使本领域技术人员更好地理解本公开的技术方案，下面结合附图和实施例对本公开作进一步详细描述。实施例1：如图1所示，本实施例提供一种腔室检漏系统，其包括：与待检漏腔室1连接的结构件、检漏设备和抽真空设备；其中，待检漏腔室1与结构件相匹配，二者围成封闭空间。抽真空设备用于对所述封闭空间进行抽真空处理。检漏设备用于在所述封闭空间达到第一预设压力值后，通过向所述封闭空间的至少一处疑似泄漏点注入检测气体，并检测所述封闭空间是否溢出检测气体来判断实际泄漏点的位置。其中，第一预设压力值本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种腔室检漏系统，其特征在于，包括：与待检漏腔室连接的结构件、检漏设备和抽真空设备；所述待检漏腔室与所述结构件围成封闭空间；所述抽真空设备用于对所述封闭空间进行抽真空处理；所述检漏设备用于在所述封闭空间达到第一预设压力值后，通过向所述封闭空间的至少一处疑似泄漏点注入检测气体，并检测所述封闭空间是否溢出检测气体来判断实际泄漏点的位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种腔室检漏系统，其特征在于，包括：与待检漏腔室连接的结构件、检漏设备和抽真空设备；所述待检漏腔室与所述结构件围成封闭空间；所述抽真空设备用于对所述封闭空间进行抽真空处理；所述检漏设备用于在所述封闭空间达到第一预设压力值后，通过向所述封闭空间的至少一处疑似泄漏点注入检测气体，并检测所述封闭空间是否溢出检测气体来判断实际泄漏点的位置。


2.根据权利要求1所述的腔室检漏系统，其特征在于，所述结构件包括：一端与所述待检漏腔室连接的中空的连接架，以及与所述连接架的另一端连接的盲板；所述待检漏腔室、所述连接架与所述盲板围成封闭空间。


3.根据权利要求2所述的腔室检漏系统，其特征在于，所述待检漏腔室与所述连接架的一端相接触的位置处设置有内外两圈环形凹槽，且内圈环形凹槽中设置有内侧密封圈，外圈环形凹槽中设置有外侧密封圈。


4.根据权利要求3所述的腔室检漏系统，其特征在于，所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽相通；所述检漏设备包括检漏仪、气瓶，以及嵌入在所述连接架内的气管，所述盲板与所述连接架相接触的位置处设置有通孔，所述气管的一端与所述内圈环形凹槽和所述外圈环形凹槽之间的区域相通、另一端与所述盲板上的通孔相通；所述气瓶内盛装有检测气体，其通过所述盲板上的通孔与所述气管连通，用于向所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽之间的区域注入检测气体；所述检漏仪与所述封闭空间连通，用于通过检测所述封闭空间是否溢出检测气体来判断所述内侧密封圈处是否存在实际泄漏点。


5.根据权利要求4所述的腔室检漏系统，其特征在于，所述抽真空设备还用于将所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽之间的区域内的检测气体抽走，并使所述封闭空间恢复第一预设压...

【专利技术属性】
技术研发人员：邬英，汪振南，见东伟，
申请(专利权)人：山西米亚索乐装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：山西;14