【技术实现步骤摘要】
药液供应装置
本专利技术的实施例涉及药液供应装置。更具体来讲，本专利技术的实施例涉及包括能够向基板上吐出药液的药液吐出部件及能够储存所述药液的储存槽的药液供应装置。本申请享有2018年9月27日向韩国特许厅申请的韩国专利技术申请第10-2018-0114607号的优先权。
技术介绍
用于液晶显示装置、有机发光显示装置等显示装置的制造工程的现有的药液供应装置大体可包括具有用于向基板上吐出药液的多个喷嘴的喷墨头之类的药液吐出部件与储存供应到所述药液吐出部件的药液的储存槽(reservoir)。在现有的药液供应装置中，从所述储存槽向所述药液吐出部件供应的药液在所述储存槽内从所述储存槽的一部分向所述储存槽的另一部分流动。该情况下，所述药液可能会停滞于在所述储存槽内或在连接所述储存槽与所述药液吐出部件的药液供应线路内堵住。因此，所述储存槽内的所述药液内可能会发生气泡，所述药液通过所述药液供应线路的过程中包含于所述药液内的气泡可能会增大。含有这种气泡的药液供应到所述药液吐出部件的情况下，所述药液可能无法从所述药液吐出部件...
【技术保护点】
1.一种药液供应装置，其特征在于，包括：/n药液吐出部件，其用于向基板上吐出药液；/n储存槽，其用于储存向所述药液吐出部件供应的所述药液；/n药液供应部件，其用于将储存于所述储存槽的所述药液供应到所述药液吐出部件；以及/n药液循环部件，其用于从所述药液吐出部件向所述储存槽循环所述药液。/n
【技术特征摘要】
20180927 KR 10-2018-01146071.一种药液供应装置，其特征在于，包括：
药液吐出部件，其用于向基板上吐出药液；
储存槽，其用于储存向所述药液吐出部件供应的所述药液；
药液供应部件，其用于将储存于所述储存槽的所述药液供应到所述药液吐出部件；以及
药液循环部件，其用于从所述药液吐出部件向所述储存槽循环所述药液。
2.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于：
所述药液供应部件包括：
供应线路，其用于连接所述储存槽与所述药液吐出部件；以及
供应泵，其用于从所述储存槽向所述药液吐出部件泵送所述药液，
所述药液循环部件包括：
循环线路，其用于连接所述药液吐出部件与所述储存槽；以及
循环泵，其用于从所述药液吐出部件向所述储存槽泵送所述药液。
3.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于：
所述药液供应部件连接于所述储存槽的第一部分，所述药液循环部件连接于所述储存槽的第二部分。
4.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于，还包括：
气泡去除部件，其配置在所述储存槽内用于去除所述药液的内部能够发生的气泡。
5.根据权利要求4所述的药液供应装置，其特征在于：
所述气泡去除部件包括具有多个孔的至少一个板，所述至少一个板在所述储存槽的内部向垂直于所述药液的流动方向的方向将所述储存槽的空间划分为多个区间。
6.根据权利要求5所述的药液供应装置，其特征在于：
所述至少一个板含有疏水性物质。
7.根据权利要求5所述的药液供应装置，其特征在于：
各所述孔具有300μm至500μm的孔。
8.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于，还包括：
负压供应部件，其用于向所述药液吐出部件提供负压以保持所述药液吐出部件的弯月面。
9.根据权利要求8所述的药液供应装置，其特征在于，还包括：
负压调节部件，其用于调整向所述药液吐出部件提供的负压而预定地所述药液吐出部件的弯月面。
10.根据权利要求9所述的药液供应装置，其特征在于，所述负压调节部件包括：
感测部件，其用于感测所述药液...
【专利技术属性】
技术研发人员：金载烈，郑容，徐永昊，金大星，吴凡政，田光福，权铉九，孙尚郁，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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