【技术实现步骤摘要】
氧气纯化装置
本技术涉及一种氧气纯化装置。
技术介绍
近年来，随着集成电路等行业的高速发展，在集成电路成品制作工艺过程中对使用气体纯度的要求越来越高，杂质要求小于1ppb。而工业氧气大部分来源于深冷式空气分离装置和水电解装置制氧，两种气体来源杂质都达到ppm～ppb级的烃类、一氧化碳、二氧化碳和水，不能满足集成电路等行业的正常使用。目前，纯化氧气普遍采用前端催化后端干燥吸附的技术。前端催化工艺可使杂质反应生成二氧化碳和水，后端深度吸附工艺吸附脱除二氧化碳和水等杂质。此技术虽然在一定程度上脱除杂质烃类、一氧化碳、二氧化碳和水，但脱除深度不能达到ppt级，已经不能满足生产使用需求。
技术实现思路
本技术针对以上问题的提出，而研究设计一种氧气纯化装置。本技术采用的技术手段如下：一种氧气纯化装置，包括催化氧化反应器和吸附反应器，所述催化氧化反应器的入口与原料气入口相连，且所述原料气入口与催化氧化反应器的入口之间设有第一加热器，所述催化氧化反应器的出口通过冷却器与所述吸附反应器的入口相连，所述吸附反应器...
【技术保护点】
1.一种氧气纯化装置，包括催化氧化反应器和吸附反应器，其特征在于：所述催化氧化反应器的入口与原料气入口相连，且所述原料气入口与催化氧化反应器的入口之间设有第一加热器，所述催化氧化反应器的出口通过冷却器与所述吸附反应器的入口相连，所述吸附反应器的出口与产品气出口相连，所述产品气出口还通过再生气管路与吸附反应器的出口相连，所述再生气管路上设有第二加热器，所述吸附反应器的入口处还设有再生气排气管路，所述再生气排气管路上设有冷却器。/n
【技术特征摘要】
1.一种氧气纯化装置，包括催化氧化反应器和吸附反应器，其特征在于：所述催化氧化反应器的入口与原料气入口相连，且所述原料气入口与催化氧化反应器的入口之间设有第一加热器，所述催化氧化反应器的出口通过冷却器与所述吸附反应器的入口相连，所述吸附反应器的出口与产品气出口相连，所述产品气出口还通过再生气管路与吸附反应器的出口相连，所述再生气管路上设有第二加热器，所述吸附反应器的入口处还设有再生气排气管路，所述再生气排气管路上设有冷却器。
2.根据权利要求1所述的氧气纯化装置，其特征在于：包括催化氧化反应器、第一吸附反应器和第二吸附反应器，所述催化氧化反应器的出口连接第一冷却器后通过两个管路支路分别与第一吸附反应器的入口和第二吸附反应器的入口相连，所述第一吸附反应器的出口和第二吸附反应器的出口分别通过控制阀与产品气出口相连，所述产品气出口连接再生气主控制阀后通过两个再生气支路分别与第一吸附反应器的出口和第二吸附反应器的出口相连，所述再生气主控制阀与第一吸附反应器之间的再生气支路上设有第二加热器Ⅰ，所述再生气主控制阀与第二吸附反应器之间的再生气支路上设有第二加热器Ⅱ，所述第一吸附反应器的入口处设有第一再生气排气管路，所述第一再生气排气管路上设有第二冷却器，所述第二吸附反应器的入口处设有第二再生气排气管路，所述第二再生气排气管路上设有第三冷却器。
3.根据权利要求2所述的氧气纯...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯鹏，李文强，韩江江，田维峰，李文豪，崔冬，李世海，
申请(专利权)人：大连华邦化学有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。