一种真空转移台制造技术

本实用新型专利技术是一种真空转移台，包括结构框架和操作单元，所述的结构框架边缘固定安装有烘箱悬臂，所述的结构框架上表面固定安装有加热烘箱，所述的烘箱悬臂与加热烘箱传动连接，所述的烘箱悬臂用于带动加热烘箱开启和闭合，所述的加热烘箱安装有真空腔体系统，所述的真空腔体系统与抽真空系统连通，所述的抽真空系统用于将真空腔体系统内部空间抽成真空环境；该种真空转移台能够进行真空光电器件的阴极制作、动态检测、管壳净化、阴极冲刷、真空封装等，具有操作灵活方便，重复性好，加热烘箱保温效果好节能控温精度高，以及使用寿命长的特点。

A vacuum transfer station

【技术实现步骤摘要】
一种真空转移台
本技术是真空工况加工
，具体的说是一种真空转移台。
技术介绍
真空转移台用于真空光电器件的阴极制作、动态检测、管壳净化、阴极冲刷、真空封装等制管工艺处理，整个工艺过程需要在真空环境内实现，在工作的过程中需要对真空腔进行整体加热，一般会将加热结构附着在隔热罩内壁，因此需要隔热罩能够满足隔热的需求，进一步的，由于隔热罩属于刚性结构，在受热时会出现热胀冷缩的现象，导致隔热罩本身发生形变，导致结构失效。因此，需要一种能够在真空环境内进行光电器件加工的设备。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种真空转移台，能够进行真空光电器件的阴极制作、动态检测、管壳净化、阴极冲刷、真空封装等，具有操作灵活方便，重复性好，加热烘箱保温效果好节能控温精度高，以及使用寿命长的特点。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种真空转移台，包括结构框架和操作单元，所述的结构框架边缘固定安装有烘箱悬臂，所述的结构框架上表面固定安装有加热烘箱，所述的烘箱悬臂与加热烘箱传动连接，所述的烘箱悬臂用于带动加热烘箱开启和闭合，所述的加热烘箱安装有真空腔体系统，所述的真空腔体系统与抽真空系统连通，所述的抽真空系统用于将真空腔体系统内部空间抽成真空环境；所述的加热烘箱包括固定安装在结构框架上的烘箱隔热板，所述的烘箱隔热板上方设置有可分离的加热烘箱，所述的烘箱隔热板和加热烘箱可拼接形成独立空间，所述的加热烘箱内设置有真空腔体，所述的真空腔体包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；第一独立腔体内设置有A工件，第二独立腔体内设置有B工件，第三独立腔体设置在第一独立腔体和第二独立腔体之间，所述的第三独立腔体用于放置由A工件和B工件形成的组合工件，第一磁力传递杆一端穿过第一独立腔体侧壁与A工件传动连接，第二磁力传递杆一端穿过第二独立腔体侧壁与B工件传动连接，所述的第一磁力传递杆与第一独立腔体侧壁的连接处密封连接，所述的第二磁力传递杆与第二独立腔体侧壁的连接处密封连接；所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体顶部均设置有上观察窗，所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的侧壁均设置有侧观察窗，第一独立腔体底部开口处采用第一芯柱法兰实现密封，所述的第一芯柱法兰用于支撑A工件以及对A工件加电，第二独立腔体底部开口处采用第二芯柱法兰实现密封，所述的第二芯柱法兰用于支撑B工件以及对B工件加电，第三独立腔体底部开口处采用第三芯柱法兰实现密封，所述的第三芯柱法兰用于支撑组合工件以及对组合工件加电，所述的真空腔体通过连接气道与抽真空系统连通。所述的第一磁力传递杆和第二磁力传递杆均沿第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的排列方向设置，所述的第一磁力传递杆的轴心位于第一独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第二磁力传递杆的轴心位于第二独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第一磁力传递杆能够带动A工件在水平和竖直方向上移动，所述的第二磁力传递杆能够带动B工件在水平和竖直方向上移动。所述的第一芯柱法兰、第二芯柱法兰和第三芯柱法兰均与真空腔体可拆卸连接，所述的第一芯柱法兰、第二芯柱法兰和第三芯柱法兰均设置有引入电极，所述的引入电极用于为A工件、B工件和组合工件加电。所述的结构框架包括用于支撑的机架以及设置在机架顶面面的机架平台，所述的操作单元固定安装在机架内，所述的烘箱隔热板固定安装在机架平台的上表面，所述的烘箱悬臂穿过机架平台并固定安装在机架平台的边缘。所述的加热烘箱的顶部与水平悬臂一端的下表面固定连接，水平悬臂另一端与固定套筒固定连接，所述的固定套筒与主轴顶部通过连接轴销传动连接，所述的主轴穿过缸套，所述的缸套穿过机架平台，所述的缸套与机架平台通过固定法兰固定连接，所述的固定法兰固定安装在缸套外壁上，所述的主轴的底端与垂向往复运动驱动装置传动连接；所述的垂向往复运动驱动装置用于带动主轴沿轴向运动；所述的缸套两端设置有高温防卡死机构，所述的高温防卡死机构用于保证主轴和缸套之间的滑动配合在高温环境内不会失效。所述的高温防卡死机构为设置在缸套两端的自润滑铜套或限位滚轴组。所述的复运动驱动装置采用蜗轮蜗杆结构，驱动电机输出轴与方箱变速器连接，方箱变速器驱动蜗轮蜗杆结构带动丝杆转动，嵌套在丝杆上的活灵与主轴固定连接，带动主轴实现轴向运动，所述的复运动驱动装置底部安装有配重。所述的机架平台和烘箱隔热板上均加工有若干伸缩缝。所述的抽真空系统包括主气路，所述的主气路一端与连接气道连通，另一端与分子泵连通，分子泵的出气端与隔膜泵连通，所述的主气路内安装有闸板阀，所述的主气路与支气路连通，所述的主气路与支气路的连通处设置在闸板阀和连接气道之间，所述的支气路与涡旋泵连通，所述的支气路内设置有初抽阀，所述的支气路通过气管与放气阀连通，所述的主气路通过气管与复合规连接。该种真空转移台能够产生的有益效果为：第一，真空腔体设置有三个相对独立的独立腔体，可以在每个独立腔体内分别完成对A工件、B工件以及组合工件的处理工作，保证了工件之间预处理的独立性，提高了工件处理质量；同时，通过设置第一磁力传递杆和第二磁力传递杆保证了A工件和B工件的位移稳定性，可以使两侧的A工件和B工件移动到第三独立腔体实现结合，提高了真空环境内工件组合的精准度。第二，缸套两端设置自润滑铜套或限位滚轴组，保证了在0~400度的高温环境下，主轴的热胀不会导致主轴和缸套不会出现锁死的状态，保证了主轴轴向运动的稳定性；同时在升降装置的下方设置配重，保证了重心的稳定性。第三，抽真空系统采用了涡旋泵进行预抽真空，利用分子泵和隔膜泵进行标准抽真空以及真空维持，保证了真空工况的持续。附图说明图1为本技术一种真空转移台的结构示意图。图2为本技术一种真空转移台烘箱悬臂的结构示意图。图3为本技术一种真空转移台缸套的结构示意图。图4为本技术一种真空转移台缸套的结构示意图。图5为本技术一种真空转移台加热烘箱和真空腔体系统的结构示意图。图6为本技术一种真空转移台抽真空系统的结构示意图。说明书附图标注：1、结构框架；2、烘箱悬臂；3、加热烘箱；4、真空腔体系统；5、抽真空系统；6、操作单元；1.1、机架；1.2、机架平台；2.1、缸套；2.2、固定法兰；2.3、主轴；2.4、固定套筒；2.5、水平悬臂；2.6、连接轴销；2.7、垂向往复运动驱动装置；2.8、活灵；2.9、配重；2.10、铜套；2.11、限位滚轴组；3.1、组合工件；3.2、烘箱隔热板；3.3、第一芯柱法兰；3.4、A工件；3.5、第一磁力传递杆；3.6、加热烘箱；3.7、上观察窗；3.9、侧观察窗；3.10、真空腔体；3.11、第二磁力传递杆；3.12、B工件；3.13、第二芯柱法兰；3.14、第三芯柱法兰；3.15、连接气道；5.1、主气路；5.2、闸板阀；5.3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空转移台，其特征在于：包括结构框架（1）和操作单元（6），所述的结构框架（1）边缘固定安装有烘箱悬臂（2），所述的结构框架（1）上表面固定安装有加热烘箱（3），所述的烘箱悬臂（2）与加热烘箱（3）传动连接，所述的烘箱悬臂（2）用于带动加热烘箱（3）开启和闭合，所述的加热烘箱（3）安装有真空腔体系统（4），所述的真空腔体系统（4）与抽真空系统（5）连通，所述的抽真空系统（5）用于将真空腔体系统（4）内部空间抽成真空环境；/n所述的加热烘箱（3）包括固定安装在结构框架（1）上的烘箱隔热板（3.2），所述的烘箱隔热板（3.2）上方设置有可分离的加热烘箱（3.6），所述的烘箱隔热板（3.2）和加热烘箱（3.6）可拼接形成独立空间，所述的加热烘箱（3.6）内设置有真空腔体（3.10），所述的真空腔体（3.10）包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；/n第一独立腔体内设置有A工件（3.4），第二独立腔体内设置有B工件（3.12），第三独立腔体设置在第一独立腔体和第二独立腔体之间，所述的第三独立腔体用于放置由A工件（3.4）和B工件（12）形成的组合工件（3.1），第一磁力传递杆（3.5）一端穿过第一独立腔体侧壁与A工件（3.4）传动连接，第二磁力传递杆（3.11）一端穿过第二独立腔体侧壁与B工件（3.12）传动连接，所述的第一磁力传递杆（3.5）与第一独立腔体侧壁的连接处密封连接，所述的第二磁力传递杆（3.11）与第二独立腔体侧壁的连接处密封连接；/n所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体顶部均设置有上观察窗（3.7），所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的侧壁均设置有侧观察窗（3.9），第一独立腔体底部开口处采用第一芯柱法兰（3.3）实现密封，所述的第一芯柱法兰（3.3）用于支撑A工件（3.4）以及对A工件（3.4）加电，第二独立腔体底部开口处采用第二芯柱法兰（3.13）实现密封，所述的第二芯柱法兰（3.13）用于支撑B工件（3.12）以及对B工件（3.12）加电，第三独立腔体底部开口处采用第三芯柱法兰（3.14）实现密封，所述的第三芯柱法兰（3.14）用于支撑组合工件（3.1）以及对组合工件（3.1）加电，所述的真空腔体（3.10）通过连接气道（3.15）与抽真空系统（5）连通。/n...

【技术特征摘要】
1.一种真空转移台，其特征在于：包括结构框架（1）和操作单元（6），所述的结构框架（1）边缘固定安装有烘箱悬臂（2），所述的结构框架（1）上表面固定安装有加热烘箱（3），所述的烘箱悬臂（2）与加热烘箱（3）传动连接，所述的烘箱悬臂（2）用于带动加热烘箱（3）开启和闭合，所述的加热烘箱（3）安装有真空腔体系统（4），所述的真空腔体系统（4）与抽真空系统（5）连通，所述的抽真空系统（5）用于将真空腔体系统（4）内部空间抽成真空环境；
所述的加热烘箱（3）包括固定安装在结构框架（1）上的烘箱隔热板（3.2），所述的烘箱隔热板（3.2）上方设置有可分离的加热烘箱（3.6），所述的烘箱隔热板（3.2）和加热烘箱（3.6）可拼接形成独立空间，所述的加热烘箱（3.6）内设置有真空腔体（3.10），所述的真空腔体（3.10）包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；
第一独立腔体内设置有A工件（3.4），第二独立腔体内设置有B工件（3.12），第三独立腔体设置在第一独立腔体和第二独立腔体之间，所述的第三独立腔体用于放置由A工件（3.4）和B工件（12）形成的组合工件（3.1），第一磁力传递杆（3.5）一端穿过第一独立腔体侧壁与A工件（3.4）传动连接，第二磁力传递杆（3.11）一端穿过第二独立腔体侧壁与B工件（3.12）传动连接，所述的第一磁力传递杆（3.5）与第一独立腔体侧壁的连接处密封连接，所述的第二磁力传递杆（3.11）与第二独立腔体侧壁的连接处密封连接；
所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体顶部均设置有上观察窗（3.7），所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的侧壁均设置有侧观察窗（3.9），第一独立腔体底部开口处采用第一芯柱法兰（3.3）实现密封，所述的第一芯柱法兰（3.3）用于支撑A工件（3.4）以及对A工件（3.4）加电，第二独立腔体底部开口处采用第二芯柱法兰（3.13）实现密封，所述的第二芯柱法兰（3.13）用于支撑B工件（3.12）以及对B工件（3.12）加电，第三独立腔体底部开口处采用第三芯柱法兰（3.14）实现密封，所述的第三芯柱法兰（3.14）用于支撑组合工件（3.1）以及对组合工件（3.1）加电，所述的真空腔体（3.10）通过连接气道（3.15）与抽真空系统（5）连通。


2.根据权利要求1所述的一种真空转移台，其特征在于：所述的第一磁力传递杆（3.5）和第二磁力传递杆（3.11）均沿第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的排列方向设置，所述的第一磁力传递杆（3.5）的轴心位于第一独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第二磁力传递杆（3.11）的轴心位于第二独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第一磁力传递杆（3.5）能够带动A工件（3.4）在水平和竖直方向上移动，所述的第二磁力传递杆（11）能够带动B工件（3.12）在水平和竖直方向上移动。


3.根据权利要求2所述的一种真空转移台，其特征在于：所述的第一芯柱法兰（3.3）、第二芯柱法兰（3.13）和第三芯柱法兰（3.14...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵勇，袁志耀，王芳，
申请(专利权)人：南京杉捷鑫电气科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32