【技术实现步骤摘要】
一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置
本技术属于测量装置
，具体涉及一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置。
技术介绍
精密主轴系统简称为精密轴系，在精密加工设备及精密测量仪器上都有应用，如数控机床、光电经炜仪、测角仪以及精密转台等机械结构。精密轴系的回转精度决定了精密设备的性能及价值，也决定了一个国家精密加工及精密测量的技术水平。在精密轴系工作时，主轴与轴承之间油膜厚度、轴承可倾瓦块摆动及轴颈的振动是影响轴系工作稳定性的主要因素。因此在轴系工作时对润滑油膜厚度、可倾瓦块摆角及轴颈振动进行监测是非常具有意义的。电涡流位移传感器以其非接触、宽带宽、灵敏度高、可靠性高、适应恶劣工作环境等优点被广泛用于精密轴系的测量。目前对于电涡流位移传感器的标定大多是将被标定位移传感器固定在支架上通过手动旋转千分尺改变距离的方法进行标定。由于千分尺的测量精度为10μm，导致了对于电涡流位移传感器的标定精度较低，从而在进行检测时不够准确。同时，手动旋转的方法也不够方便，也容易为标定的准确性带来其他的影响。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置，解决了现有技术中存在的标定精度低、操作不便的问题。本技术所采用的技术方案是，一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置，包括相对设置的电涡流位移传感器、位移系统；位移系统包括压电晶体，压电晶体可伸缩的一端通过连接件与被测体固接；电涡流位移传感器与位移传感器显示器电性连接；压电晶体与压电控制器电性连接。本技术...
【技术保护点】
1.一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置，其特征在于：包括相对设置的电涡流位移传感器(1)、位移系统(2)；位移系统(2)包括压电晶体(3)，压电晶体(3)可伸缩的一端通过连接件(4)与被测体(5)固接；电涡流位移传感器(1)与位移传感器显示器(6)电性连接；压电晶体(3)与压电控制器(7)电性连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置，其特征在于：包括相对设置的电涡流位移传感器(1)、位移系统(2)；位移系统(2)包括压电晶体(3)，压电晶体(3)可伸缩的一端通过连接件(4)与被测体(5)固接；电涡流位移传感器(1)与位移传感器显示器(6)电性连接；压电晶体(3)与压电控制器(7)电性连接。
2.如权利要求1所述的精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置，其特征在于：所述电涡流位移传感器(1)与位移系统(2)为一体设计。
3.如权利要求2所述的精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置，其特征在于：所述电涡流位移传感器(1)与位移系统(2)的设置方式为，包括承载器(8)，承载器(8)相对的两侧面均开设有开孔，其中一侧面开设有开孔a(9)另一侧面开设有开孔b(10)；电涡流位移传感器(1)穿过...
【专利技术属性】
技术研发人员：王建磊，门川皓，王云龙，贾谦，崔亚辉，
申请(专利权)人：西安理工大学，
类型：新型
国别省市：陕西;61
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