【技术实现步骤摘要】
一种背管应力去除装置
本技术涉及应力去除领域，特别是涉及一种背管应力去除装置。
技术介绍
在工件的铸造、焊接、锻造、机械加工、热处理、校形等制造过程中，变形、力的作用和温度变化都会使工件内部产生残余应力，会导致一些不良的影响，如降低工件的实际承载能力、变形或尺寸变化、加速应力腐蚀、降低疲劳寿命等。因此，通过技术手段，消除材料的内部残余应力具有重要的工程应用价值，常见的残余应力消除方法有时效消除法、机械拉伸法、冷漠压法、深冷处理法、振动消除法等。对于靶材背管来说，去除应力也是本领域技术人员必须全过程持续关注的关键的问题。目前市场上旋转靶背管的最大长度接近4米，根据技术要求，4米左右的管靶整靶跳动不能超过0.5mm，同心度偏差0.2mm以内，这对背管的尺寸要求极高。应力会导致加工过程和成品后的弛豫变形，必须在每个环节加工完成后要做去除应力的处理。旋转靶背管现有的应力消除装置，结构复杂，使用成本高，精度差，不利于应力的完全去除，进而影响背管的使用和靶材成品率。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一...
【技术保护点】
1.一种背管应力去除装置，其特征在于：包括工作平台、控制机构，所述工作平台下连接有底座，所述底座内设置有振动机构，所述工作平台上表面两端相对布置有存放机构，所述工作平台一侧还安装有电机机构，所述电机机构电接于振动机构，所述控制机构电接于振动机构，还包括有用于检测振动频率的振动传感器。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种背管应力去除装置，其特征在于：包括工作平台、控制机构，所述工作平台下连接有底座，所述底座内设置有振动机构，所述工作平台上表面两端相对布置有存放机构，所述工作平台一侧还安装有电机机构，所述电机机构电接于振动机构，所述控制机构电接于振动机构，还包括有用于检测振动频率的振动传感器。
2.根据权利要求1所述的一种背管应力去除装置，其特征在于：所述存放机构包括有安装板、固定于安装板上的若干个弧形托块，所述安装板两端还设置有用于固定或移动存放机构的固定装置。
技术研发人员：兰冰，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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