【技术实现步骤摘要】
湿度传感器及其制备方法、可穿戴湿度传感系统和应用
本专利技术属于柔性电子器件的制备
，尤其涉及一种湿度传感器及其制备方法、可穿戴湿度传感系统和应用。
技术介绍
可穿戴电子技术因其在物联网(IoT)中的重要应用而受到广泛关注，例如人机交互和远程医疗监控等。对于可穿戴电子系统，智能传感器起着关键作用，因为它们可以有效地将来自人体的各种信号“转换”为机器可以识别的信息。因此，开发具有高灵敏度和快速响应的各种智能传感器尤为重要。传统传感器通常检测直接接触中的信号，例如压力传感器，应变传感器等。然而，直接接触传感不仅会带来不可避免的机械磨损，还会限制其在更广范围例如在有毒或有害环境中应用。为了克服这些缺点以满足多样的应用需求，柔性非接触湿度传感器成为现有传感器的一个重要补充。众多科学研究者已经开始了对基于不同湿敏材料的湿度传感器的研究并取得了一定的进展，但是在材料稳定性和传感性能方面都还有一些局限性，例如材料易受环境影响，复杂的制备工艺，较高的使用条件等；另外目前它们在可穿戴电子中应用的研究还很少。因此，进一步研究低成本...
【技术保护点】
1.一种湿度传感器，包括：/n衬底；/n电极，其设置在衬底上；以及/n湿敏材料，其在电极上形成纳米探测阵列。/n
【技术特征摘要】
1.一种湿度传感器，包括：
衬底；
电极，其设置在衬底上；以及
湿敏材料，其在电极上形成纳米探测阵列。
2.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，
所述电极为双端电极结构，所述电极两端呈齿状交替排列；
所述衬底为柔性衬底。
3.根据权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于，
所述湿度传感器的响应时间小于0.3秒、回复时间小于0.5秒；
所述衬底采用的材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中的任一种；
所述电极采用的材料包括金、银、铜、氧化铟锡中的任一种；
所述电极的厚度为50至60纳米；
所述湿敏材料包括三氧化钼纳米片。
4.一种湿度传感器的制备方法，包括：
在衬底上制备电极；
在制备好电极的衬底上制备湿敏材料，即得到所述湿度传感器。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，
所述湿敏材料包括三氧化钼纳米片。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，
所述三氧化钼纳米片的制备方法包括：
将四水...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈国震，史瑞龙，杨珏晗，娄正，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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