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湿度传感器及其制备方法、可穿戴湿度传感系统和应用技术方案
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下载湿度传感器及其制备方法、可穿戴湿度传感系统和应用的技术资料
文档序号:23623794
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一种湿度传感器及其制备方法、可穿戴湿度传感系统和应用,该湿度传感器包括衬底;电极,其设置在衬底上;以及湿敏材料,其在电极上形成纳米探测阵列。本发明所采用的制备MoO...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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