下载湿度传感器及其制备方法、可穿戴湿度传感系统和应用的技术资料

文档序号:23623794

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种湿度传感器及其制备方法、可穿戴湿度传感系统和应用,该湿度传感器包括衬底;电极,其设置在衬底上;以及湿敏材料,其在电极上形成纳米探测阵列。本发明所采用的制备MoO...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。