【技术实现步骤摘要】
一种红外探测器及其制备方法
本专利技术涉及集成电路及逻辑电路的设计领域，具体涉及一种红外探测器。
技术介绍
微机电系统(MicroElectromechanicalSystem，简称MEMS)全程是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、执行器和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。红外探测器是热成像系统的核心部件，是探测、识别和分析物体红外信息的关键，在军事、工业、交通、安防监控、气象、医学等各行业具有广泛的应用。红外探测器的优势在于灵敏度高，能够分辨更细微的温度差别，探测距离较远，主要应用于高端军事装备，并且，红外探测器具有体积小、质量轻、功耗小、寿命长、成本低、启动快等优点。近年来，随着红外探测器技术的不断进步和制造成本的逐渐下降，其性价比快速提...
【技术保护点】
1.一种红外探测器，包括由像元阵列组合而成的传感单元，所述像元包括微桥谐振腔、像元电阻、位于每个所述微桥谐振腔下方的反射层模块、以及微桥支撑和电连接孔模块；其中，所述微桥支撑和电连接孔模块用于与其相应的像元电阻电连接；其特征在于，所述像元阵列中的每个所述反射层模块物理地连接成一片，所述微桥支撑和电连接孔模块与所述反射层模块物理地分隔设置；根据共享模式，所述像元阵列中相邻行且同一列或相邻列且相邻行的所述像元电阻共享一个所述微桥支撑和电连接孔模块，其中，所述共享模式包括交叉共享模式和平行共享模式；所述交叉共享模式为相邻两行的像元电阻交叉共享一个所述微桥支撑和电连接孔模块，所述平...
【技术特征摘要】
1.一种红外探测器，包括由像元阵列组合而成的传感单元，所述像元包括微桥谐振腔、像元电阻、位于每个所述微桥谐振腔下方的反射层模块、以及微桥支撑和电连接孔模块；其中，所述微桥支撑和电连接孔模块用于与其相应的像元电阻电连接；其特征在于，所述像元阵列中的每个所述反射层模块物理地连接成一片，所述微桥支撑和电连接孔模块与所述反射层模块物理地分隔设置；根据共享模式，所述像元阵列中相邻行且同一列或相邻列且相邻行的所述像元电阻共享一个所述微桥支撑和电连接孔模块，其中，所述共享模式包括交叉共享模式和平行共享模式；所述交叉共享模式为相邻两行的像元电阻交叉共享一个所述微桥支撑和电连接孔模块，所述平行共享模式为相邻两行且相邻列的像元电阻平行共享一个所述微桥支撑和电连接孔模块；所述相邻行且同一列的像元电阻共享端一端接接电源端或接地端，另一端接盲元电阻。
2.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述共享模式为交叉共享模式，从上到下，在奇数行的每个像元电阻的一端与位于所述像元电阻对应位置反射层模块左上角的微桥支撑和电连接孔模块连接，另一端与位于所述像元电阻对应位置反射层模块右下角的微桥支撑和电连接孔模块连接；在偶数行的每个像元电阻的一端与位于所述像元电阻对应位置反射层模块右上角的微桥支撑和电连接孔模块连接，另一端与位于同一反射层模块左下角的微桥支撑和电连接孔模块连接。
3.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述共享模式为交叉共享模式，从上到下，在奇数行的每个像元电阻的一端与位于所述像元电阻对应位置反射层模块右上角的微桥支撑和电连接孔模块连接，另一端与位于所述像元电阻对应位置反射层模块左下角的微桥支撑和电连接孔模块连接；在偶数行的每个像元电阻的一端与位于所述像元电阻对应位置反射层模块左上角的微桥支撑和电连接孔模块连接，每另一端与位于所述像元电阻对应位置反射层模块右下角的微桥支撑和电连接孔模块连接。
4.根据权利要求1所述的红外探测器，其特征在于，所述共享模式为平行共享模式，从上到下，在奇数行的每个像元电阻的一端与位于所述像元电阻对应位置反射层模块右上角的微桥支撑和电连接孔模块连接，另一端与位于所述像元电阻对应位置反射层模块左下角的微桥支撑和电连接孔模块连接；在偶数行的每个像元电阻的一端...
【专利技术属性】
技术研发人员：康晓旭，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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