下载一种红外探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:23623505

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种红外探测器及其制备方法,该红外探测器包括由像元阵列组合而成的传感单元,像元包括微桥谐振腔、位于每个微桥谐振腔下方的反射层模块、以及微桥支撑和电连接孔模块;其中,微桥支撑和电连接孔模块用于实现所在像元电阻电连接的接触区域;像元阵列中的每个...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。