微型组件转移头、微型组件转移装置及微型组件显示设备制造方法及图纸

本申请提供一种微型组件转移头、微型组件转移装置以及微型组件显示设备。所述微型组件转移头包含承载面，承载面对应有微型组件取出范围，且微型组件取出范围为第一几何图形，第一几何图形至少包含一个锐角。其中第二几何图形由n个第一几何图形组成，第二几何图形至少包含一个直角，且第二几何图形的形状与第一几何图形的形状不同，n为大于1的正整数。

Micro assembly transfer head, micro assembly transfer device and micro assembly display device

【技术实现步骤摘要】
微型组件转移头、微型组件转移装置及微型组件显示设备
本申请是有关于一种微型组件转移头、微型组件转移装置以及微型组件显示设备，特别是关于一种能改善微型发光二极管转移效率的微型组件转移头以及微型组件转移装置，以及应用微型组件转移头以及微型组件转移装置制造的微型组件显示设备。
技术介绍
于现今的微型发光二极管(microLED)制造技术中，微型发光二极管在磊晶完成后，还需要利用转移头将微型发光二极管晶圆转移到接收基板上，以利进行后续的运输或加工作业。然而，由于微型发光二极管的尺寸是微米等级，逐一取出微型发光二极管必然十分耗时。为了提高转移时的效率，目前业界正努力研究能够以较大面积移转微型发光二极管的巨量转移(masstransfer)技术。举例来说，传统上会利用转移头的承载面多次接触晶圆，以批次取出附着于承载面的多个微型发光二极管。为了节省制程成本，通常会在晶圆内尽可能地制作更多数量的微型发光二极管，但是实务上并非晶圆内所有的微型发光二极管都能顺利被取出来。其原因之一是，晶圆的表面接近圆形，而传统转移头的承载面为矩形或正方形，从而因晶圆与承载面的形状不匹配，导致部分功能正常的微型发光二极管，仅因邻近晶圆的边缘而无法被取出。有鉴于此，业界需要一种新的转移头，能够更完整取出晶圆内的微型发光二极管，以提高晶圆的使用率。
技术实现思路
有鉴于此，本申请提出一种微型组件转移头，改良了微型组件转移头中的承载面，减少微型组件因邻近晶圆的边缘而无法被取出的情况，从而提高了晶圆的使用率。本申请提供一种微型组件转移头，所述微型组件转移头包含承载面。承载面对应有微型组件取出范围，且微型组件取出范围为第一几何图形，第一几何图形至少包含一个锐角。其中第二几何图形由n个第一几何图形组成，第二几何图形至少包含一个直角，且第二几何图形的形状与第一几何图形的形状不同，n为大于1的正整数。于一些实施例中，当承载面接触晶圆的表面时，承载面可以用来取出位于表面且在微型组件取出范围内的多个微型组件。在此，第一几何图形可以为三角形，第二几何图形可以为矩形，并且第一几何图形可以更包含直角，此时n为偶数。此外，第一几何图形也可以为扇形，第二几何图形也可以为圆形。本申请提供了一种微型组件转移装置，改良了微型组件转移头中的承载面，减少微型组件因邻近晶圆的边缘而无法被取出的情况，从而提高了晶圆的使用率。本申请提供一种微型组件转移装置，用以取出晶圆中的多个微型组件。所述微型组件转移装置包含载台以及微型组件转移头。载台用以设置晶圆。微型组件转移头位于载台的相对位置，微型组件转移头具有承载面，承载面对应有微型组件取出范围，且微型组件取出范围为第一几何图形。其中第一几何图形的第一端大致上对准于晶圆的中心位置。于一些实施例中，第一几何图形的第一端可以为锐角，且第一几何图形可以为三角形或扇形。此外，载台更可以用来旋转该晶圆，且当载台旋转晶圆时，晶圆的中心位置大致相同。本申请提供了一种微型组件显示设备，能够接收由微型组件转移头与微型组件转移装置批次转移来的多个微型组件，从而能够快速地完成微型组件的巨量转移。本申请提供一种微型组件显示设备，包含接收基板。所述接收基板具有显示面，显示面包含多个微型组件承载范围，且每一个微型组件承载范围为第一几何图形，第一几何图形至少包含锐角。其中每一个微型组件承载范围内包含多个微型组件，同一个微型组件承载范围内的微型组件间隔第一间距，于不同的微型组件承载范围内的微型组件至少间隔第二间距，第一间距相异于第二间距。于一些实施例中，显示面更可以包含第二几何图形，第二几何图形由n个第一几何图形组成，第二几何图形至少包含直角，且第二几何图形的形状与第一几何图形的形状不同，其中n为大于1的正整数。此外，显示面的形状可以同形于第二几何图形。综上所述，本申请提供的微型组件转移头与微型组件转移装置，将微型组件取出范围的形状改成非矩形，使得微型组件取出范围可以更靠近晶圆的边缘，减少微型组件体因邻近晶圆的边缘而无法被取出的情况，从而提高了晶圆的使用率。此外，本申请提供的微型组件显示设备具有多个微型组件承载范围，每个微型组件承载范围都可以接收由微型组件转移头与微型组件转移装置批次转移来的多个微型组件，从而能够快速地完成微型组件的巨量转移。有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合附图说明如下。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1是依据本申请一实施例的微型组件转移装置的立体示意图；图2是依据本申请一实施例的微型组件取出范围的示意图；图3是依据现有技术的微型组件取出范围的示意图；图4是依据本申请另一实施例的微型组件取出范围的示意图；图5是依据本申请再一实施例的微型组件取出范围的示意图；图6是依据本申请又一实施例的微型组件取出范围的示意图；图7是依据本申请一实施例的微型组件显示设备的示意图。符号说明1微型组件转移装置10载台12微型组件转移头12a承载面120微型组件取出范围220微型组件取出范围320微型组件取出范围420微型组件取出范围9微型组件取出范围5微型组件显示设备50接收基板52显示面520微型组件承载范围522微型组件D1第一间距D2第二间距W晶圆具体实施方式有关本申请的前述及其它
技术实现思路
、特点与功效，在以下配合参考附图的一优选实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本申请。请参阅图1，图1是绘示依据本申请一实施例的转移装置的立体示意图。如图1所示，微型组件转移装置1可以包含载台10以及微型组件转移头12，并且可以用来取出晶圆W中的多个微型组件(图未示)。其中晶圆W可包含一临时基板(图未示)，上面配置有多个微型组件(图未示)，以暂时承载固定多个微型组件(图未示)以供后续转移。在此，载台10用于承载晶圆W，微型组件转移头12可以位于载台10的上方，并且微型组件转移头12朝向晶圆W的一侧可以定义为承载面12a。在此，承载面12a上可以用来取出微型组件，例如当承载面12a接触晶圆W时，便可以对应取出在微型组件取出范围120内的微型组件。值得一提的是，由于承载面12a在微型组件转移头12的一侧，如果从外部看向承载面12a时，亦即从远离承载面12a的另一侧，微型组件转移头12和承载面12a的外观(或轮廓)形状可以是同形，或是微型组件转移头12的外观形状包围的面积可以大于与承载面12a的面积，可让后续转移时的施力平均。于一个例子中，从外部看向承载面12a时，微型组件转移头本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型组件转移头，其特征在于，包含：/n一承载面，该承载面对应有一微型组件取出范围，且该微型组件取出范围为一第一几何图形，该第一几何图形至少包含锐角；/n其中一第二几何图形由n个该第一几何图形组成，该第二几何图形至少包含直角，且该第二几何图形的形状与该第一几何图形的形状不同，n为大于1的正整数。/n

【技术特征摘要】
1.一种微型组件转移头，其特征在于，包含：
一承载面，该承载面对应有一微型组件取出范围，且该微型组件取出范围为一第一几何图形，该第一几何图形至少包含锐角；
其中一第二几何图形由n个该第一几何图形组成，该第二几何图形至少包含直角，且该第二几何图形的形状与该第一几何图形的形状不同，n为大于1的正整数。


2.如权利要求1所述的微型组件转移头，其特征在于，当该承载面接触一晶圆的一表面时，该承载面用以取出位于该表面且在该微型组件取出范围内的多个微型组件。


3.如权利要求1所述的微型组件转移头，其特征在于，该第一几何图形为三角形，且该第二几何图形为矩形。


4.如权利要求3所述的微型组件转移头，其特征在于，该第一几何图形更包含直角，且n为偶数。


5.如权利要求4所述的微型组件转移头，其特征在于，该第一几何图形为直角三角形，且该第一几何图形的长边和短边的比值在1.25到5之间。


6.如权利要求1所述的微型组件转移头，其特征在于，该第一几何图形为扇形，且该第二几何图形为圆形。


7.如权利要求1所述的微型组件转移头，其特征在于，该微型组件转移头远离该承载面的一侧的形状相异于该第一几何图形。


8.如权利要求1所述的微型组件转移头，其特征在于，该微型组件转移头更受控于一控制指令调整该微型组件取出范围，使得该微型组件取出范围对应为一第三几何图形，该第三几何图形的面积相异于该第一几何图形的面积。


9.一种微型组件转移装置，用以取出一晶圆中的多个微型组件，其特征在于，包含：
一载台，用以设置该晶圆；以及
一微型组件转移头，位于该载台的一相对位置，该转移头具有一承载面，该承载面对应有一微型组件取出范围，且该微型组件取出范围为一第一几何图形；
其中该第一几何图形的一第一端大致上对准于该晶圆的中心位置。


10.如权利要求9所述的微型...

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉柱，陈培欣，史诒君，陈奕静，
申请(专利权)人：錼创显示科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71