氨气的水气去除装置制造方法及图纸

本发明专利技术为一种氨气的水气去除装置，包括一液氨储存槽、一加热单元、至少一冷却单元及一输出管线。液氨储存槽包括一液体容置区及一气体容置区，其中加热单元连接液体容置区，并用以加热液体容置区内的液氨及水，使得液氨及水蒸发成为氨气及水气，并传送至气体容置区。冷却单元位于气体容置区，并用以冷却气体容置区的氨气的水气，其中水气会凝结在冷却单元的表面，并回流到液体容置区，而氨气则会通过输出管线输送至液氨储存槽的外部。通过本发明专利技术所述的水气去除装置，将可有效去除氨气中的水气，并提高输出的氨气的纯度。

Water gas removal device of ammonia

【技术实现步骤摘要】
氨气的水气去除装置
本专利技术是有关于一种氨气的水气去除装置，可有效去除氨气中的水气，以提高输出氨气的纯度。
技术介绍
氨气是半导体制程中重要的材料，以发光二极体(LED)为例，纯氨是制造LED的氮化镓晶体的重要材料，一般LED厂使用的纯氨虽为6N5(99.99995％)以上的等级。氨气通常会在高压低温的条件下，以液态的方式存放在储存槽中。在使用时仅需要开启连接储存槽的管线，便可输出纯氨。然而在实际应用时，液氨中通常会存在部分的水，当开启连接储存槽的管线时，液氨中的水亦会蒸发为水气，并与氨气一同由连接储存槽的管线输出。当输出的氨气具有水气时，势必会降低氨气的纯度，并有可能会后续的制程造成不利的影响，进而降低制程的良率。
技术实现思路
本专利技术提出一种氨气的水气去除装置，主要用以去除氨气中的水气，以提高氨气的纯度。本专利技术提出一种氨气的水气去除装置，主要在一液氨储存槽中设置至少一冷却单元及至少一加热单元。加热单元直接或间接接触液氨储存槽内的液氨及水，并用以提高液氨及水的温度，使得液氨及水蒸发成为氨气及水气。加热单元不接触液氨储存槽内的液氨，并用以降低氨气及水气的温度，使得水气凝结在加热单元的表面，以去除氨气中的水气。本专利技术提出一种氨气的水气去除装置，其中冷却单元包括一管线及一导热板，并位于液氨储存槽的气体容置区内。管线用以输送一冷却流体，以降低管线及导热板的温度。输送至气体容置区的水气及氨气会与管线及导热板接触，使得水气在管线及导热板的表面凝结成水，并回流至液氨储存槽的液体容置区，而去除水气的氨气则由连接气体容置区的管线导出。为了达到上述的目的，本专利技术提出一种氨气的水气去除装置，包括：一液氨储存槽，包括一液体容置区及一气体容置区，其中液体容置区流体连接气体容置区，且液体容置区用以存放一液氨及一水；一加热单元，连接液氨储存槽，并用以加热液氨储存槽内的液氨，使得液氨及水受热形成一氨气及一水气，其中氨气及水气传送至气体容置区；至少一冷却单元，位于气体容置区内，并用以冷却气体容置区的氨气及水气，并包括：一管体，用以输送一冷却流体；至少一导热板，连接管体，其中管体及导热板与气体容置区内的氨气及水气接触，并降低氨气及水气的温度，使得水气凝结在管体及导热板的表面；及一输出管线，连接气体容置区，并用以输送气体容置区内的氨气。所述的氨气的水气去除装置，其中冷却单元的数量为复数个。所述的氨气的水气去除装置，其中复数个冷却单元在气体容置区内排列成复数层的冷却构造，设置在相同高度的两个相邻的冷却单元之间具有一间隙，而设置在不同高度的冷却单元则位于间隙上方。所述的氨气的水气去除装置，其中管体及导热板为金属材质，且冷却单元的导热板为连接管体表面的一散热鳍片。所述的氨气的水气去除装置，其中冷却单元的导热板包括一弯折部，弯折位于导热板的一侧边，并朝液体容置区的方向凸出或弯折。所述的氨气的水气去除装置，其中加热单元为一电热器或一加热管，电热器或加热器位于液体容置区内，并接触液体容置区内的液氨。所述的氨气的水气去除装置，其中加热单元为一热水套，热水套设置在液氨储存槽的液体容置区的一外表面，并通过液氨储存槽加热液体容置区内的液氨。所述的氨气的水气去除装置，包括至少一输入管线连接液体容置区，并用以传输液氨及水至液体容置区。所述的氨气的水气去除装置，其中气体容置区位于液体容置区上方，而输出管线则位于冷却单元的上方。本专利技术的有益效果在于：本专利技术提供一种氨气的水气去除装置，将可有效去除氨气中的水气，并提高输出的氨气的纯度。附图说明图1为本专利技术氨气的水气去除装置一实施例的立体示意图。图2为本专利技术氨气的水气去除装置又一实施例的立体示意图。图3为本专利技术氨气的水气去除装置又一实施例的立体示意图。图4为本专利技术氨气的水气去除装置又一实施例的立体示意图。图5为本专利技术氨气的水气去除装置又一实施例的剖面示意图。图6为本专利技术氨气的水气去除装置又一实施例的剖面示意图。附图标记10：氨气的水气去除装置；11：液氨储存槽；110：容置空间；111：液体容置区；113：气体容置区；12：液氨；13：冷却单元；131：管体；133：导热板；135：弯折部；14：间隙；15：加热单元；171：输出管线；173：输入管线；A1：截面积；A2：截面积。具体实施方式请参阅图1，为本专利技术氨气的水气去除装置一实施例的构造示意图。如图所示，本专利技术所述氨气的水气去除装置10包括一液氨储存槽11、至少一冷却单元13、至少一加热单元15及一输出管线171，液氨储存槽11用以存放一液氨12，其中液氨12中含有水。加热单元15连接液氨储存槽11，并用以加热液氨储存槽11存放的液氨12及水，使得液氨12及水的温度上升并蒸发为氨气及水气。在实际应用时可将液氨储存槽11区分为一液体容置区111及一气体容置区113，其中液体容置区111流体连接气体容置区113，并用以存放液氨12及水。在本专利技术实施例中，液体容置区111与气体容置区113的界线并非固定，基本上液氨储存槽11内存放液氨12及水的容置空间皆可被定义为液体容置区111，而液氨储存槽11内未存放液氨12及水的空间则被定义为气体容置区113。此外当液氨12及水的量减少时，液体容置区111的体积将会减少，而气体容置区113的体积则会增加。在本专利技术实施例中，如图1至图4所示，液氨储存槽11的外观为长方体，并具有一容置空间110，其中容置空间110的下半部用以存放液氨12及水，而容置空间110的上半部则不存放液氨12及水。因此容置空间110的下半部可定义为液体容置区111，而上半部则被定义为气体容置区113。此外液氨储存槽11的外观为长方体仅为本专利技术一实施例，在实际应用时液氨储存槽11的外观可为任意形状，例如为圆柱体。在本专利技术实施例中，加热单元15可连接液体容置区111，并与液体容置区111存放的液氨12及/或水直接或间接接触。如图1所示，加热单元15可为一电热器或一加热管，设置在液体容置区111内，并通过热传导的方式加热接触的液氨12及/或水。当加热单元15为加热管时，可连接一外部的高温流体供应器，并通过高温流体供应器将高温流体输送至加热管内，以提高加热管的温度，与加热管接触的液氨12及/或水的温度将会增加，并蒸发为氨气及水气。氨气及水气离开液氨12及/或液体容置区111，并传送到气体容置区113。冷却单元13设置在气体容置区113内，并与气体容置区113内的氨气及水气接触，以降低气体容置区113内的氨气及水气的温度。在实际应用时，冷却单元13的温度可低于摄氏0度，使得水气凝结在冷却单元13的表面，相对的氨气则不会凝结在冷却单元13上，藉此将以分离氨气及水气。冷却单元13主要包括一管体131及至少一导热板133，其中导热板133连接管体131的表面，例如导热板133的数量可为两个，并设置在管体131的两侧。管体131及本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氨气的水气去除装置，其特征在于，包括：/n一液氨储存槽，包括一液体容置区及一气体容置区，其中该液体容置区流体连接该气体容置区，且该液体容置区用以存放一液氨及一水；/n一加热单元，连接该液氨储存槽，并用以加热该液氨储存槽内的该液氨，使得该液氨及该水受热形成一氨气及一水气，其中该氨气及该水气传送至该气体容置区；/n至少一冷却单元，位于该气体容置区内，并用以冷却该气体容置区的该氨气及该水气，并包括：/n一管体，用以输送一冷却流体；/n至少一导热板，连接该管体，其中该管体及该导热板与该气体容置区内的该氨气及该水气接触，并降低该氨气及该水气的温度，使得该水气凝结在该管体及该导热板的表面；及/n一输出管线，连接该气体容置区，并用以输送该气体容置区内的该氨气。/n

【技术特征摘要】
1.一种氨气的水气去除装置，其特征在于，包括：
一液氨储存槽，包括一液体容置区及一气体容置区，其中该液体容置区流体连接该气体容置区，且该液体容置区用以存放一液氨及一水；
一加热单元，连接该液氨储存槽，并用以加热该液氨储存槽内的该液氨，使得该液氨及该水受热形成一氨气及一水气，其中该氨气及该水气传送至该气体容置区；
至少一冷却单元，位于该气体容置区内，并用以冷却该气体容置区的该氨气及该水气，并包括：
一管体，用以输送一冷却流体；
至少一导热板，连接该管体，其中该管体及该导热板与该气体容置区内的该氨气及该水气接触，并降低该氨气及该水气的温度，使得该水气凝结在该管体及该导热板的表面；及
一输出管线，连接该气体容置区，并用以输送该气体容置区内的该氨气。


2.根据权利要求1所述的氨气的水气去除装置，其特征在于，其中该冷却单元的数量为复数个。


3.根据权利要求2所述的氨气的水气去除装置，其特征在于，其中该复数个冷却单元在该气体容置区内排列成复数层的冷却构造，设置在相同高度的两个相邻的该冷却单元之间具有一间隙，而设置在不同高度的该冷却单元则位于该间隙上方。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘昌吉，
申请(专利权)人：苏容婵，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71