氨气浓度提升装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为一种氨气浓度提升装置，包括一外壳体、复数个板槽及一冷却单元。复数个板槽以层叠的方式设置于外壳体的容置空间内，并将容置空间区隔成为一流动空间。外壳体的下方连接至少一气体输入端及至少一液体输出端，而外壳体的上方则连接至少一气体输出端。由气体输入端进入的低浓度氨气会经由流动空间传输至气体输出端，其中低浓度氨气沿着流动空间输送时温度会逐渐下降，使得低浓度氨气中的水气凝结，以提高氨气的浓度，并可由气体输出端输出高浓度氨气。

Ammonia concentration elevator

【技术实现步骤摘要】
氨气浓度提升装置
本技术是有关于一种氨气浓度提升装置，其中低浓度氨气在传输时温度会逐渐下降，使得氨气中的水气凝结成水溶液，借此以提高氨气的浓度。
技术介绍
氨气是半导体制程中重要的材料，以发光二极体(LED)为例，纯氨是制造LED的氮化镓晶体的重要材料，一般LED厂使用的纯氨虽为6N5(99.99995％)以上的等级，但纯氨仍无法避免含有微量的有机物，例如丙酮、异丙醇、甲烷、乙烷、丙烷、乙烯、丙烯等等。当LED厂以MOCVD制程在高温下(750～1050℃)合成氮化镓时，有机物将会裂解为烷类、烯类、一氧化碳、二氧化碳、碳粒、烯酮等等的衍生杂质。这些衍生杂质会使氮化镓晶体产生差排，形成晶体的缺陷，而至使氮化镓的生产良率降低。然而，要去除纯氨中所含的微量有机物目前仍是极难克服的技术问题。在另一方面，每提供100公斤的纯氨进入LED制程，将会有80公斤的氨气被排出制程，而一般排出制程的氨气浓度约为10％～15％，并包括氢气、氮气、甲烷、微量气体(一氧化碳、二氧化碳、烯酮)及粒状物(碳粒及金属镓)，一般大都将这些排出的氨气视为废弃物而不再利用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种氨气浓度提升装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氨气浓度提升装置，其特征在于，包括：复数个板槽，以层叠的方式设置，该板槽包括一板体及至少一侧板，其中该板体包括一上表面及一下表面，而该侧板设置于该板体的该上表面，使得该侧板与该板体的该上表面之间形成至少一容置槽；一外壳体，包括复数个壳板、至少一气体输入端、至少一气体输出端及至少一液体输出端，该复数个壳板内具有一容置空间，该层叠设置的板槽设置于该容置空间内，并将该容置空间区隔成为一流动空间，其中该气体输入端、该气体输出端及该液体输出端流体连通该流动空间；及一冷却单元，位于层叠设置的该复数个板槽的上方。

【技术特征摘要】
1.一种氨气浓度提升装置，其特征在于，包括：复数个板槽，以层叠的方式设置，该板槽包括一板体及至少一侧板，其中该板体包括一上表面及一下表面，而该侧板设置于该板体的该上表面，使得该侧板与该板体的该上表面之间形成至少一容置槽；一外壳体，包括复数个壳板、至少一气体输入端、至少一气体输出端及至少一液体输出端，该复数个壳板内具有一容置空间，该层叠设置的板槽设置于该容置空间内，并将该容置空间区隔成为一流动空间，其中该气体输入端、该气体输出端及该液体输出端流体连通该流动空间；及一冷却单元，位于层叠设置的该复数个板槽的上方。2.根据权利要求1所述的氨气浓度提升装置，其特征在于，其中相邻的该板槽之间具有一间隔空间。3.根据权利要求2所述的氨气浓度提升装置，其特征在于，其中相邻的该板槽分别连接该外壳体的相面对的两个壳板，并于该板槽与该壳板之间形成一连通道，且该间隔空间及连通道形成该流动空间。4.根据权利要求1所述的氨气浓度提升装置，其特征在于，其中该侧板、该板体的上表面及该外壳体的该壳板形成该容置槽。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘昌吉，
申请(专利权)人：苏容婵，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71