一种扩散炉清洗方法技术

本发明专利技术公开了一种扩散炉清洗方法，包括以下步骤：A、将炉管放置在清洗槽内滚轮上；B、配置HF溶液,使用注口漏斗，将HF溶液注入炉管内，保证炉管内液位在炉管水平中心线以上；C、使用保险膜封住进气口球碗，避免酸性溶液挥发；D、启动旋转电机，使炉管匀速转动；E、待炉管内壁处理干净后排空酸性溶液，将槽体内进水管，插入进气口球碗内，开启水阀及排液阀，并旋转炉管，对炉管进行漂洗；F、待炉管出气口的排水水质达到工艺要求后，停止漂洗，将炉管放置到洁净处进行晾干待用，本发明专利技术能够避免损伤炉管外涂层，并且在经济效益上减少浪费，节约成本。

A cleaning method of diffusion furnace

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉清洗方法
本专利技术涉及扩散炉清洗
，具体为一种扩散炉清洗方法。
技术介绍
原先的炉管清洗方法是采用整体浸泡处理，具体处理方式为1、将待处理的炉管放在清洗槽滚轮上；2、在槽内配置1：10(HF:H2O)氢氟酸溶液，浸没炉管；3、开启旋转电机，使炉管在酸性溶液中转动，4、炉管管壁处理干净后停止转动；5、排尽槽内酸性溶液，开启水阀冲水，继续转动炉管；6、待水质达到13MΩ时，排尽槽内水，炉管晾干待装；此方法存在如下缺陷：1、浸泡式酸处理容易损伤炉管外表面的耐高温涂层，从而缩短炉管使用寿命；2、浸泡式处理浪费化学试剂和水。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种扩散炉清洗方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种扩散炉清洗方法,包括以下步骤：A、将炉管放置在清洗槽内滚轮上；B、配置HF溶液,使用注口漏斗，将HF溶液注入炉管内，保证炉管内液位在炉管水平中心线以上；C、使用保险膜封住进气口球碗，避免酸性溶液挥发；D、启动旋转电机，使炉管匀速转动；E、待炉管内壁处理干净后排空酸性溶液，将槽体内进水管，插入进气口球碗内，开启水阀及排液阀，并旋转炉管，对炉管进行漂洗；F、待炉管出气口的排水水质达到工艺要求后，停止漂洗，将炉管放置到洁净处进行晾干待用。优选的，所述步骤B中HF溶液由氢氟酸：去离子水＝1:10配置而成。优选的，所述步骤D中旋转电机转速为80-120转/分。优选的，所述步骤E中漂洗时长为30min-50min。优选的，所述步骤F中排水水质达到13MΩ-14MΩ时停止漂洗。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术对原先处理工艺经行改进，将整体浸泡式清洗改为炉管内部清洗，药液与水只需没过炉管中线，无需注满槽体；能够避免损伤炉管外涂层，并且在经济效益上减少浪费，节约成本。具体实施方式下面对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例一：本专利技术提供如下技术方案：一种扩散炉清洗方法,包括以下步骤：A、将炉管放置在清洗槽内滚轮上；B、配置HF溶液,使用注口漏斗，将HF溶液注入炉管内，保证炉管内液位在炉管水平中心线以上；C、使用保险膜封住进气口球碗，避免酸性溶液挥发；D、启动旋转电机，使炉管匀速转动；E、待炉管内壁处理干净后排空酸性溶液，将槽体内进水管，插入进气口球碗内，开启水阀及排液阀，并旋转炉管，对炉管进行漂洗；F、待炉管出气口的排水水质达到工艺要求后，停止漂洗，将炉管放置到洁净处进行晾干待用。本实施例中，步骤B中HF溶液由氢氟酸：去离子水＝1:10配置而成。本实施例中，步骤D中旋转电机转速为80转/分。本实施例中，步骤E中漂洗时长为30min。本实施例中，步骤F中排水水质达到13MΩ时停止漂洗。实施例二：一种扩散炉清洗方法,包括以下步骤：A、将炉管放置在清洗槽内滚轮上；B、配置HF溶液,使用注口漏斗，将HF溶液注入炉管内，保证炉管内液位在炉管水平中心线以上；C、使用保险膜封住进气口球碗，避免酸性溶液挥发；D、启动旋转电机，使炉管匀速转动；E、待炉管内壁处理干净后排空酸性溶液，将槽体内进水管，插入进气口球碗内，开启水阀及排液阀，并旋转炉管，对炉管进行漂洗；F、待炉管出气口的排水水质达到工艺要求后，停止漂洗，将炉管放置到洁净处进行晾干待用。本实施例中，步骤B中HF溶液由氢氟酸：去离子水＝1:10配置而成。本实施例中，步骤D中旋转电机转速为120转/分。本实施例中，步骤E中漂洗时长为50min。本实施例中，步骤F中排水水质达到14MΩ时停止漂洗。实施例三：一种扩散炉清洗方法,包括以下步骤：A、将炉管放置在清洗槽内滚轮上；B、配置HF溶液,使用注口漏斗，将HF溶液注入炉管内，保证炉管内液位在炉管水平中心线以上；C、使用保险膜封住进气口球碗，避免酸性溶液挥发；D、启动旋转电机，使炉管匀速转动；E、待炉管内壁处理干净后排空酸性溶液，将槽体内进水管，插入进气口球碗内，开启水阀及排液阀，并旋转炉管，对炉管进行漂洗；F、待炉管出气口的排水水质达到工艺要求后，停止漂洗，将炉管放置到洁净处进行晾干待用。本实施例中，步骤B中HF溶液由氢氟酸：去离子水＝1:10配置而成。本实施例中，步骤D中旋转电机转速为85转/分。本实施例中，步骤E中漂洗时长为35min。本实施例中，步骤F中排水水质达到13MΩ时停止漂洗。实施例四：一种扩散炉清洗方法,包括以下步骤：A、将炉管放置在清洗槽内滚轮上；B、配置HF溶液,使用注口漏斗，将HF溶液注入炉管内，保证炉管内液位在炉管水平中心线以上；C、使用保险膜封住进气口球碗，避免酸性溶液挥发；D、启动旋转电机，使炉管匀速转动；E、待炉管内壁处理干净后排空酸性溶液，将槽体内进水管，插入进气口球碗内，开启水阀及排液阀，并旋转炉管，对炉管进行漂洗；F、待炉管出气口的排水水质达到工艺要求后，停止漂洗，将炉管放置到洁净处进行晾干待用。本实施例中，步骤B中HF溶液由氢氟酸：去离子水＝1:10配置而成。本实施例中，步骤D中旋转电机转速为110转/分。本实施例中，步骤E中漂洗时长为45min。本实施例中，步骤F中排水水质达到14MΩ时停止漂洗。实施例五：一种扩散炉清洗方法,包括以下步骤：A、将炉管放置在清洗槽内滚轮上；B、配置HF溶液,使用注口漏斗，将HF溶液注入炉管内，保证炉管内液位在炉管水平中心线以上；C、使用保险膜封住进气口球碗，避免酸性溶液挥发；D、启动旋转电机，使炉管匀速转动；E、待炉管内壁处理干净后排空酸性溶液，将槽体内进水管，插入进气口球碗内，开启水阀及排液阀，并旋转炉管，对炉管进行漂洗；F、待炉管出气口的排水水质达到工艺要求后，停止漂洗，将炉管放置到洁净处进行晾干待用。本实施例中，步骤B中HF溶液由氢氟酸：去离子水＝1:10配置而成。本实施例中，步骤D中旋转电机转速为90转/分。本实施例中，步骤E中漂洗时长为34min。本实施例中，步骤F中排水水质达到13MΩ时停止漂洗。实施例六：一种扩散炉清洗方法,包括以下步骤：A、将炉管放置在清洗槽内滚轮上；B、配置HF溶液,使用注口漏斗，将HF溶液注入炉管内，保证炉管内液位在炉管水平中心线以上；...

【技术保护点】
1.一种扩散炉清洗方法,其特征在于：包括以下步骤：/nA、将炉管放置在清洗槽内滚轮上；/nB、配置HF溶液,使用注口漏斗，将HF溶液注入炉管内，保证炉管内液位在炉管水平中心线以上；/nC、使用保险膜封住进气口球碗，避免酸性溶液挥发；/nD、启动旋转电机，使炉管匀速转动；/nE、待炉管内壁处理干净后排空酸性溶液，将槽体内进水管，插入进气口球碗内，开启水阀及排液阀，并旋转炉管，对炉管进行漂洗；/nF、待炉管出气口的排水水质达到工艺要求后，停止漂洗，将炉管放置到洁净处进行晾干待用。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉清洗方法,其特征在于：包括以下步骤：
A、将炉管放置在清洗槽内滚轮上；
B、配置HF溶液,使用注口漏斗，将HF溶液注入炉管内，保证炉管内液位在炉管水平中心线以上；
C、使用保险膜封住进气口球碗，避免酸性溶液挥发；
D、启动旋转电机，使炉管匀速转动；
E、待炉管内壁处理干净后排空酸性溶液，将槽体内进水管，插入进气口球碗内，开启水阀及排液阀，并旋转炉管，对炉管进行漂洗；
F、待炉管出气口的排水水质达到工艺要求后，停止漂洗，将炉管放置到洁净处进行晾干待用。
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【专利技术属性】
技术研发人员：崔文荣，
申请(专利权)人：江苏晟驰微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32