【技术实现步骤摘要】
一种便于组合的精密发射源座
本技术涉及发射源座
，具体为一种便于组合的精密发射源座。
技术介绍
随着社会经济的快速发展，离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极和阳极间电压的加速作用下，荷正电的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化；形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜，所以说这种形成干涉膜的方法与湃澎霍夫蒸发的方法相似。由于阴极表面被击出的材料主要是中性原子，如果离子碰撞的能量是低的，即在低的加速电压下，击出的原子数目是相当少的，可忽略不计；在高能离子的撞击下，即加速电压超过五百伏特，实际上每个离子能从靶材表面击出一个原子，从靶材表面溅出原子的速度，主要决定于靶材、加速电压，气压和气氛的性质。但是，现有的精密发射源座不便于组合，导致效率低，不方便调节离子溅射的角度；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种便于组合的精密发射源座。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种便于组合的精密发射源座，以解决上述
技术介绍
中提出的...
【技术保护点】
1.一种便于组合的精密发射源座，包括传输头（1），其特征在于：所述传输头（1）的一端安装有主体（2），所述主体（2）的上端设置有固定槽（3），所述固定槽（3）的下端设置有放置槽（5），所述固定槽（3）的两端均设置有第一螺纹孔（14），所述主体（2）的一侧安装有梯形滑块（6），所述主体（2）的另一侧设置有梯形滑槽（8），所述梯形滑槽（8）的一端安装有固定螺钉（4），所述主体（2）的内侧安装有限位板（15），所述限位板（15）的外表面设置有第二螺纹孔（16），所述主体（2）的下端安装有转轴（10），所述转轴（10）的外表面安装有轴承（11），所述轴承（11）的下端安装有齿轮盘（...
【技术特征摘要】
1.一种便于组合的精密发射源座，包括传输头（1），其特征在于：所述传输头（1）的一端安装有主体（2），所述主体（2）的上端设置有固定槽（3），所述固定槽（3）的下端设置有放置槽（5），所述固定槽（3）的两端均设置有第一螺纹孔（14），所述主体（2）的一侧安装有梯形滑块（6），所述主体（2）的另一侧设置有梯形滑槽（8），所述梯形滑槽（8）的一端安装有固定螺钉（4），所述主体（2）的内侧安装有限位板（15），所述限位板（15）的外表面设置有第二螺纹孔（16），所述主体（2）的下端安装有转轴（10），所述转轴（10）的外表面安装有轴承（11），所述轴承（11）的下端安装有齿轮盘（12），所述齿轮盘（12）的一端安装有齿轮柱（13），所述齿轮柱（13）的一端安装有旋转杆（7），所述旋转杆（7）的外表面安装有底座（9）。
2.根据权利要求1所述的一种便于组合的精密发射源座，其特征在于：所述传输头（1...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱艳，梁裕，王凤辉，
申请(专利权)人：安徽天匠精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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