邦定头组件制造技术

技术编号:23498563 阅读:25 留言:0更新日期:2020-03-13 13:22
邦定头组件,Y向后基座与邦定头连接板连接。Y向前基座上电机的同步带轮通过同步带连接吸嘴杆同步带轮。吸嘴杆在Z向基座中可转。上下台阶销分别设置Z向基座和Y向前基座,之间有压簧。吸嘴杆有吸头气路,一口在表面,另一在底部。吸嘴杆有芯片气路,一口在表面另一在底部。Z向基座后侧和向前基座前通过上下滑动副连接。吸嘴杆和气缸活塞固定。气缸和Y向前基座前部固定。缸体支架侧面孔位于活塞上方。Y向前基座有接触块,Z向基座有测高传感器。吸嘴杆下吸头放置板在直线运动机构上。吸头放置板设多个放置板孔放吸头。共用一个拾取邦定头只需要通过不同吸头自动切换,来达到拾取不同种类芯片的效果。

Bondhead assembly

【技术实现步骤摘要】
邦定头组件
本专利技术属于邦定机构领域,特别涉及邦定头组件,具体为多吸头自动切换芯片拾取邦定机构中的邦定头组件。
技术介绍
邦定机构,是集成电路芯片后道封装中必不可少的机构。邦定机构的作用是将芯片拾取后同涂胶完毕的基底(引线框架、陶瓷基板、玻璃板等)相粘结,实现两者的精准紧密结合以达到后续使用的需求。芯片来自于一整张完整尺寸的晶圆片,该整张晶圆片上刻有许多个预先设定好尺寸大小的电路,后续经过切割工序,被分割成一个个具有电路的独立芯片。分割后的芯片仍然整体粘接在UV膜上,机器工作过程中,需要通过一套上顶的机构和邦定机构协同作用将独立的芯片同整体脱离,达到拾取芯片的效果。后续通过摄像系统的准确定位,邦定机构的各轴移动来实现芯片同基底的精准粘接。传统的结构是邦定机构只有一种固定形式的邦定头来取片贴片。当面对不同种类的芯片需要切换各自对应的吸头的时候,需要人为停机,手动更换,再次调整机器状态。亦或是多组拾取邦定头和多组吸头组合好后全部整体安装到机器上。现有的芯片邦定机构,结构形式采取一个拾取邦定头和一种特定的吸头组合来实现取片贴片的功能。当切换产品规格种类时,需要设备停机,人为的手动更换吸头,设备停机加上人工更换吸头,再次调整设备状态,需要花费一部分时间,这样就造成了产能的降低。另外一种形式采取的是多组上述形式的组合方式,多组拾取邦定头和多组吸头各自固定搭配好后全部装载到机器设备上。这样就造成了执行机构带动的负载较大,电机所需要的性能也要大幅度提升,制造成本有所提高。而且当负载较大时,启停过程中难免会由于惯量较大而造成设备振动等问题,对整机系统造成额外的影响。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供邦定头组件,具有多个气路自动切换功能,达到实现快速高效的工作目的。采用的技术方案要点在于:吸嘴杆中的吸头气路拾取或者放开不同的吸头,芯片气路控制吸头拾取或者放开芯片,活塞气路控制接触芯片时候的力,实现拾取芯片过程中共用一个拾取邦定头组件,不需频繁更换,使用非常简便。邦定头组件,邦定头组件中的抓取头Y向前基座设置在抓取头Y向后基座中部,并通过铰接定位装置连接。伺服电机壳体固定在抓取头Y向前基座上。电机同步带轮设置在电机轴上,通过同步带连接吸嘴杆上的吸嘴杆同步带轮。一组向心轴承设置在抓取头Z向基座中,向心轴承套设在吸嘴杆上,吸嘴杆竖向设置,上下穿出抓取头Z向基座。上台阶销固定连接在抓取头Z向基座侧面。下台阶销固定连接在抓取头Y向前基座侧面。压缩弹簧套入到下台阶销上,压缩弹簧上端与抓取头Z向基座接触,压缩弹簧下端与下台阶销中部凸缘接触。吸嘴杆中设有吸头气路,吸头气路一个气口位于吸嘴杆表面,另一个气口位于吸嘴杆底部表面。吸嘴杆中还设有芯片气路,芯片气路一个气口位于吸嘴杆表面,另一个气口位于吸嘴杆底部表面。抓取头Z向基座的后侧面和抓取头Y向前基座前表面之间通过上下滑动副连接。抓取头Z向基座与上下滑动副滑动端固定。抓取头Y向前基座与上下滑动副固定端固定。在吸嘴杆上设置气缸,吸嘴杆和活塞固定连接。缸体支架和抓取头Y向前基座前部固定连接。缸体支架侧面孔位于活塞上方,衬套的下方。抓取头Y向前基座侧面固定有接触块。抓取头Z向基座侧面固定有测高传感器。测高传感器位于接触块上方。其优点在于:本邦定头组件可以自动切换不同的气路,实现控制拾取或者放下不同吸头,芯片,以及控制接触芯片时的力,不需频繁更换邦定头组件,使用非常简便。多吸头自动切换芯片拾取邦定机构是采取单个拾取邦定头和多组吸头相结合的新形式。拾取芯片过程中共用一个拾取邦定头,只需要通过不同种类吸头的自动切换这一简便方式,来达到拾取不同种类芯片的效果,可适用于将多种类芯片同多基底如:引线框架、陶瓷基板以及玻璃板等相结合的多种工况下,满足多吸头自动切换以对应多种类和多规格芯片的不同需求,实现快速高效的工作目的。本整体结构针对产品种类繁多且在不停机的状态下实现芯片拾取邦定自动切换的问题,对整套多吸头的邦定结构进行了创新。采取了一组拾取邦定头匹配多组执行吸头的方式。二者在整体移动的过程中,当对应不同种类芯片的时候,整体运动到摄像部拍摄后芯片的准确位置处,只需要通过吸头的自动切换,拾取邦定头同切换好的吸头相结合来达到拾取的功能,后续再整体移动到摄像拍摄后基底的准确位置处进行贴片。本整体结构专利技术通过创新既实现了拾取邦定多种类芯片的快速切换的功能变相提高了生产效率,又省去了传统机构笨重的方式,节约了设备的制造成本。多吸头自动切换芯片拾取邦定机构的便捷性和灵活性同传统的机构相比都有了很大的提升。既实现了拾取邦定多种类芯片的快速切换的功能变相提高了生产效率,又省去了传统机构笨重的方式,节约了设备的制造成本。是目前多种类芯片拾取邦定自动切换结构很好的改善形式。附图说明图1为本专利技术邦定头组件主视图。图2为本专利技术邦定头组件右视图。图3为本专利技术邦定头组件左视图。图4为本专利技术邦定头组件仰视图。图5为本专利技术邦定头组件俯视图。图6为图1中的A-A剖视图。图7为图6中的抓取头z向基座和气缸部位的局部放大图。图8为本专利技术的吸嘴杆的立体图。图9为本专利技术的吸嘴杆的主视图(有内部虚线示意气路)。图10为本专利技术的吸嘴杆的第一个方向的示意图。图11为本专利技术的吸嘴杆的第二个方向的示意图。图12为本专利技术的吸嘴杆的主视图(有内部虚线示意气路,并且标识了剖视方向)。图13为图12中的B-B剖视图。图14为图12中的C-C剖视图。图15为上台阶销、下台阶销和压缩弹簧的局部装配结构示意图。图16为多吸头自动切换芯片拾取邦定机构的主视图。图17为多吸头自动切换芯片拾取邦定机构的右视图。图18为图16中的D-D剖视图。图19为多吸头自动切换芯片拾取邦定机构的仰视图。图20为多吸头自动切换芯片拾取邦定机构的俯视图。抓取头z向基座1、向心轴承2、轴承内锁紧块3、轴承外锁紧块4.锁紧螺母5、滑轨6、交叉滚子7、抓取头Y向前基座8、Z向轴承上盖9、吸嘴杆同步带轮10、同步带11、缸体支架12、抓取头Y向后基座13、Y轴第一旋转调节锁紧块14、Y轴第二旋转调节锁紧块15、密封圈16、缸体支架盖片17、活塞18、调整销19、接头支架20、下台阶销21、上台阶销22、测高传感器固定块23、伺服电机24、电机同步带轮25、传感器片26、光电传感器27、吸嘴杆28、接触块29、测高传感器30、衬套31、第二接头32、压缩弹簧33、右侧螺栓34(M3)、右定位销子35(φ3mm)、右侧锁紧块螺栓36(M2.5)、第一接头37、连接板销子38(φ3mm)、第二接头39、邦定头连接板40、左侧螺栓41、上分气路42、下分气路43、通孔44、吸头45、缸体支架侧面孔46、直线导轨47、直线导轨支撑块48、吸头放置板本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.邦定头组件,邦定头组件中的抓取头Y向前基座(8)设置在抓取头Y向后基座(13)中部,并通过铰接定位装置连接;其特征在于:/n伺服电机(24)壳体固定在抓取头Y向前基座(8)上;/n电机同步带轮(25)设置在电机轴上,通过同步带(11)连接吸嘴杆(28)上的吸嘴杆同步带轮(10);/n一组向心轴承(2)设置在抓取头Z向基座(1)中,向心轴承(2)套设在吸嘴杆(28)上,吸嘴杆(28)竖向设置,上下穿出抓取头Z向基座(1);/n上台阶销(22)固定连接在抓取头Z向基座(1)侧面;/n下台阶销(21)固定连接在抓取头Y向前基座(8)侧面;/n压缩弹簧(33)套入到下台阶销(21)上,压缩弹簧(33)上端与抓取头Z向基座(1)接触,压缩弹簧(33)下端与下台阶销(21)中部凸缘接触;/n吸嘴杆(28)中设有吸头气路,吸头气路一个气口位于吸嘴杆(28)表面,另一个气口位于吸嘴杆(28)底部表面;/n吸嘴杆(28)中还设有芯片气路,芯片气路一个气口位于吸嘴杆(28)表面,另一个气口位于吸嘴杆(28)底部表面;/n抓取头Z向基座(1)的后侧面和抓取头Y向前基座(8)前表面之间通过上下滑动副连接;/n抓取头Z向基座(1)与上下滑动副滑动端固定;/n抓取头Y向前基座(8)与上下滑动副固定端固定。/n...

【技术特征摘要】
1.邦定头组件,邦定头组件中的抓取头Y向前基座(8)设置在抓取头Y向后基座(13)中部,并通过铰接定位装置连接;其特征在于:
伺服电机(24)壳体固定在抓取头Y向前基座(8)上;
电机同步带轮(25)设置在电机轴上,通过同步带(11)连接吸嘴杆(28)上的吸嘴杆同步带轮(10);
一组向心轴承(2)设置在抓取头Z向基座(1)中,向心轴承(2)套设在吸嘴杆(28)上,吸嘴杆(28)竖向设置,上下穿出抓取头Z向基座(1);
上台阶销(22)固定连接在抓取头Z向基座(1)侧面;
下台阶销(21)固定连接在抓取头Y向前基座(8)侧面;
压缩弹簧(33)套入到下台阶销(21)上,压缩弹簧(33)上端与抓取头Z向基座(1)接触,压缩弹簧(33)下端与下台阶销(21)中部凸缘接触;
吸嘴杆(28)中设有吸头气路,吸头气路一个气口位于吸嘴杆(28)表面,另一个气口位于吸嘴杆(28)底部表面;
吸...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙宇勤王云峰梁吉来于元涛
申请(专利权)人:大连佳峰自动化股份有限公司
类型:发明
国别省市:辽宁;21

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