应用于真空镀膜设备中的插板阀制造技术

本申请属于管道插板阀的技术领域，尤其涉及应用于真空镀膜设备中的插板阀。包括阀壳体、位于阀壳体内的阀芯机构以及驱动所述阀芯机构在阀壳体内运动的驱动机构，通过驱动机构带动阀芯机构在阀壳体内的移动，实现对管道连接口的开口大小调节，从而实现流量控制，而且在需要封堵时，通过活动支撑架改变阀板的运动方向，使其顶至一侧的管道连接口上实现封止，其即能调节流量，又能实现通止，使得插板阀的应用更为广泛，符合生产的需求，而且密封效果好。

Plug valve applied in vacuum coating equipment

【技术实现步骤摘要】
应用于真空镀膜设备中的插板阀
本专利技术属于管道插板阀的
，尤其涉及应用于真空镀膜设备中的插板阀。
技术介绍
真空管道插板阀由于其特殊的工作环境，使其具有很高的气密性要求。现有技术的管道插板阀主要有手动、气动和电动三大类。主要应用于各类流体的通止及流量控制。其中气动和电动可以实现远程控制，而气动是由气源带动气缸做直线运动，一般仅能实现通止功能，且存在气源不稳定的失效风险。一般的直插结构已经无法满足生产需要。
技术实现思路
为解决现有技术中真空管道插板阀仅能实现通止功能无法满足生产需要的问题，本专利技术提供了应用于真空镀膜设备中的插板阀。本专利技术是通过以下技术方案实现的：应用于真空镀膜设备中的插板阀，包括阀壳体、位于阀壳体内的阀芯机构以及驱动所述阀芯机构在阀壳体内运动的驱动机构，所述阀壳体两侧设有管道连接口，所述阀壳体内设有与管道连接口连通的空腔，所述阀芯机构位于空腔内，且所述阀芯机构包括阀板以及与所述阀板连接的活动支撑架，所述驱动机构驱动阀芯机构向前运动时，使阀板移动至两侧的管道连接口之间，且继续移动时所述活动支撑架将阀板顶起至其中一侧的管道连接口上形成密封。如上所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，所述阀板上还设有密封圈，且所述阀板被顶起后，所述密封圈被挤压且使阀壳体内侧与阀板之间得间隙密封。如上所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，所述活动支撑架包括底架、设于底架上的支撑架以及一端连接在支撑架上，另一端铰接在底架上的摆臂，所述阀板连接在所述支撑架的上端面，且所述摆臂摆动可带动支撑架远离底架上端面运动从而将阀板顶起。如上所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，所述底架外侧设有设有滚轮，且底架后侧与驱动机构连接。如上所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，所述支撑架的前端为从底架前端面伸出的顶头，使活动支撑架在向前的运动过程中，支撑架的顶头先于底架前端与阀壳体的内壁接触。如上所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，所述顶头的前端还设有滚动导向件。如上所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，所述底架上设有缺口，所述摆臂一端铰接在缺口内，且所述摆臂有4个，所述支撑架的两侧分别设有2个所述的摆臂。如上所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，所述底架的四角上还设有横向设置且与阀壳体两侧内壁接触的导轮。如上所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，所述阀壳体包括相互对接的上壳体和下壳体、设于上壳体和下壳体前端的前挡板以及设于上壳体和下壳体后端的端口板。如上所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，所述驱动机构为伺服电机驱动的电动缸。与现有技术相比，本专利技术有如下优点：1、本专利技术提供了应用于真空镀膜设备中的插板阀，通过驱动机构带动阀芯机构在阀壳体内的移动，实现对管道连接口的开口大小调节，从而实现流量控制，而且在需要封堵时，通过活动支撑架改变阀板的运动方向，使其顶至一侧的管道连接口上实现封止，其即能调节流量，又能实现通止，使得插板阀的应用更为广泛，符合生产的需求，而且密封效果好。2、本专利技术应用于真空镀膜设备中的插板阀，采用私服电动缸作为动力源带动阀芯实现直线运动，具有稳定、可调整位移、传动精度高的特点，而且具有远程控制的功能。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术应用于真空镀膜设备中的插板阀的结构示意图；图2为本专利技术应用于真空镀膜设备中的插板阀的结构爆炸图；图3为阀芯机构的结构示意图；图4为阀芯机构的结构爆炸图；图5为阀芯机构阀板被顶起后的结构示意图。【具体实施方式】为了使本专利技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。本专利技术是通过以下技术方案实现的：如图1至图5所示，应用于真空镀膜设备中的插板阀，包括阀壳体1、位于阀壳体1内的阀芯机构2以及驱动所述阀芯机构2在阀壳体1内运动的驱动机构3，所述阀壳体1两侧设有管道连接口11，所述阀壳体1内设有与管道连接口11连通的空腔，所述阀芯机构2位于空腔内，且所述阀芯机构2包括阀板21以及与所述阀板21连接的活动支撑架22，所述驱动机构3驱动阀芯机构2向前运动时，使阀板21移动至两侧的管道连接口11之间，且继续移动时所述活动支撑架22将阀板21顶起至其中一侧的管道连接口11上形成密封。本专利技术提供了应用于真空镀膜设备中的插板阀，通过驱动机构带动阀芯机构在阀壳体内的移动，实现对管道连接口的开口大小调节，从而实现流量控制，而且在需要封堵时，通过活动支撑架改变阀板的运动方向，使其顶至一侧的管道连接口上实现封止，其即能调节流量，又能实现通止，使得插板阀的应用更为广泛，符合生产的需求，而且密封效果好。进一步地，如图4所示，所述阀板21上还设有密封圈211，且所述阀板21被顶起后，所述密封圈211被挤压且使阀壳体1内侧与阀板21之间得间隙密封。本方案中，密封圈为O型圈，其口径大于管道连接口11的开口，使得在阀板21被顶起后，密封圈被挤压变形，相当于填充在阀板与阀壳体之间，从而从管道连接口11流入的流体被阀板阻挡的同时，阀板与阀壳体之间的间隙也被密封圈封堵，从而进一步阻挡流体从该间隙中流出，简单的结构提升密封效果。如图4所示，活动支撑架的具体结构为：所述活动支撑架22包括底架221、设于底架221上的支撑架222以及一端连接在支撑架222上，另一端铰接在底架221上的摆臂223，所述阀板21连接在所述支撑架222的上端面，且所述摆臂223摆动可带动支撑架222远离底架221上端面运动从而将阀板21顶起。通过摆臂223实现阀板的顶起，从而改变阀板的运动方向(不同于阀芯机构的整体运动方向)。具体地，所述支撑架222的前端为从底架221前端面伸出的顶头224，使活动支撑架22在向前的运动过程中，支撑架222的顶头224先于底架221前端与阀壳体1的内壁接触。摆臂223的摆动无需其他驱动机构控制，本方案中利用顶头224先与阀壳体的内壁接触，使得底壳继续前进的过程中，阀壳体内壁对顶头的反作用力推动支撑架222，使摆臂223摆动从而实现将阀板顶起。而且，所述顶头224的前端还设有滚动导向件225。本方案中所述滚动导向件225可采用深沟球轴承，在滚动导向件225与阀壳体内壁接触时，且底座继续前进的过程中，滚动导向件225导向支撑架向上运动的趋势，从而使摆臂摆动，一来提高的传动的可靠性，二来能够保护阀壳体内壁，将推压力转变为滚动。另外，所述底架221上设有缺口，所述摆臂223一端铰接在缺口内，且所述摆臂223有4个，所述支撑架222的两侧分别设有2个所述的摆臂223。使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.应用于真空镀膜设备中的插板阀，其特征在于，包括阀壳体(1)、位于阀壳体(1)内的阀芯机构(2)以及驱动所述阀芯机构(2)在阀壳体(1)内运动的驱动机构(3)，所述阀壳体(1)两侧设有管道连接口(11)，所述阀壳体(1)内设有与管道连接口(11)连通的空腔，所述阀芯机构(2)位于空腔内，且所述阀芯机构(2)包括阀板(21)以及与所述阀板(21)连接的活动支撑架(22)，所述驱动机构(3)驱动阀芯机构(2)向前运动时，使阀板(21)移动至两侧的管道连接口(11)之间，且继续移动时所述活动支撑架(22)将阀板(21)顶起至其中一侧的管道连接口(11)上形成密封。/n

【技术特征摘要】
1.应用于真空镀膜设备中的插板阀，其特征在于，包括阀壳体(1)、位于阀壳体(1)内的阀芯机构(2)以及驱动所述阀芯机构(2)在阀壳体(1)内运动的驱动机构(3)，所述阀壳体(1)两侧设有管道连接口(11)，所述阀壳体(1)内设有与管道连接口(11)连通的空腔，所述阀芯机构(2)位于空腔内，且所述阀芯机构(2)包括阀板(21)以及与所述阀板(21)连接的活动支撑架(22)，所述驱动机构(3)驱动阀芯机构(2)向前运动时，使阀板(21)移动至两侧的管道连接口(11)之间，且继续移动时所述活动支撑架(22)将阀板(21)顶起至其中一侧的管道连接口(11)上形成密封。


2.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，其特征在于，所述阀板(21)上还设有密封圈(211)，且所述阀板(21)被顶起后，所述密封圈(211)被挤压且使阀壳体(1)内侧与阀板(21)之间得间隙密封。


3.根据权利要求2所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，其特征在于，所述活动支撑架(22)包括底架(221)、设于底架(221)上的支撑架(222)以及一端连接在支撑架(222)上，另一端铰接在底架(221)上的摆臂(223)，所述阀板(21)连接在所述支撑架(222)的上端面，且所述摆臂(223)摆动可带动支撑架(222)远离底架(221)上端面运动从而将阀板(21)顶起。


4.根据权利要求3所述的应用于真空镀膜设备中的插板阀，其特征在于，所述底架(221)外侧设...

【专利技术属性】
技术研发人员：高文波，李小彭，
申请(专利权)人：广东生波尔光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44