用于金属纳米元件的激光焊接装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及用于金属纳米元件的激光焊接装置，沿光路依次布置：激光发生器，产生单色激光束；扩束镜，对激光发生器产生的单色激光束进行放大和准直；光闸，控制激光通过的时间；衰减器，调节激光功率的大小；1/4玻片，改变激光的偏振方向，将激光光束的线偏振转化为圆偏振；光阑，过滤激光光束的杂散光；扫描振镜，用以定位与扫描；聚焦镜，将激光光束进行聚焦形成聚焦光斑；三维运动平台，承载待焊接的金属纳米元件并调节焊接位置，聚焦光斑直接照射至待焊接的金属纳米元件表面。非接触式焊接，只对焊点位置几十纳米范围内进行局域加热，激光光斑聚焦到微米量级，聚焦光斑直径调控在1200nm以下，实现金属纳米尺度上的焊接。

Laser welding device for metal nano components

【技术实现步骤摘要】
用于金属纳米元件的激光焊接装置
本技术涉及一种用于金属纳米元件的激光焊接装置，属于激光精密微细加工

技术介绍
目前，激光精密微细加工是微纳制造技术的重要组成部分。在微纳加工领域，伴随先进制造技术的进步以及分析工具向更高精度的革新，纳米材料的形貌和特征变化，特别是材料的纳米焊接，催生出了一系列的新兴技术应用，如透明导电电极、薄膜太阳能电池、纳米催化、癌症治疗等。激光微、纳米加工是建立在激光与材料相互作用基础上，利用激光照射来改变材料的性质和物态，实现微米量级到纳米量级或者跨尺度的控形与控性。纳米科技的发展依赖于微纳尺度加工技术的发展，而纳米材料的焊接是目前纳米研究领域中亟待解决的热点和难点问题。随着纳米材料的不断应用和向前发展，纳米焊接技术也将发挥越来越重要的作用。纳米焊接是人们研发和制造许多纷繁复杂的多功能纳米光电器件和传感器的基础和关键技术之一。是纳米研究能提升到纳米科技水平，并真正能用于大规模地投入实际应用的根本和关键所在。目前纳米连接技术比较典型的有热板加热法、机械压力法、化学合成法、离子束照射法、光照诱导法等等。这些方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于金属纳米元件的激光焊接装置，其特征在于：沿光路依次布置：/n激光发生器(2)，产生单色激光束；/n扩束镜(3)，对激光发生器(2)产生的单色激光束进行放大和准直；/n光闸(4)，控制激光通过的时间；/n衰减器(5)，调节激光功率的大小；/n1/4玻片(6)，改变激光的偏振方向，将激光光束的线偏振转化为圆偏振；/n光阑(7)，过滤激光光束的杂散光；/n扫描振镜(8)，用以定位与扫描；/n聚焦镜(9)，将激光光束进行聚焦形成聚焦光斑；/n三维运动平台(10)，承载待焊接的金属纳米元件(11)并调节焊接位置，聚焦光斑直接照射至待焊接的金属纳米元件(11)表面。/n

【技术特征摘要】
1.用于金属纳米元件的激光焊接装置，其特征在于：沿光路依次布置：
激光发生器(2)，产生单色激光束；
扩束镜(3)，对激光发生器(2)产生的单色激光束进行放大和准直；
光闸(4)，控制激光通过的时间；
衰减器(5)，调节激光功率的大小；
1/4玻片(6)，改变激光的偏振方向，将激光光束的线偏振转化为圆偏振；
光阑(7)，过滤激光光束的杂散光；
扫描振镜(8)，用以定位与扫描；
聚焦镜(9)，将激光光束进行聚焦形成聚焦光斑；
三维运动平台(10)，承载待焊接的金属纳米元件(11)并调节焊接位置，聚焦光斑直接照射至待焊接的金属纳米元件(11)表面。


2.根据权利要求1所述的用于金属纳米元件的激光焊接装置，其特征在于：还包含用于控制激光发生器(2)产生单色激光、控制光闸(4)关闭或打开、控制扫描振镜(8)运动的控制单元(1)，控制单元(1)分别与激光发生器(2)、光闸(4)和扫描振镜(8)控制连接。


3.根据权利要求1所述的用于金属纳米元件的激光焊接装置，其特征在于：所述激光发生器(2)采用激光波长300nm～800nm、激光束直径0.5cm～1.3cm的脉冲激光器。


4.根据权利要求1所述的用于金属纳米元件的激光焊接装置，其特征在于：聚焦镜(9)安装在扫描振镜(8)上，将激光束汇聚为高能量密度的激光光斑。


5.根据权利要求1所述的用于金属纳米元件的激光焊接装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯爱新，刘勇，贾天代，陈欢，
申请(专利权)人：温州大学激光与光电智能制造研究院，
类型：新型
国别省市：浙江;33