【技术实现步骤摘要】
一种氮化铝粉微量元素测试的溶样方法
本专利技术属于微量元素溶解
,具体涉及一种氮化铝粉微量元素测试的溶样方法。
技术介绍
氮化铝(AlN)陶瓷具有优异的导热性能,与硅芯片接近的线膨胀系数,且无毒、绝缘,而成为理想的电子封装材料,应用前景十分广阔。AlN粉是制作AlN陶瓷产品的关键原材料,其性能直接影响着陶瓷产品的性能,微量杂质元素是衡量AlN粉性能优劣的一项关键指标,各种杂质元素含量达到500ppm以上,陶瓷产品的热导率将大幅度下降,甚至低于100W/m·K;因此,需要对微量杂质元素的种类、含量进行精准测试和控制,选择合适的测量方法至关重要。氮化铝粉体中微量元素的测定方法主要有:X射线荧光光谱(XRF)、X射线衍射(XRD)、原子吸收(AA)、电感耦合等离子体发射光谱(ICP-AES)和等离子-质谱联用(ICP-MS)等方法。XRF、XRD方法可以直接检测粉体样品中的元素,但属于定性半定量检测;AA、ICP-AES、ICP-MS方法可以精确测定溶液中微量和痕量元素,但需要将粉体样品消解完全后溶解在溶液中 ...
【技术保护点】
1.一种氮化铝粉微量元素测试的溶样方法,其特征在于,包括以下步骤,/n(1)干燥:将氮化铝粉置于烘箱中进行干燥,再将干燥的氮化铝粉转入干燥器中,冷却至室温;/n(2)消解:按质量体积比0.1:8~10称取干燥的氮化铝粉和浓酸,并放入消解罐中,超声5~10min,将消解罐装入微波消解仪中,先升温至140~160℃,恒温消解15~20min,再升温至200~220℃,恒温消解32~48min,消解完成后消解罐冷却至室温;/n(3)定容:将消解罐内的溶液全部转移至烧杯中,放至140~160℃的电热板上进行加热,直至烧杯中溶液剩余体积为步骤(2)中浓酸体积的25~35%,转移至容量 ...
【技术特征摘要】
1.一种氮化铝粉微量元素测试的溶样方法,其特征在于,包括以下步骤,
(1)干燥:将氮化铝粉置于烘箱中进行干燥,再将干燥的氮化铝粉转入干燥器中,冷却至室温;
(2)消解:按质量体积比0.1:8~10称取干燥的氮化铝粉和浓酸,并放入消解罐中,超声5~10min,将消解罐装入微波消解仪中,先升温至140~160℃,恒温消解15~20min,再升温至200~220℃,恒温消解32~48min,消解完成后消解罐冷却至室温;
(3)定容:将消解罐内的溶液全部转移至烧杯中,放至140~160℃的电热板上进行加热,直至烧杯中溶液剩余体积为步骤(2)中浓酸体积的25~35%,转移至容量瓶内摇...
【专利技术属性】
技术研发人员:张浩,田晨光,严睿文,孙登琼,郭军,党军杰,崔嵩,王宁,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十三研究所,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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