【技术实现步骤摘要】
一种柔性日盲紫外光电探测器及其制备方法
本专利技术涉及一种日盲紫外光电探测器领域，具体是指一种柔性日盲紫外光电探测器及其制备方法。
技术介绍
由于臭氧层的吸收，在地球表面几乎不存在波长介于200-280nm的深紫外光，该波段的光称为日盲紫外光，在该区域工作的光电探测器，即所谓的太阳盲光电探测器。由于不受太阳光背景的影响，日盲紫外探测可以全天候工作，具有灵敏度高、虚警率低的特点，在导弹预警跟踪、火箭尾焰探测、森林火情警报、臭氧层检测、医疗诊断、近地保密通讯、生物化学分析等众多领域具有许多广泛的应用。固态日盲紫外探测器要求半导体材料的禁带宽度大于4.4eV，目前以GaN、ZnO、SiC、金刚石和Ga2O3为代表的宽禁带半导体材料近年来发展迅速。尤其是Ga2O3的带隙约为4.9eV，是一种天然的日盲材料，为直接带隙的Ⅲ-VI族宽带隙半导体，且易于与Al2O3和In2O3形成连续固溶体实现其在日盲区的完全覆盖，同时具有良好的化学稳定性和热稳定性等特点是一种非常适合于制备日盲紫外光电探测器的氧化物半导体候选材料，近年来受到了科
【技术保护点】
1.一种柔性日盲紫外光电探测器，其特征在于，所述探测器包括柔性衬底、位于柔性衬底上的β-Ga
【技术特征摘要】
1.一种柔性日盲紫外光电探测器，其特征在于，所述探测器包括柔性衬底、位于柔性衬底上的β-Ga2O3纳米线和位于所述β-Ga2O3纳米线上的银电极。
2.根据权利要求1所述的柔性日盲紫外光电探测器，其特征在于，所述β-Ga2O3纳米线交叉沉积于所述柔性衬底上。
3.根据权利要求2所述的柔性日盲紫外光电探测器，其特征在于，所述β-Ga2O3纳米线通过等离子增强化学气相沉积法在所述柔性衬底原位合成。
4.根据权利要求1-3任一项所述的柔性日盲紫外光电探测器，其特征在于，所述β-Ga2O3纳米线直径为40nm～120nm，长度为1微米～100微米。
5.根据权利要求1所述的柔性日盲紫外光电探测器，其特征在于，所述柔性衬底包括柔性玻璃纤维布。
6.一种制备权利要求1-5任一项所述的柔性日盲紫外光电探测器的方法，其特征在于，包括依次在柔性衬底上沉积一层金，在金层上以镓源为前驱体合成一层β-Ga2O3纳米线层，在β-Ga2O3纳米线层上设置两滴Ag...
【专利技术属性】
技术研发人员：王顺利，郭道友，孙翰林，
申请(专利权)人：金华紫芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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