【技术实现步骤摘要】
用于测量微纳颗粒的装置及方法
本申请涉及微纳颗粒测量
，具体而言，涉及一种用于测量微纳颗粒的装置及方法。
技术介绍
基于颗粒物质的特殊属性，颗粒物质被广泛地应用于医药、化工、材料等领域，在颗粒物质的应用中，对于颗粒物质(以下简称为颗粒)的三维形态等属性的测量十分重要。目前，常用的颗粒测量设备包括光学显微镜、扫描电子显微镜和透射电子显微镜，但由于光学显微镜分辨率较低，使用光学显微镜很难观测到尺寸小于300纳米的颗粒，不适用于微纳颗粒的测量。扫描电子显微镜和透射电子显微镜可以在真空条件下通过不同角度倾斜颗粒样品的方法获取到颗粒的三维形态，但是对于生物颗粒样品或者需要在溶液状态下测量的颗粒样品并不能获得真实的形态信息。因此，现有技术中仍存在无法测量溶液中微纳颗粒的三维形态的问题。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本申请的实施例提供一种用于测量微纳颗粒的装置，还提供一种用于测量微纳颗粒的方法，用以对微纳颗粒在液态状态下的三维形态属性进行检测，。其中，本申请所采用的技术方案为：
【技术保护点】
1.一种用于测量微纳颗粒的装置，其特征在于，包括腔体和至少两张微孔膜，其中：/n所述微孔膜串设在所述腔体内，将所述腔体分隔为多个腔室，并且所述微孔膜上具有微孔，相邻两个腔室通过所述微孔相连通，每个所述腔室具有电极。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于测量微纳颗粒的装置，其特征在于，包括腔体和至少两张微孔膜，其中：
所述微孔膜串设在所述腔体内，将所述腔体分隔为多个腔室，并且所述微孔膜上具有微孔，相邻两个腔室通过所述微孔相连通，每个所述腔室具有电极。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括液体驱动器，所述液体驱动器位于所述腔体一端的腔室相邻，用于驱动所述装置内的液体流动。
3.根据权利要求2所述装置，其特征在于，所述液体驱动器的驱动方式包括电场力驱动、液压驱动、磁场力驱动中的任意一种。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在测量状态下，位于所述腔体一端的电极接地，其余电极上加载不同大小的电压，所述电压的大小排序对应于所述电极与接地电极之间的距离。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在测量状态下，每个所述腔室中填充有电解液，待测量的微纳颗粒随着所述电解液连续通过所述微孔。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，每张所述微孔膜上微孔的形状相同，所述微孔的中心位于同一直线上。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微孔的内径为1纳米至10微米。
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微孔膜的厚度为1纳米至10微米。
9.根据权利要求1所述装置，其特征在于，所述微孔膜与所述腔体一体成型；或者所述微孔膜以膜层叠的形式设置在所述腔体内，每张所述微孔膜之间具有间隔距离。
10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微孔膜为无机膜，所述无机膜的材料包括低应力氮化硅、氧化硅、硅晶片中的任意一种。
11.一种用于测量微纳颗粒的方法，其特征在于，包括：
使待测量的微纳颗...
【专利技术属性】
技术研发人员：柳可，熊贵，王哲，
申请(专利权)人：瑞芯智造深圳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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