【技术实现步骤摘要】
一种可调型触发式三维纳米金属微纳测头
本技术涉及微纳测头
，具体为一种可调型触发式三维纳米金属微纳测头。
技术介绍
随着纳米技术的日新月异，各行各业都+竞相展开了器件微小型化的技术革命，尺寸介于毫米和微米之间的微型器件相继问世。要对这一些微型器件进行精密测量，保证MEMS器件的加工质量，在实践中就迫切需要具有纳米量级精度的三坐标测量机。纳米三坐标测量机主要由具有纳米定位测量功能的三维运动平台和具有感测功能的探头两部分组成。探头部分是三坐标测量机的重要核心部件之一，探头的精度很大程度上决定了三坐标测量机整体的测量精度。探头分为接触式探头和非接触式探头两大类，接触式探头可以用来测量非接触式探头所不能测量的具有斜面、台阶、深孔、圆弧等特征的工件。接触式探头又分为接触触发式探头和接触扫描式探头两种。其中，接触触发式探头是指探头本身只起触发作用，即当测球接触到被测工件时，探头系统马上输出反馈信号给机台运动控制系统使机台停下来，工件的具体尺寸是靠机台的三轴测量系统来给出的，探头本身并不具有测量功能，这种形式的探头不能单独使用，必须...
【技术保护点】
1.一种可调型触发式三维纳米金属微纳测头，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的底部对称固定连接有支撑板(2)，两个所述支撑板(2)相向的侧壁上通过两个第一轴承共同转动连接有蜗杆(3)，所述蜗杆(3)的一端穿过第一轴承并向外延伸，两个所述支撑板(2)相向的侧壁上共同固定连接有两个连接板(4)，两个所述连接板(4)的竖直侧壁上通过两个第二轴承共同转动连接有转杆(5)，位于两个所述连接板(4)之间的转杆(5)杆壁上固定套接有蜗轮(6)，所述蜗轮(6)与蜗杆(3)相啮合，两个所述连接板(4)的上端均固定连接有半环形的刻度环(7)，所述转杆(5)杆壁上对应刻度环(7)的位...
【技术特征摘要】
1.一种可调型触发式三维纳米金属微纳测头，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的底部对称固定连接有支撑板(2)，两个所述支撑板(2)相向的侧壁上通过两个第一轴承共同转动连接有蜗杆(3)，所述蜗杆(3)的一端穿过第一轴承并向外延伸，两个所述支撑板(2)相向的侧壁上共同固定连接有两个连接板(4)，两个所述连接板(4)的竖直侧壁上通过两个第二轴承共同转动连接有转杆(5)，位于两个所述连接板(4)之间的转杆(5)杆壁上固定套接有蜗轮(6)，所述蜗轮(6)与蜗杆(3)相啮合，两个所述连接板(4)的上端均固定连接有半环形的刻度环(7)，所述转杆(5)杆壁上对应刻度环(7)的位置处均固定连接有标针(8)，所述转杆(5)上对称安装有摇摆杆(9)，两个所述摇摆杆(9)远离安装板(1)的一端共同固定连接有活动板(10)，所述活动板(10)上通过活动机构(11)连接有安装座(12)，所述安装座(12)的底部安装有测头主体(13)，所述测头主体(13)的底部安装有测杆(14)，所述测杆(14)的另一端安装有测球(15)。
2.根据权利要求1所述的一种可调型触发式三维纳米金属微纳测头，其特征在于：所述活动机构(11)包括活动槽(111)、两个活动块(112)、丝杆(113)和两个连杆(114)，所述活动槽(111)开设在活动板(10)底部，所述活动槽(111)与两个活动块(112)滑动连接，所述活动块(112)内设有螺纹孔，两个所述活动槽(111)相向的槽壁上通过两个第三轴承与丝杆(113)转动连接，所述丝杆(113)上设有方向相反并对称设置的螺纹，两个所述活动块(112)对称螺纹连接在丝杆(113)杆壁上，所述丝杆(113)的一端穿过第三轴承并向外延伸，两个所述活动块(112)远离摇摆杆(9)的一端穿过活动槽(111)槽口并向下延伸，两个所述连杆(114)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：史先春，姜迪，郭露露，许聪聪，薛朝文，胡国栋，
申请(专利权)人：安徽理工大学，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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